1. 類金剛石碳膜（Diamond-like carbon films，簡(jiǎn)稱DLC膜）作為新型的硬質(zhì)薄膜材料具有一系列優(yōu)異的性能，如高硬度、高耐磨性、高熱導(dǎo)率、高電阻率、良好的光學(xué)透明性、化學(xué)惰性等，可較為用于機(jī)械、電子、光學(xué)、熱學(xué)、聲學(xué)、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域，具有良好的應(yīng)用前景。我們開(kāi)發(fā)了等離子體-離子束源增強(qiáng)沉積系統(tǒng)，并同過(guò)該系統(tǒng)中的磁過(guò)濾真空陰極弧和非平衡磁控濺射來(lái)進(jìn)行DLC膜的開(kāi)發(fā)。該項(xiàng)技術(shù)較為用于電子、裝飾、宇航、機(jī)械和信息等領(lǐng)域，用于摩擦、光學(xué)功能等用途。我國(guó)技術(shù)正處于發(fā)展和完善階段，有巨大市場(chǎng)潛力。在玻璃基底上添加DLC薄膜能夠?qū)崿F(xiàn)在可見(jiàn)光區(qū)的多波段增透效果。臺(tái)州醫(yī)療器械DLC生產(chǎn)企業(yè)

1. 類金剛石(diamond-like carbon,DLC)涂層具有優(yōu)異的性能,應(yīng)用潛力適合.但DLC涂層的較為缺點(diǎn),即內(nèi)應(yīng)力高和熱穩(wěn)定性差,限制了DLC涂層的推廣應(yīng)用.本實(shí)驗(yàn)采用等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)的方法,調(diào)控涂層含氮量,調(diào)節(jié)偏壓大小,以及進(jìn)行硅氮共摻.利用拉曼光譜,紅外光譜(FTIR),X射線光電子能譜(XPS)和薄膜應(yīng)力測(cè)試儀,微納米力學(xué)綜合測(cè)量系統(tǒng)等分析測(cè)試手段對(duì)涂層組織和性能進(jìn)行表征,探討了DLC涂層沉積態(tài)及退火態(tài)的組織結(jié)構(gòu)和性能的變化規(guī)律.實(shí)驗(yàn)獲得如下結(jié)論:(1)對(duì)摻氮含氫類金剛石(a-CN:H)涂層而言.隨著N_2流通量增加,涂層含氮量增加,sp~3含量先增加后減小,拐點(diǎn)氮含量為0.12 at%.涂層中的N元素以C=N鍵為主,且C=N鍵在490°C以上溫度退火時(shí)才發(fā)生部分?jǐn)嗔?存在臨界退火溫度430°C.低于該溫度退火時(shí),與純含氫類金剛石(a-C:H)涂層相比,摻氮涂層具有較低的sp~3→sp~2的結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)變溫度.但當(dāng)退火溫度大于430°C時(shí),摻氮涂層的結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)變速率比a-C:H涂層低.即隨著涂層含氮量增加,低氮摻雜涂層的高溫?zé)岱€(wěn)定性增加.當(dāng)摻氮涂層經(jīng)430°C退火后,可以獲得具有高硬度,高導(dǎo)率,低殘余應(yīng)力和低摩擦系數(shù)等綜合性能優(yōu)異的DLC涂層重慶真空鍍膜DLC加工中心類金剛石(Diamond-like Carbon,DLC)薄膜具有高硬度、高耐磨性、良好的透明性和生物相容性等獨(dú)特的性質(zhì)。

醫(yī)用植入器件的生物相容性與表面性能密切相關(guān)，對(duì)其進(jìn)行有效的表面改性處理是提高其生物相容性的途徑之一。類金剛石薄膜具有良好的細(xì)胞相容性、血液相容性及彈性、化學(xué)惰性等特點(diǎn)，而成為一種很有應(yīng)用前景的生物膜材料。本文針對(duì)植入器件用316L不銹鋼材料，分析發(fā)現(xiàn)：上述膜改性體系的耐蝕性能與薄膜的結(jié)構(gòu)和成分密切相關(guān)。它們的腐蝕是由于膜層中存在的缺陷導(dǎo)致的，膜層本身并不參加電化學(xué)反應(yīng)。電化學(xué)腐蝕反應(yīng)過(guò)程為：1)形成閉塞電池；2)自催化過(guò)程促進(jìn)基體材料的腐蝕；3)由于基體材料被破壞，薄膜出現(xiàn)剝離現(xiàn)象。

1. 利用DLC來(lái)制備晶體硅表面的減反射膜,用于提高太陽(yáng)能電池的光電轉(zhuǎn)化效率。使用磁控濺射沉積設(shè)備在單晶硅基體上制備了系列DLC薄膜,薄膜的折射率和與sp3含量有關(guān),sp3含量越高,折射率越高。改變工藝參數(shù),DLC薄膜的折射率可在1.64～2.18之間變化。DLC薄膜消光系數(shù)與DLC薄膜中sp2相的含量有關(guān)。sp2含量越高,消光系數(shù)越高。甲烷濃度對(duì)DLC薄膜光學(xué)性質(zhì)的影響,隨著甲烷濃度的增加,DLC薄膜的透射率呈現(xiàn)逐漸減少的趨勢(shì)。當(dāng)甲烷濃度在5SCCM以下時(shí),薄膜的透光性比較好，在硅基底上添加多層DLC薄膜能夠?qū)崿F(xiàn)在可見(jiàn)光區(qū)的多波段減反射效果。在玻璃基底上添加DLC薄膜能夠?qū)崿F(xiàn)在可見(jiàn)光區(qū)的多波段增透效果。應(yīng)用于模具上的DLC涂層所表現(xiàn)出的特殊性能遠(yuǎn)超過(guò)其它硬質(zhì)涂層。

