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高精密儀器隔振臺(tái)大型半導(dǎo)體設(shè)備防震臺(tái)應(yīng)用

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2020-11-22

Table Stable生產(chǎn)的主動(dòng)式微振動(dòng)控制系統(tǒng)AVI是一款多功能的主動(dòng)式防振系統(tǒng),具有**的防振單元和控制器。

可能有多種變化,例如將其用作電子顯微鏡(SEM)的隔振臺(tái),或與光學(xué)平臺(tái)結(jié)合使用的高性能光學(xué)實(shí)驗(yàn)臺(tái)。


特點(diǎn):

?通過(guò)主動(dòng)控制沒(méi)有共振點(diǎn),可以防止低頻范圍的振動(dòng)。

?安裝時(shí)不需要參數(shù)調(diào)整,安裝后可以立即使用。-由于不使用空氣彈簧,因此不需要空氣彈簧。

?振動(dòng)狀態(tài)一目了然。

(可以目視觀察控制器的每個(gè)LED閃爍單元的振動(dòng)狀態(tài)。)

-加速度信號(hào)可以從外部輸出。

(通過(guò)將BNC連接器連接到示波器,可以看到活動(dòng)對(duì)象正在正常工作。 主動(dòng)防振臺(tái)通過(guò)電氣控制,向傳入振動(dòng)瞬間施加反方向的力,從而消除振動(dòng)。高精密儀器隔振臺(tái)大型半導(dǎo)體設(shè)備防震臺(tái)應(yīng)用

LFS-2傳感器測(cè)量?jī)蓚€(gè)軸的水平加速度,直至頻率為約0.2Hz 傳感器直接放置在地板上,并用于前饋回路中與標(biāo)準(zhǔn)AVI / LP系統(tǒng)結(jié)合使用,可在非常低的情況下提高隔振效果頻率。 LFS-2可以改裝為現(xiàn)有的AVI-LP系統(tǒng)。下表顯示了在AVI / LP上測(cè)得的水平隔離度(透射率)有和沒(méi)有LFS的系統(tǒng)。


將傳感器連接到AVI /系統(tǒng)?

傳感器LFS-2具有單獨(dú)的電源,該電源通過(guò)D-Sub25插座連接到LFS-2控制單元。 用D-Sub 25將電源連接到傳感器電纜。

每個(gè)AVI元素必須連接到背面的D-Sub15插座之一傳感器的 LFS的實(shí)際位置并不重要,但必須放置它在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上部D-Sub 15插座連接到傳感器。


**頻隔震臺(tái)隔振臺(tái)一級(jí)代理Table Stable Ltd:主動(dòng)隔振以及高 分辨率,高對(duì)比度光譜學(xué)的全球***。

TS-C

TS-C系列是緊湊的動(dòng)態(tài)防振系統(tǒng),可隔離所有六個(gè)平移和旋轉(zhuǎn)振動(dòng)模式。

這些價(jià)格適中的動(dòng)態(tài)振動(dòng)隔離系統(tǒng)在體積上卻比比較大,**昂貴的無(wú)源系統(tǒng)更好地實(shí)現(xiàn)了隔離。使用壓電力馬達(dá)的慣性反饋不僅可以隔離建筑物的振動(dòng),還可以隔離放置在系統(tǒng)本身上的振動(dòng)源。例如,這意味著即使通過(guò)操作員的手施加了力,由系統(tǒng)隔離的精密顯微鏡也將保持靜止。


該系統(tǒng)的固有剛度比1Hz諧振無(wú)源隔離器的固有剛度大25倍,可提供出色的方向和位置穩(wěn)定性。

有源隔離系統(tǒng)的特性通常表現(xiàn)為幾乎沒(méi)有低頻共振,這種共振困擾著所有無(wú)源隔離系統(tǒng)。


該系統(tǒng)的設(shè)計(jì)即使在低至2-3

Hz的頻率下也能提供出色的隔離度,在該頻率下,許多建筑物由于繞垂直軸的振蕩而顯示出較大的水平振幅。隔離從大約0.7Hz開始,并迅速增加到至少10Hz以外的至少40 dB。

