封裝過(guò)程中的污染物,可以通過(guò)離子清洗機(jī)處理,它主要是通過(guò)活性等離子體對(duì)材料表面進(jìn)行物理轟擊或化學(xué)反應(yīng)來(lái)去除材料表面污染,但射頻等離子技術(shù)因處理溫度、等離子密度等技術(shù)因素,已無(wú)法滿足先進(jìn)封裝的技術(shù)需求,因此,更推薦大家使用微波等離子清洗技術(shù)~微波等離子清洗機(jī)的優(yōu)勢(shì)處理溫度低于45℃:避免對(duì)芯片產(chǎn)生熱損害等離子體不帶電:對(duì)精密電路無(wú)電破壞。在芯片封裝工藝中,芯片粘接/共晶→引線焊接→封裝→Mark等工藝環(huán)節(jié),均推薦使用微波等離子清洗機(jī),無(wú)損精密器件、不影響上道工藝性能,助力芯片封裝質(zhì)量有效提升。等離子清洗設(shè)備采用等離子技術(shù),提供多種材料的表面處理解決方案。浙江晶圓等離子清洗機(jī)作用
汽車(chē)儲(chǔ)物盒在做靜電植絨時(shí),通常會(huì)在基材上膠前加上一層底涂,以使膠水與儲(chǔ)物盒的粘接性更好。采用等離子體表面處理技術(shù)來(lái)替代上膠前的上底涂工藝,不僅可以活化表面提高粘接力,而且還能降低成本,工藝更加環(huán)保。為確保汽車(chē)車(chē)燈的長(zhǎng)期使用壽命,必須對(duì)它們進(jìn)行有效保護(hù),防止水分進(jìn)入。所以在車(chē)燈內(nèi)膠條(凹槽深20mm)粘接工藝前可使用大氣射流等離子進(jìn)行表面活化,提高膠水的黏附性能,從而確保車(chē)燈的可靠粘接和長(zhǎng)期密封。在汽車(chē)擋風(fēng)玻璃上面印刷油墨或粘接物件,為取得必要的粘結(jié)力,通常會(huì)用化學(xué)底涂方式來(lái)處理表面,這些底涂層含有易揮發(fā)的溶劑,一定程度上在以后車(chē)輛的使用中會(huì)散發(fā)出來(lái)。使用等離子處理可以對(duì)玻璃表面進(jìn)行活化處理,提高粘接性和可靠性,而且更加環(huán)保。吉林sindin等離子清洗機(jī)24小時(shí)服務(wù)與傳統(tǒng)的表面處理方法相比,等離子表面處理技術(shù)具有更低的成本,從而降低了生產(chǎn)成本。
在Mini LED封裝工藝中,針對(duì)不同污染物并根據(jù)基板及芯片材料的不同,采用不同的清洗工藝可以得到理想的效果,但是使用錯(cuò)誤的工藝氣體方案,都會(huì)導(dǎo)致清潔效果不好甚至產(chǎn)品報(bào)廢。例如銀材料的芯片采用氧等離子工藝,則會(huì)被氧化發(fā)黑甚至報(bào)廢。一般情況下,顆粒污染物及氧化物采用氫氬混合氣體進(jìn)行等離子清洗,鍍金材料芯片可以采用氧等離子體去除有機(jī)物,而銀材料芯片則不可以。在封裝工藝中對(duì)等離子清洗的選擇取決于后續(xù)工藝對(duì)材料表面的要求、材料表面的特征、化學(xué)組成以及污染物的性質(zhì)等。等離子清洗機(jī)可以增強(qiáng)樣品的粘附性、浸潤(rùn)性和可靠性等,不同的工藝會(huì)使用不同的氣體。
等離子清洗機(jī)(plasma cleaner)是高科技的一款表面處理設(shè)備,通過(guò)等離子體來(lái)達(dá)到表面處理的作用;獲得清洗、活化、刻蝕、涂層等多方向的應(yīng)用,解決各種行業(yè)的表面處理難題。1、等離子清洗機(jī)原理密閉的反應(yīng)腔體(真空室、真空腔體)被真空泵不斷抽氣,從1個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下降到設(shè)定的壓力值并維持真空度;通入氬、氫、氮?dú)獾裙に嚉怏w,啟動(dòng)等離子發(fā)生器,讓反應(yīng)腔體內(nèi)電極之間產(chǎn)生高壓交變電場(chǎng),使得自由電子能量加速,去激發(fā)工藝氣體分子形成等離子體,具有高反應(yīng)活性或高能量的等離子體,會(huì)與有機(jī)污染物及微顆粒污染物反應(yīng)、碰撞形成各種揮發(fā)性物質(zhì),這些揮發(fā)性物質(zhì)伴隨工藝氣流由真空泵抽取出去,從而達(dá)到被處理對(duì)象表面清潔、活化等目的。等離子清洗機(jī)對(duì)所處理的材料無(wú)嚴(yán)格要求,無(wú)論是金屬、半導(dǎo)體、氧化物,都能進(jìn)行良好的處理。
