為了優(yōu)化工藝鏈,HERCULES NIL中包括多次使用的軟印章的制造,這是大批量生產的基石,不需要額外的壓印印章制造設備。作為一項特殊功能,該工具可以升級為具有ISO 3 *功能的微型環(huán)境,以確保比較低的缺 陷率和比較高質量的原版復制。
通過為大批量生產提供完整的NIL解決方案,HERCULES NIL增強了EVG在***積NIL設備解決方案中的領導地位。
*根據ISO 14644
HERCULES ® NIL特征:
批量生產**小40 nm *或更小的結構
聯合預處理(清潔/涂層/烘烤/寒意)和SmartNIL ®
體積驗證的壓印技術,具有出色的復制保真度
全自動壓印和受控的低力分離,可很大程度地重復使用工作印章
包括工作印章制造能力
高功率光源,固化時間**快
優(yōu)化的模塊化平臺可實現高吞吐量
*分辨率取決于過程和模板 岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商,歡迎各位聯系我們,探討納米壓印光刻的相關知識。原裝進口納米壓印要多少錢
HERCULES NIL 300 mm提供了市場上**的納米壓印功能,具有較低的力和保形壓印,快速的高功率曝光和平滑的壓模分離。該系統(tǒng)支持各種設備和應用程序的生產,包括用于增強/虛擬現實(AR / VR)頭戴式耳機的光學設備,3D傳感器,生物醫(yī)學設備,納米光子學和等離激元學。
HERCULES ® NIL特征:
全自動UV-NIL壓印和低力剝離
**多300毫米的基材
完全模塊化的平臺,具有多達八個可交換過程模塊(壓印和預處理)
200毫米/ 300毫米橋接工具能力
全區(qū)域烙印覆蓋
批量生產**小40 nm或更小的結構
支持各種結構尺寸和形狀,包括3D
適用于高地形(粗糙)表面
*分辨率取決于過程和模板
CMOS納米壓印要多少錢步進重復納米壓印光刻可以從比較大50 mm x 50 mm的小模具到比較大300 mm基板尺寸的大面積均勻復制模板。
EV Group的一系列高精度熱壓花系統(tǒng)基于該公司市場**的晶圓鍵合技術。出色的壓力和溫度控制以及大面積上的均勻性可實現高精度的壓印。熱壓印是一種經濟高 效且靈活的制造技術,具有非常高的復制精度,可用于**小50 nm的特征尺寸。該系統(tǒng)非常適合將復雜的微結構和納米結構以及高長寬比的特征壓印到各種聚合物基材或旋涂聚合物中。
NILPhotonics®能力中心-支持和開發(fā)
NILPhotonics能力中心是經過驗證的創(chuàng)新孵化器。
歡迎各位客戶來樣制作,驗證EVG的納米壓印設備的性能。
納米壓印微影技術可望優(yōu)先導入LCD面板領域原本計劃應用在半導體生產制程的納米壓印微影技術(Nano-ImpLithography;NIL),現將率先應用在液晶顯示器(LCD)制程中。NIL為次世代圖樣形成技術。據ETNews報導,南韓顯示器面板企業(yè)LCD制程研發(fā)小組,未確認NIL設備實際圖樣形成能力,直接參訪海外NIL設備廠。該制程研發(fā)小組透露,若引進相關設備,將可提升面板性能。并已展開具體供貨協(xié)商。NIL是以刻印圖樣的壓印機,像蓋章般在玻璃基板上形成圖樣的制程。在基板上涂布UV感光液后,再以壓印機接觸施加壓力,印出面板圖樣。之后再經過蝕刻制程形成圖樣。NIL可在LCD玻璃基板上刻印出偏光圖樣,不需再另外貼附偏光薄膜。雖然在面板制程中需增加NIL、蝕刻制程,但省落偏光膜貼附制程,可維持同樣的生產成本。偏光膜會吸收部分光線降低亮度。若在玻璃基板上直接形成偏光圖樣,將不會發(fā)生降低亮度的情況。通常面板分辨率越高,因配線較多,較難確保開口率(ApertureRatio)。SmartNIL的主要技術是可以提供低至40 nm或更小的出色的共形烙印結果。
其中包括家用電器、醫(yī)藥、電子、光學、生命科學、汽車和航空業(yè)。肖特在全球34個國家和地區(qū)設有生產基地和銷售辦事處。公司目前擁有員工超過15500名,2017/2018財年的銷售額為。總部位于德國美因茨的母公司SCHOTTAG由卡爾蔡司基金會(CarlZeissFoundation)全資擁有。卡爾蔡司基金會是德國歷史**悠久的私立基金會之一,同時也是德國規(guī)模比較大的科學促進基金會之一。作為一家基金公司,肖特對其員工,社會和環(huán)境負有特殊責任。關于EV集團(EVG)EV集團(EVG)是為半導體、微機電系統(tǒng)(MEMS)、化合物半導體、功率器件和納米技術器件制造提供設備與工藝解決方案的**供應商。其主要產品包括:晶圓鍵合、薄晶圓處理、光刻/納米壓?。∟IL)與計量設備,以及涂膠機、清洗機和檢測系統(tǒng)。EV集團成立于1980年,可為遍及全球的眾多客戶和合作伙伴網絡提供各類服務與支持。SmartNIL,NILPhotonics及EVGroup標識是EVGroup的注冊商標,SCHOTTRealView?是SCHOTT的注冊商標。(來自網絡。SmartNIL集成多次使用的軟標記處理功能,并具有顯著的擁有成本的優(yōu)勢,同時保留可擴展性和易于維護的特點。鏡片成型納米壓印免稅價格
EVG?720/EVG?7200/EVG?7200LA是自動化的全場域納米壓印解決方案,適用于第3代基材。原裝進口納米壓印要多少錢
納米壓印設備哪個好?預墨印章用于將材料以明顯的圖案轉移到基材上。該技術用于表面化學的局部修飾或捕獲分子在生物傳感器制造中的精確放置。
納米壓印設備可以進行熱壓花、加壓加熱、印章、聚合物、基板、附加沖壓成型脫模。
將聚合物片或旋涂聚合物加熱到其玻璃化轉變溫度以上,從而將材料轉變?yōu)檎承誀顟B(tài)。然后以足夠的力將壓模壓入聚合物中。岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商,歡迎各位聯系我們,探討納米壓印光刻的相關知識。我們愿意與您共同進步。
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岱美儀器技術服務(上海)有限公司致力于儀器儀表,是一家其他型公司。公司業(yè)務分為磁記錄,半導體,光通訊生產,測試儀器的批發(fā)等,目前不斷進行創(chuàng)新和服務改進,為客戶提供良好的產品和服務。公司注重以質量為中心,以服務為理念,秉持誠信為本的理念,打造儀器儀表良好品牌。在社會各界的鼎力支持下,持續(xù)創(chuàng)新,不斷鑄造***服務體驗,為客戶成功提供堅實有力的支持。