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歐洲輪廓儀技術(shù)支持

來源: 發(fā)布時間:2021-08-04

1.3. 培訓(xùn)計劃

    在完成系統(tǒng)布線并開始設(shè)備安裝后,即向甲方和業(yè)主介紹整個系統(tǒng)的概況及性能、特點、設(shè)備布置情況和相互之間的關(guān)系等,讓甲方和業(yè)主對整個系統(tǒng)有一個***的認(rèn)識。

    在整個系統(tǒng)驗收前后,安排有關(guān)人員在進行培訓(xùn)。


1.4. 培訓(xùn)形式

    公司指派技術(shù)人員向相關(guān)人員講解系統(tǒng)的原理、功能、操作及維修保養(yǎng)要點;

    向受訓(xùn)學(xué)員提供和解釋有關(guān)設(shè)計文件及圖紙等資料,使學(xué)員對系統(tǒng)的各個方面都能熟練掌握;

    針對系統(tǒng)的具體操作一一指導(dǎo),使相關(guān)人員掌握技術(shù)要領(lǐng);

    對學(xué)員提出的問題進行詳細解答;




輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用。歐洲輪廓儀技術(shù)支持

表面三維微觀形貌測量的意義

 在生產(chǎn)中,表面三維微觀形貌對工程零件的許多技術(shù)性能的評家具有**直接的影響,而且表面三維評定參數(shù)由于能更***,更真實的反應(yīng)零件表面的特征及衡量表面的質(zhì)量而越來越受到重視,因此表面三維微觀形貌的測量就越顯重要。通過兌三維形貌的測量可以比較***的評定表面質(zhì)量的優(yōu)劣,進而確認(rèn)加工方法的好壞以及設(shè)計要求的合理性,這樣就可以反過來通過知道加工,優(yōu)化加工工藝以及加工出高質(zhì)量的表面,確保零件使用功能的實現(xiàn)。

 表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富,通??煞譃榻佑|時和非接觸時兩種,其中以非接觸式測量方法為主。


輪廓儀研發(fā)生產(chǎn)隔振系統(tǒng):集成氣浮隔振 + 大理石基石。

一、從根源保障物件成品的準(zhǔn)確性:

通過光學(xué)表面三維輪廓儀的掃描檢測,得出物件的誤差和超差參數(shù),**提高物件在生產(chǎn)加工時的精確度。杜絕因上游的微小誤差形成“蝴蝶效應(yīng)”,造成下游生產(chǎn)加工的更大偏離,**終導(dǎo)致整個生產(chǎn)鏈更大的損失。

二、提高效率:

智能化檢測,全自動測量,檢測時只需將物件放置在載物臺,然后在檢定軟件上選擇相關(guān)參數(shù),即可一鍵分析批量測量。擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力,精確度低的缺點,**提高加工效率。

輪廓儀的技術(shù)原理

被測表面(光)與參考面(光)之間的光程差(高度差)形成干涉

移相法(PSI)  高度和干涉相位

f = (2p/l ) 2 h

形貌高度: < 120nm

精度: < 1nm

RMS重復(fù)性: 0.01nm

垂直掃描法

(VSI+CSI)  

精度: ?/1000   干涉信號~光程差位置

形貌高度: nm-mm,

精度: >2nm

干涉測量技術(shù):快速靈活、超納米精度、測量精度不受物鏡倍率影響


以下來自網(wǎng)絡(luò):

輪廓儀,能描繪工件表面波度與粗糙度,并給出其數(shù)值的儀器,采用精密氣浮導(dǎo)軌為直線基準(zhǔn)。輪廓測試儀是對物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進行測試與檢驗的儀器,作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分***。


擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力,精確度低的缺點,**提高加工效率。

輪廓儀的物鏡知多少?  

白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,典型結(jié)果包括:

表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,臺階高度,錐角等)

幾何特征(關(guān)鍵孔徑尺寸,曲率半徑,特征區(qū)域的面積和集體,特征圖形的位置和數(shù)量等)

白光干涉系統(tǒng)基于無限遠顯微鏡系統(tǒng),通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。  

因此物鏡是輪廓儀****的部件,

物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求,為了滿足各種精度的需求,需要提供各種物鏡,例如標(biāo)配的10×, 還有2.5×,5×,20×,50×,100×,可選。  

不同的鏡頭價格有很大的差別,因此需要量力根據(jù)需求選配對應(yīng)的鏡頭哦。 晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程。日本輪廓儀技術(shù)原理

由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小,任何微小的黏附異物和下次均會導(dǎo)致制造的晶圓IC表面存在缺 陷。歐洲輪廓儀技術(shù)支持

NanoX-系列產(chǎn)品PCB測量應(yīng)用測試案例

測量種類

?

基板A Sold Mask 3D形貌、尺寸

?

基板A Sold Mask粗糙度

?

基板A 綠油區(qū)域3D 形貌

?

基板A 綠油區(qū)域 Pad 粗糙度

?

基板A 綠油區(qū)域粗糙度

?

基板A 綠油區(qū)域 pad寬度

?

基板A Trace 3D形貌和尺寸

?

基板B 背面 Pad


NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能

? 菜單式系統(tǒng)設(shè)置,一鍵式操作,自動數(shù)據(jù)存儲

? 一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn)

? 支持連接MES系統(tǒng),數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC

? 具備異常報警,急停等功能,報警信息可儲存

? MTBF ≥ 1500 hrs

? 產(chǎn)能 : 45s/點 (移動 + 聚焦 + 測量)(掃描范圍 50um)

? 具備 Global alignment & Unit alignment

? 自動聚焦范圍 : ± 0.3mm

? XY運動速度 **快

歐洲輪廓儀技術(shù)支持

岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司致力于儀器儀表,是一家其他型公司。公司業(yè)務(wù)分為磁記錄,半導(dǎo)體,光通訊生產(chǎn),測試儀器的批發(fā)等,目前不斷進行創(chuàng)新和服務(wù)改進,為客戶提供良好的產(chǎn)品和服務(wù)。公司將不斷增強企業(yè)重點競爭力,努力學(xué)習(xí)行業(yè)知識,遵守行業(yè)規(guī)范,植根于儀器儀表行業(yè)的發(fā)展。岱美儀器技術(shù)服務(wù)秉承“客戶為尊、服務(wù)為榮、創(chuàng)意為先、技術(shù)為實”的經(jīng)營理念,全力打造公司的重點競爭力。