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隨著集成電路技術(shù)的發(fā)展,半導(dǎo)體封裝技術(shù)也在不斷創(chuàng)新和改進,以滿足高性能、小型化、高頻化、低功耗、以及低成本的要求。等離子處理技術(shù)作為一種高效、環(huán)保的解決方案,能夠滿足先進半導(dǎo)體封裝的要求,被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片DB/WB工藝、Flip Chip (FC)倒裝工藝中。芯片鍵合(DieBonding)是指將晶圓上切割下來的單個芯片固定到封裝基板上的過程。其目的在于為芯片提供一個穩(wěn)定的支撐,并確保芯片與外部電路之間的電氣和機械連接。常用的方法有樹脂粘結(jié)、共晶焊接、鉛錫合金焊接等。在點膠裝片前,基板上如果存在污染物,銀膠容易形成圓球狀,降低芯片粘結(jié)度。因此,在DB工藝前,需要進行等離子處理,提高基板表面的親水性和粗糙度,有利于銀膠的平鋪及芯片粘貼,提高封裝的可靠性和耐久性。在提升點膠質(zhì)量的同時可以節(jié)省銀膠使用量,降低成本。等離子表面處理技術(shù)可以活化材料表面,提高材料的附著力,使電鍍、噴涂、印刷、點膠等工藝,效果更加優(yōu)異。山西plasma等離子清洗機要多少錢
光刻膠的去除在IC制造工藝流程中占非常重要的地位,其成本約占IC制造工藝的20-30%,光刻膠去膠效果太弱影響生產(chǎn)效率,去膠效果太強容易造成基底損傷,影響整個產(chǎn)品的成品率。傳統(tǒng)主流去膠方法采用濕法去膠,成本低效率高,但隨著技術(shù)不斷選代更新,越來越多IC制造商開始采用干法式去膠,干法式去膠工藝不同于傳統(tǒng)的濕法式去膠工藝,它不需要浸泡化學(xué)溶劑,也不用烘干,去膠過程更容易控制,避免過多算上基底,提高產(chǎn)品成品率。干法式去膠又被稱為等離子去膠,其原理同等離子清洗類似,主要通過氧原子核和光刻膠在等離子體環(huán)境中發(fā)生反應(yīng)來去除光刻膠,由于光刻膠的基本成分是碳氫有機物,在射頻或微波作用下,氧氣電離成氧原子并與光刻膠發(fā)生化學(xué)反應(yīng),生成一氧化碳,二氧化碳和水等,再通過泵被真空抽走,完成光刻膠的去除。等離子物理去膠過程:主要是物理作用對清洗物件進行轟擊達到去膠的目的,主要的氣體為氧氣、氬氣等,通過射頻產(chǎn)生氧離子,轟擊清洗物件,以獲得表面光滑的較大化,并且結(jié)果是親水性增大。天津plasma等離子清洗機量大從優(yōu)等離子表面處理技術(shù)可以保障處理面效果均勻,從而提高材料的表面質(zhì)量和一致性。
在半導(dǎo)體微芯片封裝中,微波等離子體清洗和活化技術(shù)被應(yīng)用于提高封裝模料的附著力。這包括“頂部”和“倒裝芯片底部填充”過程。高活性微波等離子體利用氧自由基的化學(xué)功率來修飾各種基底表面:焊料掩模材料、模具鈍化層、焊盤以及引線框架表面。這樣就消除了模具分層問題,并且通過使用聚乙烯醇的等離子體,不存在靜電放電或其他潛在有害副作用的風(fēng)險。封裝器件(如集成電路(ic)和印刷電路板(pcb))的去封裝暴露了封裝的內(nèi)部組件。通過解封裝打開設(shè)備,可以檢查模具、互連和其他通常在故障分析期間檢查的特征。器件失效分析通常依賴于聚合物封裝材料的選擇性腐蝕,而不損害金屬絲和器件層的完整性。這是通過使用微波等離子體清潔去除封裝材料實現(xiàn)的。等離子體的刻蝕性能是高選擇性的,不受等離子體刻蝕工藝的影響。
汽車內(nèi)外飾件普遍呈彎曲、凹凸等非平面造型,在噴漆、粘接、涂覆工藝前,可使用等離子設(shè)備對汽車內(nèi)飾件、儀表板、儲物盒、天窗導(dǎo)軌、車燈等內(nèi)外飾件進行表面活化,確保后續(xù)工藝質(zhì)量。等離子表面處理具有處理效果均勻。無明火室溫處理,材料不易燙壞變形、環(huán)保無污染和適用范圍廣等優(yōu)點,在汽車產(chǎn)業(yè)中也起著不可或缺的作用。①塑料內(nèi)飾件粘接前經(jīng)等離子處理可實現(xiàn)表面活化,改善表面潤濕性,確保粘接質(zhì)量。②大尺寸彎曲、凹凸非平面的內(nèi)飾件可使用真空等離子清洗機高效、均勻地進行表面活化處理,不同規(guī)格的內(nèi)飾件可定制相應(yīng)尺寸的腔體。等離子清洗機利用高能粒子與有機材料表層產(chǎn)生的物理學(xué)或化學(xué)變化,以解決活性、蝕刻工藝等原材料表層問題。
Plasma封裝等離子清洗機,顧名思義,其主要在于利用等離子體(Plasma)這一高能態(tài)物質(zhì)對材料表面進行深度清潔與改性。在真空環(huán)境下,通過高頻電場激發(fā)工藝氣體,使其電離形成等離子體。這些等離子體中的高能粒子、自由基等活性物質(zhì),能夠迅速與材料表面的污染物發(fā)生反應(yīng),將其分解為揮發(fā)性物質(zhì)并被真空泵抽走,從而實現(xiàn)表面的深度清潔。同時,等離子體還能與材料表面分子發(fā)生化學(xué)反應(yīng),引入新的官能團,實現(xiàn)表面改性。相比傳統(tǒng)清洗方法,Plasma封裝等離子清洗機具有無需化學(xué)溶劑、無廢水排放、環(huán)保節(jié)能、處理速度快、效果明顯等優(yōu)勢。線性等離子清洗機適應(yīng)多種材料,能夠解決薄膜表面處理的難題,是處理薄膜等扁平且較寬材料的不錯的設(shè)備。四川plasma等離子清洗機性能
等離子表面處理機利用高溫等離子體對材料進行物理或化學(xué)處理,以達到改善材料性能、提高產(chǎn)品質(zhì)量的目的。山西plasma等離子清洗機要多少錢
汽車保險杠通常會采用塑料材料,其中PP和EPDM材料具有韌性好、易加工,又加上具有成本優(yōu)勢,一直以來都是汽車保險桿生產(chǎn)廠商的好幫手。我們知道,保險杠需經(jīng)過噴漆處理,而PP和EPDM材料表面能比較低,直接涂會掉漆,以往都是在噴漆前用火焰處理來提高材料的表面能,但火焰處理方式容易造成材料變形和色變,并且材料耐老化性差。真空等離子體清洗機表面處理技術(shù)不僅能解決保險杠PP和EPDM材料表面能低,粘接力差的問題,而且安全可靠,得到了生產(chǎn)廠商的認可和使用。等離子清洗機應(yīng)用于PP和EPDM材料處理是一種干式環(huán)保的處理方式,通過等離子清洗機的處理,既能夠有效提升PP包材的表面粘接力,使之在印染時粘得更牢、不易脫落,且無需使用溶劑,綠色環(huán)保、節(jié)約成本。山西plasma等離子清洗機要多少錢