憑借綠色產(chǎn)品與可持續(xù)生產(chǎn)模式,吉田半導(dǎo)體的材料遠銷全球,并與多家跨國企業(yè)建立長期合作。其環(huán)保焊片與靶材被廣泛應(yīng)用于光伏、儲能等清潔能源領(lǐng)域,助力客戶實現(xiàn)產(chǎn)品全生命周期的環(huán)境友好。公司通過導(dǎo)入國際標準認證(如 ISO14001 環(huán)境管理體系),進一步強化了在環(huán)保領(lǐng)域的競爭力。
未來,廣東吉田半導(dǎo)體材料有限公司將繼續(xù)以技術(shù)創(chuàng)新為驅(qū)動,深化綠色制造戰(zhàn)略,為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的低碳化、可持續(xù)發(fā)展貢獻力量。以品質(zhì)為依托,深化全球化布局,為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展注入持續(xù)動力。
光刻膠生產(chǎn)工藝流程與應(yīng)用。江蘇光刻膠工廠
研發(fā)投入的“高門檻”
一款KrF光刻膠的研發(fā)費用約2億元,而國際巨頭年研發(fā)投入超10億美元。國內(nèi)企業(yè)如彤程新材2024年半導(dǎo)體光刻膠業(yè)務(wù)營收只5.4億元,研發(fā)投入占比不足15%,難以支撐長期技術(shù)攻關(guān)。
2. 價格競爭的“雙重擠壓”
國內(nèi)PCB光刻膠價格較國際低30%,但半導(dǎo)體光刻膠因性能差距,價格為進口產(chǎn)品的70%,而成本卻高出20%。例如,國產(chǎn)ArF光刻膠售價約150萬元/噸,而日本同類產(chǎn)品為120萬元/噸,且性能更優(yōu)。
突破路徑與未來展望
原材料國產(chǎn)化攻堅:聚焦樹脂單體合成、光酸純化等關(guān)鍵環(huán)節(jié),推動八億時空、怡達股份等企業(yè)實現(xiàn)百噸級量產(chǎn)。
技術(shù)路線創(chuàng)新:探索金屬氧化物基光刻膠、電子束光刻膠等新方向,華中科技大學(xué)團隊已實現(xiàn)5nm線寬原型驗證。
產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同創(chuàng)新:借鑒“TSMC-供應(yīng)商”模式,推動晶圓廠與光刻膠企業(yè)共建聯(lián)合實驗室,縮短認證周期。
政策與資本雙輪驅(qū)動:依托國家大基金三期,對通過驗證的企業(yè)給予設(shè)備采購補貼(30%),并設(shè)立專項基金支持EUV光刻膠研發(fā)。
江蘇光刻膠工廠吉田產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同與政策紅利。
國際標準與客戶認證
公司通過ISO9001、ISO14001等認證,并嚴格執(zhí)行8S現(xiàn)場管理,生產(chǎn)環(huán)境潔凈度達Class 10級。其光刻膠產(chǎn)品已通過京東方、TCL華星的供應(yīng)商認證,在顯示面板領(lǐng)域的市占率約5%,成為本土企業(yè)中少數(shù)能與日本JSR、德國默克競爭的廠商。
全流程可追溯體系
吉田半導(dǎo)體建立了從原材料入庫到成品出庫的全流程追溯系統(tǒng),關(guān)鍵批次數(shù)據(jù)(如樹脂分子量分布、光敏劑純度)實時上傳云端,確保產(chǎn)品一致性和可追溯性。這一體系使其在車規(guī)級芯片等對可靠性要求極高的領(lǐng)域獲得突破,2023年車用光刻膠銷售額同比增長120%。
工藝流程
目的:去除基板表面油污、顆粒,增強感光膠附著力。
方法:
化學(xué)清洗(硫酸/雙氧水、去離子水);
表面處理(硅基板用六甲基二硅氮烷HMDS疏水化,PCB基板用粗化處理)。
涂布(Coating)
方式:
旋涂:半導(dǎo)體/顯示領(lǐng)域,厚度控制精確(納米至微米級),轉(zhuǎn)速500-5000rpm;
噴涂/輥涂:PCB/MEMS領(lǐng)域,適合大面積或厚膠(微米至百微米級,如負性膠可達100μm)。
關(guān)鍵參數(shù):膠液黏度、涂布速度、基板溫度(影響厚度均勻性)。
前烘(Soft Bake)
目的:揮發(fā)溶劑,固化膠膜,增強附著力和穩(wěn)定性。
條件:
溫度:60-120℃(正性膠通常更低,如90℃;負性膠可至100℃以上);
