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對(duì)于半導(dǎo)體行業(yè)來(lái)說(shuō),圓晶測(cè)量和缺陷檢測(cè)都是半導(dǎo)體生產(chǎn)的關(guān)鍵環(huán)節(jié),檢測(cè)和控制生產(chǎn)中的每一步生產(chǎn)質(zhì)量。為了顯微測(cè)量,馬波斯提供2D光譜共焦線掃相機(jī)。在超高分辨率和超大景深應(yīng)用中,可在Z軸上準(zhǔn)確聚焦。因此,這是檢測(cè)圓晶缺陷的理想選擇,例如,圓晶沿的檢測(cè)和封裝期間的檢測(cè)。這些傳感器都允許集成在測(cè)量和檢測(cè)設(shè)備中。馬波斯和STIL在數(shù)十年的發(fā)展中積累了豐富的經(jīng)驗(yàn),可為用戶提供量身定制解決方案和的光學(xué)設(shè)計(jì)。馬波斯的小橫向分辨率為0.4μm*0.4μm,大傾斜角為+/-45°,0.75數(shù)值孔徑。Marposs為齒輪變速箱売體提供量身定制的泄漏測(cè)試解決方案,可滿足行業(yè)內(nèi)手動(dòng)或全自動(dòng)的多選項(xiàng)解決方案。工業(yè)設(shè)備檢測(cè)
在半導(dǎo)體的生產(chǎn)環(huán)節(jié)中,圓晶減薄是其中一個(gè)關(guān)鍵的生產(chǎn)環(huán)節(jié)。實(shí)際上,由于芯片已在圓晶上成形,減薄操作的任何失誤都可能影響芯片成品率和成本。在減薄加工中,可用接觸式或非接觸式傳感器測(cè)量,甚至可在去離子水中測(cè)量,進(jìn)行嚴(yán)格在線控制。馬波斯傳感器甚至可檢測(cè)到砂輪與圓晶接觸的瞬間或檢查任何過(guò)載。另外,馬波斯傳感器可控制的厚度從4μm到900μm(單側(cè)測(cè)量),智能處理厚度數(shù)據(jù),可正??刂瞥『穸群陀涗洈?shù)據(jù)(黑盒功能)。棒料直徑檢測(cè)馬波斯集團(tuán)Hetech品牌一直致力于泄漏檢測(cè)系統(tǒng)領(lǐng)域的研究,也是這一嶄新市場(chǎng)生產(chǎn)商的有力合作伙伴。
Optoflash具有明顯的功能。一方面,高速測(cè)量。在不進(jìn)行Z軸運(yùn)動(dòng)的情況下對(duì)整個(gè)零件進(jìn)行光學(xué)采集—相對(duì)其它系統(tǒng)對(duì)測(cè)量要素逐一掃描測(cè)量來(lái)說(shuō)—Optoflash測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量只需一瞬間。另一方面,可靠耐用。固定位置的光學(xué)系統(tǒng),避免了軸向的機(jī)械磨損。測(cè)量系統(tǒng)擁有很強(qiáng)的計(jì)量性能,可在數(shù)百萬(wàn)次的測(cè)量周期內(nèi),確保運(yùn)行的一致性和穩(wěn)定性。這一性能可比較大限度地減少對(duì)系統(tǒng)的維護(hù)保養(yǎng)。因此,可以看出Optoflash具有高測(cè)量精度和“閃電般”的測(cè)量循環(huán)時(shí)間。
汽車(chē)行業(yè)的另一項(xiàng)重大轉(zhuǎn)變-無(wú)人駕駛。無(wú)人駕駛汽車(chē)的想法目前正吸引著整個(gè)行業(yè)的注意力,盡管這是一個(gè)引人入勝的趨勢(shì),但是在方向盤(pán)后面安裝一臺(tái)計(jì)算機(jī)而非一個(gè)人,這不太可能對(duì)齒輪制造造成太大的影響。電機(jī)的高轉(zhuǎn)速(高達(dá)20,000rpm)意味著在設(shè)計(jì)傳動(dòng)系統(tǒng)時(shí)要考慮諸多因素以減少功率損耗,確保運(yùn)轉(zhuǎn)效率比較高的同時(shí)控制噪音。EV電動(dòng)汽車(chē)的傳動(dòng)系統(tǒng)的公差必須非常嚴(yán)格,數(shù)十年的經(jīng)驗(yàn)和不斷的創(chuàng)新使Marposs成為傳動(dòng)系統(tǒng)市場(chǎng)上的比較好合作伙伴。定子的質(zhì)量控制意味著檢查整個(gè)生產(chǎn)鏈的各種電氣特性。特別是絕緣試驗(yàn)和局部放電測(cè)試在工藝的不同階段進(jìn)行。
馬波斯(半)自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)Visiquick馬波斯半自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)基于接觸或光學(xué)技術(shù)。被測(cè)容器采用人工裝卸,測(cè)量周期自動(dòng)進(jìn)行。基于光學(xué)技術(shù)的系統(tǒng)柔性很高,可以測(cè)量許多不同的物品,無(wú)論其大小、形狀和顏色,且無(wú)需任何操作調(diào)整。2.而在馬波斯自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)中,玻璃容器的裝卸和測(cè)量操作可完全自動(dòng)進(jìn)行,無(wú)需任何人為干預(yù)。它們主要基于非接觸式技術(shù),除了外形尺寸外,還可以測(cè)量其他特征,如口內(nèi)徑和輪廓、壁厚、重量、瓶底高度、貼標(biāo)區(qū)域輪廓等。與半自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)相比,自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)的優(yōu)勢(shì)在于***降低人力成本。使用半自動(dòng)和自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)執(zhí)行的測(cè)量結(jié)果被發(fā)送到MES(制造執(zhí)行軟件),并被決策者用于實(shí)時(shí)微調(diào)和監(jiān)控制造過(guò)程。憑借e.d.c.產(chǎn)品,馬波斯提供了一整套解決方案,專門(mén)用于任何類型電機(jī)的功能測(cè)試和下線測(cè)試。北京燃料電池檢測(cè)設(shè)備方法
MARPOSS局部放電絕緣測(cè)試(PDIV測(cè)試)能夠識(shí)別相間或相與定子主體之間的潛在絕緣缺陷。工業(yè)設(shè)備檢測(cè)
MARPOSS泄漏測(cè)試是電池pack裝配過(guò)程中的基本要求,用于檢查電池pack的氣密性,以防止水、濕氣、灰塵或其他外部污染物進(jìn)入,導(dǎo)致電池pack內(nèi)部的高壓零部件出現(xiàn)短路。嗅探法對(duì)電池PACK進(jìn)行泄漏測(cè)試可以帶有一個(gè)或多個(gè)機(jī)器人嗅探裝置的全自動(dòng)泄漏測(cè)試工站,進(jìn)行100%在線檢測(cè)手動(dòng)嗅探工站,用于離線檢查維修站中的測(cè)試不良品可提供用于冷卻回路泄漏測(cè)試的定制化空氣法方案(壓降法或質(zhì)量流量法)。嗅探法對(duì)電池PACK進(jìn)行泄漏測(cè)試可以利用手動(dòng)或自動(dòng)解決方案,高可靠性低使用成本,檢測(cè)泄漏精度高達(dá)10-4SCC/sec。工業(yè)設(shè)備檢測(cè)