1. 類金剛石(diamond-like carbon,DLC)是一類含有金剛石結(jié)構(gòu)(sp3雜化鍵)和石墨結(jié)構(gòu)(sp2雜化鍵)的亞穩(wěn)態(tài)非晶物質(zhì)，具有高硬度、耐腐蝕、低摩擦因數(shù)、耐磨損等優(yōu)良特性，但也存在著由于制備工藝、沉積參數(shù)等不同導(dǎo)致的內(nèi)應(yīng)力大、熱穩(wěn)定性差、摩擦學(xué)行為敏感等問(wèn)題，明顯限制了其產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。類金剛石薄膜的幾種常見(jiàn)制備方法:等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法(PECVD)、脈沖激光沉積法(PLD)、磁過(guò)濾陰極真空電弧法(FCVA)、磁控濺射法(MS)。類金剛石(Diamond-like Carbon,DLC)薄膜是碳以sp3和sp2雜化鍵結(jié)合形成的一種亞穩(wěn)態(tài)非晶材料,具有高硬度、高耐磨性、良好的透明性和生物相容性等獨(dú)特的性質(zhì)。采用不同的工藝方法制備的DLC薄膜具有不同的微觀結(jié)構(gòu)和性質(zhì)。特別地,作為光學(xué)材料,DLC薄膜具有較寬的禁帶寬度和較低的折射率,且折射率可在一定范圍內(nèi)調(diào)控。DLC將摩擦損失降至較為小，良好的耐腐蝕性使基體免受破壞性攻擊。無(wú)錫DLC功能

國(guó)外采用DLC，提高了模具的壽命和盤(pán)片的質(zhì)量。硬度高，摩擦系數(shù)低，耐磨，耐腐蝕，抗粘結(jié)性好且環(huán)保等。臺(tái)州醫(yī)療器械DLC生產(chǎn)企業(yè)

分析CrN過(guò)渡層與不同膜厚對(duì)DLC薄膜性能的影響,及涂層模具的成型特性。方法采用PECVD方法在718合金試樣及模具表面沉積Cr N/DLC復(fù)合膜,預(yù)設(shè)Cr N過(guò)渡層厚度為0.2μm,DLC膜層厚度為0.5～1.2μm。采用無(wú)損設(shè)備對(duì)不同沉積時(shí)間(10、15、20、25、30、35 min)的薄膜厚度進(jìn)行表征,并使用掃描電子顯微鏡(SEM)觀察薄膜表面及截面結(jié)構(gòu)特征。采用拉曼光譜(Raman)分析不同厚度DLC膜的峰位信息以及sp3-C/sp2-C的比例關(guān)系,用納米壓痕儀表征膜層硬度,用硬度計(jì)分析膜/基結(jié)合力,用輪廓儀表征薄膜表面特征,并探討膜厚對(duì)薄膜性能的影響機(jī)制。結(jié)果薄膜的厚度值在預(yù)設(shè)范圍以內(nèi),該方法制備的薄膜結(jié)構(gòu)致密,表面光滑,無(wú)分層、凹坑、液滴粘附等缺陷。隨涂層厚度的增加,薄膜中sp3-C/sp2-C的比例呈先減小后增大的趨勢(shì),G峰也先向D峰靠近,而后遠(yuǎn)離。薄膜硬度同樣隨膜層厚度的增加呈先增加后減小的趨勢(shì),1.06μm厚的Cr N/DLC膜的硬度比較高(3600HV)。薄膜的結(jié)合力等級(jí)比較高可以達(dá)到工業(yè)級(jí)的HF2。表面輪廓無(wú)較大量動(dòng),表面粗糙度Ra比較低可達(dá)0.011μm。1.06μm CrN/DLC涂層模具的成型壽命是未涂層模具的3倍以上。結(jié)論對(duì)橡膠模具而言,適當(dāng)厚度的DLC微/納涂層處理可以起到一定的減磨、抗腐蝕效果,降低模具本體表面潤(rùn)濕性。臺(tái)州醫(yī)療器械DLC生產(chǎn)企業(yè)

蘇州華銳杰新材料科技有限公司專注技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品研發(fā)，發(fā)展規(guī)模團(tuán)隊(duì)不斷壯大。公司目前擁有專業(yè)的技術(shù)員工，為員工提供廣闊的發(fā)展平臺(tái)與成長(zhǎng)空間，為客戶提供高質(zhì)的產(chǎn)品服務(wù)，深受員工與客戶好評(píng)。公司業(yè)務(wù)范圍主要包括：類金剛石（DLC），氮化鈦，氮化鉻等。公司奉行顧客至上、質(zhì)量為本的經(jīng)營(yíng)宗旨，深受客戶好評(píng)。公司憑著雄厚的技術(shù)力量、飽滿的工作態(tài)度、扎實(shí)的工作作風(fēng)、良好的職業(yè)道德，樹(shù)立了良好的類金剛石（DLC），氮化鈦，氮化鉻形象，贏得了社會(huì)各界的信任和認(rèn)可。