時間:5-30分鐘(根據(jù)膠厚調(diào)整,厚膠需更長時間)。
曝光(Exposure)
光源:
紫外光(UV):G線(436nm)、I線(365nm)用于傳統(tǒng)光刻(分辨率≥1μm);
深紫外(DUV):248nm(KrF)、193nm(ArF)用于半導(dǎo)體先進制程(分辨率至20nm);
極紫外(EUV):13.5nm,用于7nm以下制程(只能正性膠適用)。
曝光方式:
接觸式/接近式:掩膜版與膠膜直接接觸(PCB、MEMS,低成本但精度低);
投影式:通過物鏡聚焦(半導(dǎo)體,分辨率高,如ArF光刻機精度達22nm)。
吉田半導(dǎo)體實現(xiàn)光刻膠技術(shù)突破,為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈自主化提供材料支撐。
廣東吉田半導(dǎo)體材料有限公司多種光刻膠產(chǎn)品,主要涵蓋厚板、負性、正性、納米壓印及光刻膠等類別,以滿足不同領(lǐng)域的需求。
厚板光刻膠:JT-3001 型號,具有優(yōu)異的分辨率和感光度,抗深蝕刻性能良好,符合歐盟 ROHS 標準,保質(zhì)期 1 年。適用于對精度和抗蝕刻要求高的厚板光刻工藝,如特定電路板制造。
負性光刻膠
-
SU-3 負性光刻膠:分辨率優(yōu)異,對比度良好,曝光靈敏度高,光源適應(yīng),重量 100g。常用于對曝光精度和光源適應(yīng)性要求較高的微納加工、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域。
正性光刻膠
PCB廠商必看!這款G-line光刻膠讓生產(chǎn)成本直降30%。中山UV納米光刻膠國產(chǎn)廠商
-
LCD 正性光刻膠 YK-200:具有較大曝光、高分辨率、良好涂布和附著力,重量 100g。適用于液晶顯示領(lǐng)域的光刻工藝,確保 LCD 生產(chǎn)中圖形精確轉(zhuǎn)移和良好涂布效果。
-
半導(dǎo)體正性光刻膠 YK-300:具備耐熱耐酸、耐溶劑性、絕緣阻抗和緊密性,重量 100g。主要用于半導(dǎo)體制造工藝,滿足半導(dǎo)體器件對光刻膠在化學(xué)穩(wěn)定性和電氣性能方面的要求。
光刻膠廠家推薦吉田半導(dǎo)體,23 年研發(fā)經(jīng)驗,全自動化生產(chǎn)保障品質(zhì)!江蘇光刻膠工廠
吉田半導(dǎo)體的自研產(chǎn)品已深度融入國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈:
-
芯片制造:YK-300 光刻膠服務(wù)中芯國際、長江存儲,支持國產(chǎn) 14nm 芯片量產(chǎn)。
-
顯示面板:YK-200 LCD 光刻膠市占率達 15%,成為京東方、華星光電戰(zhàn)略合作伙伴。
-
新能源領(lǐng)域:無鹵無鉛焊片通過 UL 認證,批量應(yīng)用于寧德時代儲能系統(tǒng),年供貨量超 500 噸。
-
研發(fā)投入:年研發(fā)費用占比超 15%,承擔(dān)國家 02 專項課題,獲 “國家技術(shù)發(fā)明二等獎”。
-
產(chǎn)能規(guī)模:光刻膠年產(chǎn)能 5000 噸,納米壓印光刻膠占全球市場份額 15%。
-
質(zhì)量體系:通過 ISO9001、IATF 16949 等認證,生產(chǎn)過程執(zhí)行 8S 管理,批次穩(wěn)定性達 99.5%。
吉田半導(dǎo)體將繼續(xù)聚焦光刻膠研發(fā),加速 EUV 光刻膠與木基材料技術(shù)突破,目標在 2027 年前實現(xiàn) 7nm 制程材料量產(chǎn)。同時,深化國產(chǎn)供應(yīng)鏈協(xié)同,構(gòu)建 “材料 - 設(shè)備 - 工藝” 一體化生態(tài)圈,為中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主化貢獻 “吉田力量”。
從突破國際壟斷到行業(yè)標準,吉田半導(dǎo)體以自研自產(chǎn)為引擎,走出了一條中國半導(dǎo)體材料企業(yè)的崛起之路。未來,公司將以更具競爭力的產(chǎn)品與技術(shù),助力中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)邁向更高臺階。
江蘇光刻膠工廠