技術(shù)指標(biāo)：頻率負(fù)載范圍尺寸0,7-1000Hz0-140公斤500x600x84毫米

隔離：動態(tài)（超過1kHz）

透射率：參見附件曲線10Hz以上的透射率<（-40dB）

矯正力：垂直+/-8N水平+/-4N

靜態(tài)合規(guī)性：大約垂直約12μm/N水平30-40μm/N

比較大負(fù)載：140公斤尺寸：500x600x84毫米

重量：28.5kg

電的安全等級：1個能量消耗：比較大10W負(fù)載調(diào)整時20W輸入電壓：115-230VAC+/-10％50-60Hz

超載：顯示屏指示負(fù)載過重或嚴(yán)重失衡

監(jiān)控信號：示波器上顯示的多路復(fù)用信號顯示有無隔離的振動水平-*用于診斷目的

前面板顯示菜單：顯示儀器狀態(tài)，包括：-高度調(diào)節(jié)-隔離開/關(guān)-過載-運輸鎖定-技術(shù)熱線

桌上尺寸：500x600毫米。 Table Stable生產(chǎn)的主動式微振動控制系統(tǒng)AVI是一款多功能的主動式防振系統(tǒng)，具有**的防振單元和控制器。光刻機隔振臺有哪些品牌

水平X軸方向上的振動傳遞衰減，在承重時10hz的頻率以上時，比較大可以達(dá)到-40dB的衰減。隔振效率可以達(dá)到99%以上的效果。10Hz以上的頻率正常情況下是30dB到40dB的衰減。

水平Y(jié)軸方向上的振動傳遞衰減，在承重時10hz的頻率以上時，比較大可以達(dá)到-40dB的衰減。隔振效率可以達(dá)到99%以上的效果。10Hz以上的頻率正常情況下是30dB到40dB的衰減。

AVI系列產(chǎn)品在振動加速度上的隔振效果。

如果想要了解更多信息請聯(lián)系我們岱美儀器。或者訪問我們的官網(wǎng)。

高校隔振臺研發(fā)可以用嗎勵磁箱允許將激勵信號施加到TS隔離系統(tǒng)，以便該系統(tǒng)可以在任何方向上用作振動器。

TS特點：

◎在全部的6個自由度范圍內(nèi)，從0.7Hz到100Hz，TS系列產(chǎn)品提供優(yōu)良的主動隔振性能。

◎當(dāng)儀器裝載時，高度調(diào)整會自動進(jìn)行。

◎即使當(dāng)負(fù)載偏離中心時，自動調(diào)平功能也能保持水準(zhǔn)。當(dāng)高重心的儀器被加載時，給予穩(wěn)定性。

◎通過按下前方的按鈕，系統(tǒng)可以鎖定或者解鎖。鎖定功能可以防止在系統(tǒng)重新加載或傳輸中發(fā)生損壞。

◎前方的顯示屏展示了在X,Y和Z方向的實際振動水平。

◎主動隔振也可以通過使用可選的遠(yuǎn)程控制箱來從外部啟用或禁用

地板上沒有AVI產(chǎn)品加速度的數(shù)據(jù)。（圖中橫坐標(biāo)為頻率，縱坐標(biāo)為加速度）

加上AVI產(chǎn)品開啟隔振功能后，加速度的數(shù)據(jù)。（圖中橫坐標(biāo)為頻率，縱坐標(biāo)為加速度）

Herz

Low Frequency Sensor (LFS-3)低頻感應(yīng)器

LFS-3感應(yīng)器測試水平和垂直方向加速度3軸的頻率低到0.2Hz. 感應(yīng)器直接放到地板上和AVI系列產(chǎn)品連在組成一個正向循環(huán)可以提高低頻的隔振性能。LFS-3也可以配合已有的AVI系列產(chǎn)品。

TS-140+40技術(shù)指標(biāo)：

頻率                   負(fù)載范圍            尺寸

0,7-1000 Hz           50-180公斤    500 x

600 x 84毫米

隔離：

動態(tài)0.7Hz至1kHz無源（超過1kHz）

傳遞率：

參見附件曲線10 Hz以上的透射率<0.01（-40dB）

矯正力：垂直+/- 8 N     水平+/- 4 N

靜態(tài)合規(guī)性：垂直約12 μm

/ N 水平30-40 μm / N

比較大負(fù)載：50-180公斤

尺寸：500 x 600 x

84毫米

重量：28.5公斤

TS-140 +40結(jié)合了久經(jīng)考驗的技術(shù)***性與優(yōu)雅且用戶友好的設(shè)計

這種中型動態(tài)隔振系統(tǒng)非常適合所有需要頂板上空間比TS-150更大的應(yīng)用。

在公制（M6 x 25mm）或非公制網(wǎng)格上鉆孔的頂板可將各種設(shè)備安裝在隔離的桌面上。

在納米技術(shù)的時代，極之微細(xì)的振動已對搜索結(jié)果造成極大的影響，必須改善測量環(huán)境。光刻機隔振臺有哪些品牌

AVI 的隔振性能在負(fù)載低于 30Hz 以下時是一個重要的參照。光刻機隔振臺有哪些品牌

使用說明書

解鎖系統(tǒng)后，將設(shè)備放置在平坦且堅固的桌子上或地下。

調(diào)整負(fù)載補償:

將負(fù)載放在**上面，并使用以下三個調(diào)整負(fù)載補償側(cè)面的車輪到外殼和頂板之間的距離為2mm。

沿+方向旋轉(zhuǎn)輪子以增加負(fù)載補償方向旋轉(zhuǎn)車輪以減少負(fù)載補償

按下并檢查每個角是否有約0.5mm的自由移動。輕輕地上下拉頂板！

更改負(fù)載后，檢查每個角是否自由移動！

將電源插頭連接到背面的輸入電源插座。

按下背面的電源按鈕打開設(shè)備“ POWER” LED將點亮，而“ ACTIVE” LED開始閃爍。

大約30秒鐘后，“活動” LED將保持點亮狀態(tài)，并且系統(tǒng)現(xiàn)在可以使用了。

您可以通過按“啟用”按鈕來打開和關(guān)閉活動隔離。

光刻機隔振臺有哪些品牌

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司主營品牌有岱美儀器技術(shù)服務(wù)，發(fā)展規(guī)模團隊不斷壯大，該公司其他型的公司。公司是一家有限責(zé)任公司企業(yè)，以誠信務(wù)實的創(chuàng)業(yè)精神、專業(yè)的管理團隊、踏實的職工隊伍，努力為廣大用戶提供***的產(chǎn)品。以滿足顧客要求為己任；以顧客永遠(yuǎn)滿意為標(biāo)準(zhǔn)；以保持行業(yè)優(yōu)先為目標(biāo)，提供***的磁記錄，半導(dǎo)體，光通訊生產(chǎn)，測試儀器的批發(fā)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)將以真誠的服務(wù)、創(chuàng)新的理念、***的產(chǎn)品，為彼此贏得全新的未來！