新型光學(xué)輪廓儀!film3D使得光學(xué)輪廓測(cè)量更易負(fù)擔(dān)*后，表面粗糙度和表面形貌測(cè)量可以用比探針式輪廓儀成本更低的儀器來(lái)進(jìn)行。film3D具有3倍於于其成本儀器的次納米級(jí)垂直分辨率,film3D同樣使用了現(xiàn)今*高 分辨率之光學(xué)輪廓儀的測(cè)量技術(shù)包含垂直掃描干涉(VSI)及相移干涉(PSI)。這就是您需要的解析力每film3D帶有直觀的粗糙度，表面形貌和臺(tái)階高度的測(cè)量軟件。所有常見(jiàn)如ISO25178所規(guī)范的粗糙度參數(shù)都支持，也包括軟件功能用于形貌分析，如形狀去除和波長(zhǎng)過(guò)濾，都包含在基film3D軟件。對(duì)于更進(jìn)階的功能，F(xiàn)ilmetrics提供了我們的合作伙伴T(mén)rueGage的TrueMap軟件可進(jìn)一步處理film3D數(shù)據(jù)，這當(dāng)然也與業(yè)界其他標(biāo)準(zhǔn)分析軟件兼容。其他輪廓儀列為選備的功能已經(jīng)是我們的標(biāo)準(zhǔn)配備為什么需要額外支付每位使用者所需要的功能？每film3D都已標(biāo)配自動(dòng)化X/Y平臺(tái)包含tip/tilt功能。以我們的階高標(biāo)準(zhǔn)片建立標(biāo)準(zhǔn)每film3D配備了一個(gè)10微米階高標(biāo)準(zhǔn)片，可達(dá)％準(zhǔn)確度。另我們還提供具有100nm，2微米以及4微米等多階高標(biāo)準(zhǔn)片。*大視場(chǎng)Thefilm3D以10倍物鏡優(yōu)異地提供更寬廣的2毫米視野,其數(shù)位變焦功能有助于緩解不同應(yīng)用時(shí)切換多個(gè)物鏡的需要。更進(jìn)一步減少總體成本。輪廓儀可用于：散熱材料表面粗糙度分析（粗糙度控制），生物、醫(yī)藥新技術(shù)，微流控器件。山東晶圓片輪廓儀

強(qiáng)大的輪廓儀光電一體軟件

美國(guó)硅谷研發(fā)、中英文自由切換

光機(jī)電一體化軟硬件集成

三維分析處理迅速，結(jié)果實(shí)時(shí)更新

縮放、定位、平移、旋轉(zhuǎn)等三維圖像處理

自主設(shè)定測(cè)量閾值，三維處理自動(dòng)標(biāo)注

測(cè)量模式可根據(jù)需求自由切換

三維圖像支持高清打印

菜單式參數(shù)設(shè)置，一鍵式操作，人機(jī)界面?zhèn)€性直觀

個(gè)性化軟件應(yīng)用支持

可進(jìn)行軟件在線升級(jí)和遠(yuǎn)程支持服務(wù)

10 年硅谷世界500強(qiáng)研發(fā)經(jīng)驗(yàn)（BD Medical

Instrument）

光學(xué)測(cè)量、軟件系統(tǒng)

岱美儀器將為您提供全程的服務(wù)。

    隨著時(shí)代的發(fā)展，輪廓儀也越來(lái)重要了，不少的產(chǎn)品檢測(cè)都需要通過(guò)輪廓儀進(jìn)行檢測(cè)，***就讓我們來(lái)了解一下輪廓儀的工作原理與應(yīng)用吧。輪廓儀工作原理輪廓儀是一種雙坐標(biāo)測(cè)量?jī)x器。儀器傳感器相對(duì)于測(cè)量的工件臺(tái)以恒定速度滑動(dòng)。傳感器的觸針檢測(cè)測(cè)量?jī)x表的幾何變化，并分別在X和Z方向上對(duì)其進(jìn)行采樣，并將其轉(zhuǎn)換為電信號(hào)。電信號(hào)被放大和處理，然后轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)并存儲(chǔ)在計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的存儲(chǔ)器中。計(jì)算機(jī)以數(shù)字方式過(guò)濾原始表格的輪廓，分離表面并計(jì)算粗糙度分量，測(cè)量結(jié)果為計(jì)算符號(hào)。某個(gè)曲線的實(shí)際值及其與參考點(diǎn)的坐標(biāo)，或放大的實(shí)際輪廓曲線。測(cè)量結(jié)果通過(guò)顯示器輸出，也可以由打印機(jī)輸出。輪廓儀應(yīng)用輪廓儀***用于機(jī)械加工、汽車(chē)、摩托車(chē)、精密五金、精密工具、刀 具、模具、光學(xué)元件等行業(yè)適用于研究機(jī)構(gòu)、大學(xué)、計(jì)量機(jī)構(gòu)和企業(yè)計(jì)量室。在汽車(chē)，摩托車(chē)和制冷行業(yè)，它可以測(cè)量活塞，活塞銷(xiāo)，齒輪的總線參數(shù)和汽車(chē)，摩托車(chē)和壓縮機(jī)的閥門(mén)柱塞，可以測(cè)量各種傾斜部件的參數(shù)。在軸承工業(yè)中，內(nèi)護(hù)套環(huán)的密封槽的形狀（角度，倒角R，槽深，槽寬等）；各種滾子軸承的滾子和套圈母線的冠部，角度和對(duì)數(shù)曲線；電機(jī)軸，圓柱銷(xiāo)，活塞銷(xiāo)，滾針軸承，圓柱滾子軸承。

