電介質(zhì)成千上萬的電解質(zhì)薄膜被用于光學(xué),半導(dǎo)體,以及其它數(shù)十個行業(yè), 而Filmetrics的儀器幾乎可以測量所有的薄膜。
測量范例氮化硅薄膜作為電介質(zhì),鈍化層,或掩膜材料被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)。這個案例中,我們用F20-UVX成功地測量了硅基底上氮化硅薄膜的厚度,折射率,和消光系數(shù)。有趣的事,氮化硅薄膜的光學(xué)性質(zhì)與薄膜的分子當(dāng)量緊密相關(guān)。使用Filmetrics專有的氮化硅擴(kuò)散模型,F(xiàn)20-UVX可以很容易地測量氮化硅薄膜的厚度和光學(xué)性質(zhì),不管他們是富硅,貧硅,還是分子當(dāng)量。 F50-EXR測厚范圍:20nm-250μm;波長:380-1700nm。官方授權(quán)經(jīng)銷商膜厚儀原產(chǎn)地
鏡頭組件Filmetrics 提供幾十種不同鏡頭配置。訂制專門用途 的鏡片一般在幾天之內(nèi)可以完成。
LA-GL25-25-30-EXR用于 60-1000mm 工作距離的直徑 1" 鏡頭組件,30mm 焦距鏡頭。KM-GL25用于直徑 1" 鏡頭的簡化動力支架。 可以在兩個軸上斜向調(diào)節(jié)。 8-32 安裝螺紋。KM-F50用于直徑 0.5" 鏡頭的簡化動力支架。 還可以用于 F50??商峁┎煌溺R頭組合。LA-F50/SS-13-20-UVX小光斑 (200um) 選項(xiàng),可見光, 近紅外或紫外線。
如果您想要了解更多的信息,請聯(lián)系我們岱美儀器。 浙江膜厚儀摩擦學(xué)應(yīng)用可選的厚度和折射率模塊讓您能夠充分利用 Filmetrics F10 的分析能力。
F54包含的內(nèi)容:
集成光譜儀/光源裝置
MA-Cmount 安裝轉(zhuǎn)接器
顯微鏡轉(zhuǎn)接器光纖連接線BK7
參考材料TS-Focus-SiO2-4-10000
厚度標(biāo)準(zhǔn) 聚焦/厚度標(biāo)準(zhǔn)4", 6" and 200mm
參考晶圓真空泵備用燈
型號厚度范圍*波長范圍
F54:20nm-40μm 380-850nm
F54-UV:4nm-30μm 190-1100nm
F54-NIR:40nm-100μm 950-1700nm
F54-EXR:20nm-100μm 380-1700nm
F54-UVX:4nm-100μm190-1700nm
*取決于材料與顯微鏡
額外的好處:每臺系統(tǒng)內(nèi)建超過130種材料庫, 隨著不同應(yīng)用更超過數(shù)百種應(yīng)用工程師可立刻提供幫助(周一 - 周五)網(wǎng)上的 “手把手” 支持 (需要連接互聯(lián)網(wǎng))硬件升級計劃
F10-ARc
獲得**精確的測量.自動基準(zhǔn)功能**增加基準(zhǔn)間隔時間, 量測準(zhǔn)確性優(yōu)於其他光纖探頭反射測量系統(tǒng)5倍可選擇UPG - F10-AR - HC軟件升級 測量0.25-15μm硬涂層的厚度. 即使在防反射涂層存在時仍可測量硬涂層厚度我們***探頭設(shè)計可排除98%背面反射,當(dāng)鏡片比1.5mm 更厚時, 可排除比例更高修正了硬膜層造成的局部反射扭曲現(xiàn)象。
F10-ARc:200nm - 15μm** 380-1050nm
當(dāng)您需要技術(shù)支援致電我們的應(yīng)用工程師,提供即時的24小時援助(週一至週五)網(wǎng)上的 “手把手”
支持 (需要連接互聯(lián)網(wǎng))硬件升級計劃 F50-UV測厚范圍:5nm-40μm;波長:190-1100nm。