在市場(chǎng)方面,隨著全球半導(dǎo)體市場(chǎng)的持續(xù)增長(zhǎng)和國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,半導(dǎo)體封裝等離子清洗機(jī)的市場(chǎng)需求將持續(xù)增長(zhǎng)。同時(shí),隨著國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體封裝等離子清洗機(jī)技術(shù)的不斷成熟和應(yīng)用領(lǐng)域的不斷拓展,國(guó)產(chǎn)設(shè)備的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力也將逐漸增強(qiáng)。綜上所述,半導(dǎo)體封裝等離子清洗機(jī)在半導(dǎo)體制造工藝中具有重要地位和作用。其技術(shù)深度、應(yīng)用優(yōu)勢(shì)和未來(lái)發(fā)展前景都表明,等離子清洗機(jī)將成為推動(dòng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重要力量。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步和市場(chǎng)的不斷擴(kuò)大,我們期待半導(dǎo)體封裝等離子清洗機(jī)在未來(lái)能夠發(fā)揮更加重要的作用,為人類(lèi)社會(huì)的科技進(jìn)步和生活改善做出更大的貢獻(xiàn)。plasma等離子清洗機(jī)活化可確保對(duì)塑料、金屬、紡織品、玻璃、再生材料和復(fù)合材料進(jìn)行特別有效的表面改性。福建晟鼎等離子清洗機(jī)設(shè)備
plasma等離子清洗機(jī)是非常適合很多行業(yè)領(lǐng)域的良性發(fā)展,可以有效的幫助企業(yè)實(shí)現(xiàn)高效化的生產(chǎn)。浙江晶圓等離子清洗機(jī)作用
目前,在汽車(chē)發(fā)動(dòng)機(jī)領(lǐng)域,油底殼與曲軸箱、曲軸箱與缸體等密封面通常采用硅膠密封,這些硅膠密封面常因殘留有機(jī)物(如珩磨油、切削液、清洗液等)造成硅膠的附著力不足,從而導(dǎo)致密封失效,發(fā)動(dòng)機(jī)漏油。目前的常規(guī)工藝為涂膠前對(duì)涂膠面進(jìn)行人工擦拭,而人工擦拭存在諸多缺點(diǎn),無(wú)法達(dá)到清潔的要求。等離子清洗機(jī)的應(yīng)用能夠很好地解決這些問(wèn)題,目前已經(jīng)應(yīng)用到光學(xué)行業(yè)、航空工業(yè)、半導(dǎo)體業(yè)等領(lǐng)域,并成為關(guān)鍵技術(shù),變得越來(lái)越重要。等離子清洗機(jī)發(fā)動(dòng)機(jī)涂膠面上的應(yīng)用:發(fā)動(dòng)機(jī)涂膠面殘留的有機(jī)物薄膜,通常為碳?xì)溲趸衔?CHO,);等離子清洗的過(guò)程如下:將壓縮空氣電離成低溫等離子體,通過(guò)噴槍噴射到涂膠表面,利用等離子體(主要利用壓縮空氣中的氧氣作為反應(yīng)氣體)對(duì)有機(jī)物的分解作用,將涂膠表面殘留的有機(jī)物進(jìn)行分解,以達(dá)到清潔目的。反應(yīng)過(guò)程主要有兩種:第一種化學(xué)反應(yīng),將壓縮空氣電離后獲得大量氧等離子體:氧等離子體與有機(jī)物作用,把有機(jī)物(CHO,)分解成二氧化碳和水,CHyOz+O*→H20+CO2,二種是物理反應(yīng),壓縮空氣電離成等離子體后,等離子體內(nèi)的高能粒子以高能量、高速度轟擊涂膠面表面,使分子分解。浙江晶圓等離子清洗機(jī)作用