輪廓儀的性能 

測(cè)量模式

移相干涉（PSI），白光垂直掃描干涉（VSI），單色光垂直掃描干涉（CSI）

樣 品 臺(tái)

150mm/200mm/300mm 樣品臺(tái)（可選配）

XY 平移：±25mm/150mm/200mm/300mm，傾斜：±5°

可選手動(dòng)/電動(dòng)樣品臺(tái)

CCD 相機(jī)像素

標(biāo)配：1280×960

視場(chǎng)范圍

560×750um（10×物鏡）

具體視場(chǎng)范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機(jī)

光學(xué)系統(tǒng)

同軸照明無(wú)限遠(yuǎn)干涉成像系統(tǒng)

光 源

高 效 LED

Z 方向聚焦 80mm 手動(dòng)聚焦（可選電動(dòng)聚焦）

Z 方向掃描范圍 精密 PZT 掃描(可選擇高精密機(jī)械掃描，拓展達(dá) 10mm )

縱向分辨率 ＜0.1nm

RMS 重復(fù)性* 0.005nm，1σ

臺(tái)階測(cè)量** 準(zhǔn)確度 ≤0.75％；重復(fù)性 ≤0.1%，1σ

橫向分辨率 ≥0.35um（100 倍物鏡）

檢測(cè)速度 ≤ 35um/sec , 與所選的 CCD  菜單式系統(tǒng)設(shè)置，一鍵式操作，自動(dòng)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)。

1.3. 培訓(xùn)計(jì)劃

    在完成系統(tǒng)布線并開(kāi)始設(shè)備安裝后，即向甲方和業(yè)主介紹整個(gè)系統(tǒng)的概況及性能、特點(diǎn)、設(shè)備布置情況和相互之間的關(guān)系等，讓甲方和業(yè)主對(duì)整個(gè)系統(tǒng)有一個(gè)***的認(rèn)識(shí)。

    在整個(gè)系統(tǒng)驗(yàn)收前后，安排有關(guān)人員在進(jìn)行培訓(xùn)。

1.4. 培訓(xùn)形式

    公司指派技術(shù)人員向相關(guān)人員講解系統(tǒng)的原理、功能、操作及維修保養(yǎng)要點(diǎn)；

    向受訓(xùn)學(xué)員提供和解釋有關(guān)設(shè)計(jì)文件及圖紙等資料，使學(xué)員對(duì)系統(tǒng)的各個(gè)方面都能熟練掌握；

    針對(duì)系統(tǒng)的具體操作一一指導(dǎo)，使相關(guān)人員掌握技術(shù)要領(lǐng)；

    對(duì)學(xué)員提出的問(wèn)題進(jìn)行詳細(xì)解答；

光學(xué)系統(tǒng)：同軸照明無(wú)限遠(yuǎn)干涉成像系統(tǒng)。原裝進(jìn)口輪廓儀代理價(jià)格

支持連接MES系統(tǒng)，數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC。山東晶圓片輪廓儀

    比較大視場(chǎng)Thefilm3D以10倍物鏡優(yōu)異地提供更寛廣的2毫米視野，其數(shù)位變焦功能有助于緩解不同應(yīng)用時(shí)切換多個(gè)物鏡的需要，更進(jìn)一步減少總體成本。手動(dòng)式物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)能一次搭載四組物鏡，能滿(mǎn)足需要多種倍率物鏡交替使用的測(cè)量應(yīng)用。索取技術(shù)資料索取報(bào)價(jià)性能規(guī)格厚度范圍,WSI50nm-10mm厚度范圍,PSI0-3μm樣品反射率範(fàn)圍-100 %電腦要求機(jī)械規(guī)格Z范圍100mmPiezo(壓電)范圍500μmXY平臺(tái)類(lèi)型手動(dòng)或自動(dòng)XY平臺(tái)范圍100mmx100mm相機(jī)2592x1944(5百萬(wàn)像素)系統(tǒng)尺寸，寬x深x高300mmx300mmx550mm系統(tǒng)重量15kg物鏡1(NikonCFICEpiPlan)放大倍率5X10X20X50X100X視場(chǎng)xmmxmmxmmxmmxmm采樣空間2μmμmμmμmμm1分別出售2樣本上之像素大小常見(jiàn)的選購(gòu)配件：urionNano30主動(dòng)式防震臺(tái)4微米，2微米，和100納米多臺(tái)階高度標(biāo)準(zhǔn)。山東晶圓片輪廓儀

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司是一家磁記錄、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口、傭金代理（拍賣(mài)除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國(guó)際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務(wù)信息咨詢(xún)服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目，經(jīng)相關(guān)部門(mén)批準(zhǔn)后方可開(kāi)展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】磁記錄、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口、傭金代理（拍賣(mài)除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國(guó)際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務(wù)信息咨詢(xún)服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目，經(jīng)相關(guān)部門(mén)批準(zhǔn)后方可開(kāi)展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】的公司，是一家集研發(fā)、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售為一體的專(zhuān)業(yè)化公司。公司自創(chuàng)立以來(lái)，投身于磁記錄，半導(dǎo)體，光通訊生產(chǎn)，測(cè)試儀器的批發(fā)，是儀器儀表的主力軍。岱美儀器技術(shù)服務(wù)繼續(xù)堅(jiān)定不移地走高質(zhì)量發(fā)展道路，既要實(shí)現(xiàn)基本面穩(wěn)定增長(zhǎng)，又要聚焦關(guān)鍵領(lǐng)域，實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)型再突破。岱美儀器技術(shù)服務(wù)始終關(guān)注儀器儀表行業(yè)。滿(mǎn)足市場(chǎng)需求，提高產(chǎn)品價(jià)值，是我們前行的力量。