柔性電極的生物相容性表面改性技術:柔性電極的長期植入性能依賴于表面生物相容性改性,公司采用多層涂層工藝解決蛋白吸附與炎癥反應問題。以PI基柔性電極為基底,首先通過等離子體處理引入羥基基團,然后接枝硅烷偶聯(lián)劑(如APTES)形成活性界面,再通過層層自組裝技術沉積PEG(聚乙二醇)與殼聚糖復合層,**終涂層厚度5-15nm。該涂層可使水接觸角從85°降至50°,蛋白吸附量從100ng/cm2降至<10ng/cm2,中性粒細胞黏附率下降80%。在動物植入實驗中,改性后的電極在體內留置3個月,周圍組織纖維化程度較未處理組減輕60%,信號衰減<15%,而對照組衰減達40%。該技術適用于神經電極、心臟起搏電極等植入器件,結合MEMS加工的超薄化設計(電極厚度<10μm),降低手術創(chuàng)傷與長期植入風險。公司支持定制化涂層配方,可根據(jù)應用場景調整親疏水性、電荷性質及生物活性分子(如生長因子)接枝,為植入式醫(yī)療設備提供個性化表面改性解決方案。MEMS器件制造工藝更偏定制化。采用MEMS加工的MEMS微納米加工的技術服務
MEMS制作工藝-太赫茲特性:
1.相干性由于它是由相千電流驅動的電偶極子振蕩產生,或又相千的激光脈沖通過非線性光學頻率差頻產生,因此有很好的相干性。THz的相干測量技術能夠直接測量電場振幅和相位,從而方便提取檢測樣品的折射率,吸收系數(shù)等。
2.低能性:THz光子的能量只有10^-3量級,遠小于X射線的10^3量級,不易破壞被檢測的物質,適合于生物大分子與活性物質結構的研究。
3.穿透性:THz輻射對于很多非極性物質,如塑料,紙箱,布料等包裝材料有很強的穿透能力,在環(huán)境控制與安全方面能有效發(fā)揮作用
4.吸收性:大多數(shù)極性分子對THz有強烈的吸收作用,可以用來進行醫(yī)療診斷與產品質量監(jiān)控
5.瞬態(tài)性:相比于傳統(tǒng)電磁波與光波,THz典型脈寬在皮秒量級,通過光電取樣測量技術,能夠有效抑制背景輻射噪聲的干擾,在小于3THz時信噪比達10人4:1。
6.寬帶性:THz脈沖光源通常包含諾千個周期的電磁振蕩,!單個脈沖頻寬可以覆蓋從GHz至幾+THz的范圍,便于在大的范圍內分析物質的光譜信息。 福建MEMS微納米加工之柔性電極定制MEMS的繼電器與開關是什么?
三維微納結構的跨尺度加工技術:跨尺度加工技術實現(xiàn)了從納米級到毫米級結構的一體化制造,滿足復雜微流控系統(tǒng)對多尺度功能單元的需求。公司結合電子束光刻(EBL,分辨率10nm)、紫外光刻(分辨率1μm)與機械加工(精度10μm),在單一基板上構建跨3個數(shù)量級的微結構。例如,在類***培養(yǎng)芯片中,納米級表面紋理(粗糙度Ra<50nm)促進細胞黏附,微米級流道(寬度50μm)控制營養(yǎng)物質輸送,毫米級進樣口(直徑1mm)兼容外部管路。加工過程中,通過工藝分層設計,先進行納米結構制備(如EBL定義細胞外基質蛋白圖案),再通過紫外光刻形成中層流道,***機械加工完成宏觀接口,各層結構對準誤差<±2μm。該技術突破了單一工藝的尺度限制,實現(xiàn)了功能的跨尺度集成,在芯片實驗室(Lab-on-a-Chip)中具有重要應用。公司已成功制備包含10nm電極間隙、1μm流道與1mm閥門的復合芯片,用于單分子電信號檢測,信號分辨率提升至10fA,為納米生物技術與微流控工程的交叉融合提供了關鍵制造能力。
MEA柔性電極:MEMS工藝開發(fā)的MEA(微電極陣列)柔性電極,是腦機接口(BCI)與類***電生理研究的**技術載體。該電極采用超薄柔性基底材料(如聚酰亞胺或PDMS),厚度可精細控制在10-50微米范圍內,表面通過光刻與金屬沉積工藝集成高密度“觸凸”式微電極陣列。在腦機接口領域,柔性電極通過微創(chuàng)手術植入大腦皮層,用于癲癇病灶的精細定位與閉環(huán)電刺激***。在類***研究中,電極陣列與腦類***共培養(yǎng)系統(tǒng)結合,可長期監(jiān)測神經元網絡的自發(fā)電活動與突觸可塑性變化,為阿爾茨海默病藥物篩選提供高分辨率電生理數(shù)據(jù)。此外,公司開發(fā)的“仿生褶皺結構”柔性電極,通過力學匹配設計進一步降低植入后的機械應力,延長器件使用壽命至少5年以上。微流控與金屬片電極鑲嵌工藝,解決流道與電極集成的接觸電阻問題并提升檢測穩(wěn)定性。
MEMS傳感器的主要應用領域有哪些?
運動追蹤在運動員的日常訓練中,MEMS傳感器可以用來進行3D人體運動測量,通過基于聲學TOF,或者基于光學的TOF技術,對每一個動作進行記錄,教練們對結果分析,反復比較,以便提高運動員的成績。隨著MEMS技術的進一步發(fā)展,MEMS傳感器的價格也會隨著降低,這在大眾健身房中也可以廣泛應用。在滑雪方面,3D運動追蹤中的壓力傳感器、加速度傳感器、陀螺儀以及GPS可以讓使用者獲得極精確的觀察能力,除了可提供滑雪板的移動數(shù)據(jù)外,還可以記錄使用者的位置和距離。在沖浪方面也是如此,安裝在沖浪板上的3D運動追蹤,可以記錄海浪高度、速度、沖浪時間、漿板距離、水溫以及消耗的熱量等信息。 MEMS傳感器基本構成是什么?重慶特殊MEMS微納米加工
自研超聲收發(fā)芯片輸出電壓達 ±100V、電流 1A,部分性能指標超越國際品牌 TI。采用MEMS加工的MEMS微納米加工的技術服務
MEMS組合慣性傳感器不是一種新的MEMS傳感器類型,而是指加速度傳感器、陀螺儀、磁傳感器等的組合,利用各種慣性傳感器的特性,立體運動的檢測。組合慣性傳感器的一個被廣為熟悉的應用領域就是慣性導航,比如飛機/導彈飛行控制、姿態(tài)控制、偏航阻尼等控制應用、以及中程導彈制導、慣性GPS導航等制導應用。
慣性傳感器分為兩大類:一類是角速率陀螺;另一類是線加速度計。角速率陀螺又分為:機械式干式﹑液浮﹑半液浮﹑氣浮角速率陀螺;撓性角速率陀螺;MEMS硅﹑石英角速率陀螺(含半球諧振角速率陀螺等);光纖角速率陀螺;激光角速率陀螺等。線加速度計又分為:機械式線加速度計;撓性線加速度計;MEMS硅﹑石英線加速度計(含壓阻﹑壓電線加速度計);石英撓性線加速度計等。 采用MEMS加工的MEMS微納米加工的技術服務