TS-150安全守則

?只能將系統(tǒng)插入具有單獨(dú)接地的插座。 不要斷開此連接通過(guò)插座或使用不接地的延長(zhǎng)線接地。

?在打開本設(shè)備之前,請(qǐng)確保已將其連接到正確的電源電壓。

?請(qǐng)勿卸下任何蓋子或讓任何金屬物體進(jìn)入設(shè)備的任何開口。

?請(qǐng)勿拆卸或嘗試維修系統(tǒng)。 這可能會(huì)導(dǎo)致電擊或損壞到系統(tǒng)。

?卸下任何主機(jī)蓋之前,請(qǐng)先斷開電源。 請(qǐng)把維修交給合格的人員。

?請(qǐng)勿在有危險(xiǎn)的環(huán)境中使用。

?請(qǐng)勿在頂板上鉆任何孔。 這會(huì)損壞系統(tǒng)。

?如果您懷疑系統(tǒng)有任何不安全之處,請(qǐng)拔下電源插頭并防止可能發(fā)生的意外事 故用法。 請(qǐng)與您**近的服務(wù)中心聯(lián)系。


TS-C系列具有通用輸入,可以連接到100至240 VAC 的任何交流電源。

TS特點(diǎn):

◎在全部的6個(gè)自由度范圍內(nèi),從0.7Hz到100Hz,TS系列產(chǎn)品提供優(yōu)良的主動(dòng)隔振性能。

◎當(dāng)儀器裝載時(shí),高度調(diào)整會(huì)自動(dòng)進(jìn)行。

◎即使當(dāng)負(fù)載偏離中心時(shí),自動(dòng)調(diào)平功能也能保持水準(zhǔn)。當(dāng)高重心的儀器被加載時(shí),給予穩(wěn)定性。

◎通過(guò)按下前方的按鈕,系統(tǒng)可以鎖定或者解鎖。鎖定功能可以防止在系統(tǒng)重新加載或傳輸中發(fā)生損壞。

◎前方的顯示屏展示了在X,Y和Z方向的實(shí)際振動(dòng)水平。

◎主動(dòng)隔振也可以通過(guò)使用可選的遠(yuǎn)程控制箱來(lái)從外部啟用或禁用 Herz 防震臺(tái)/防振臺(tái)是世界上****的防震臺(tái)/防振臺(tái)系統(tǒng)方案供應(yīng)商之一。桌面式隔振臺(tái)隔振臺(tái)推薦產(chǎn)品

使用D-Sub 15M-F電纜將T-Box連接到TS的背面。無(wú)需單獨(dú)的電源。通過(guò)模式開關(guān)可以選擇不同的激勵(lì)方向。高精密儀器隔振臺(tái)大型半導(dǎo)體設(shè)備防震臺(tái)應(yīng)用

關(guān)鍵詞:主動(dòng)式隔震臺(tái)、主動(dòng)式隔振臺(tái)、主動(dòng)式防振臺(tái)、防振臺(tái)、AVI、Herz、Tablestable、


·AVI系列振動(dòng)傳遞率


橫坐標(biāo)為頻率,縱坐標(biāo)為傳遞率的數(shù)據(jù),在10hz頻率以上時(shí),傳遞率的數(shù)據(jù)小于0.02,很好地起到了隔振作用。

AVI承載不同重量時(shí)不同方向上振動(dòng)衰減的數(shù)據(jù)(實(shí)驗(yàn)室實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù))

垂直方向上的振動(dòng)傳遞衰減,在承重時(shí)10hz的頻率以上時(shí),比較大可以達(dá)到40dB的衰減。隔振效率可以達(dá)到99%以上的效果。10Hz以上的頻率正常情況下是30dB到40dB的衰減。


高精密儀器隔振臺(tái)大型半導(dǎo)體設(shè)備防震臺(tái)應(yīng)用

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