接觸探頭測量彎曲和難測的表面
CP-1-1.3測量平面或球形樣品,結(jié)實(shí)耐用的不銹鋼單線圈。
CP-1-AR-1.3可以抑 制背面反射,對 1.5mm 厚的基板可抑 制 96%。 鋼制單線圈外加PVC涂層,比較大可測厚度 15um。
CP-2-1.3用于探入更小的凹表面,直徑 17.5mm。
CP-C6-1.3探測直徑小至 6mm 的圓柱形和球形樣品外側(cè)。
CP-C12-1.3用于直徑小至 12mm 圓柱形和球形樣品外側(cè)。
CP-C26-1.3用于直徑小至 26mm 圓柱形和球形樣品外側(cè)。
CP-BendingRod-L350-2彎曲長度 300mm,總長度 350mm 的接觸探頭。 用于難以到達(dá)的區(qū)域,但不會自動對準(zhǔn)表面。
CP-ID-0to90Deg-2用于食品和飲料罐頭內(nèi)壁的接觸探頭。
CP-RA-3mmDia-200mmL-2直徑**小的接觸探頭,配備微型直角反射鏡,用來測量小至直徑 3mm 管子的內(nèi)壁,不能自動對準(zhǔn)表面。
CP-RA-10mmHigh-2配備微型直角反射鏡,可以在相隔 10mm 的兩個平坦表面之間進(jìn)行測量。 測量厚度: 15 — 780 μm (單探頭) ; 3 mm (雙探頭總厚度測量)。透射率膜厚儀生產(chǎn)國
所有的 Filmetrics 型號都能通過精確的光譜反射建模來測量厚度 (和折射率)。官方授權(quán)經(jīng)銷商膜厚儀原產(chǎn)地
自動厚度測量系統(tǒng)幾乎任何形狀的樣品厚度和折射率的自動測繪。人工加載或機(jī)器人加載均可。
在線厚度測量系統(tǒng)監(jiān)測控制生產(chǎn)過程中移動薄膜厚度。高達(dá)100 Hz的采樣率可以在多個測量位置得到。
附件Filmetrics 提供各種附件以滿足您的應(yīng)用需要。
F20 系列世界上****的臺式薄膜厚度測量系統(tǒng)只需按下一個按鈕,您在不到一秒鐘的同時測量厚度和折射率。設(shè)置同樣簡單, 只需插上設(shè)備到您運(yùn)行Windows?系統(tǒng)計算機(jī)的USB端口, 并連接樣品平臺 , F20已在世界各地有成千上萬的應(yīng)用被使用. 事實(shí)上,我們每天從我們的客戶學(xué)習(xí)更多的應(yīng)用.
選擇您的F20主要取決於您需要測量的薄膜的厚度(確定所需的波長范圍)
官方授權(quán)經(jīng)銷商膜厚儀原產(chǎn)地岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司致力于儀器儀表,以科技創(chuàng)新實(shí)現(xiàn)***管理的追求。岱美儀器技術(shù)服務(wù)擁有一支經(jīng)驗(yàn)豐富、技術(shù)創(chuàng)新的專業(yè)研發(fā)團(tuán)隊(duì),以高度的專注和執(zhí)著為客戶提供磁記錄,半導(dǎo)體,光通訊生產(chǎn),測試儀器的批發(fā)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)不斷開拓創(chuàng)新,追求出色,以技術(shù)為先導(dǎo),以產(chǎn)品為平臺,以應(yīng)用為重點(diǎn),以服務(wù)為保證,不斷為客戶創(chuàng)造更高價值,提供更優(yōu)服務(wù)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)始終關(guān)注自身,在風(fēng)云變化的時代,對自身的建設(shè)毫不懈怠,高度的專注與執(zhí)著使岱美儀器技術(shù)服務(wù)在行業(yè)的從容而自信。