半導體凈化車間怎么設(shè)計及施工?

確定凈化等級根據(jù)半導體生產(chǎn)工藝的要求，確定凈化車間的潔凈度等級，如常見的ISO3級（百級）、ISO4級（千級）、ISO5級（萬級）等。不同的工藝步驟，如光刻、刻蝕、鍍膜等，對潔凈度的要求有所不同。平面布局規(guī)劃合理劃分功能區(qū)域，一般包括潔凈生產(chǎn)區(qū)、緩沖區(qū)、更衣室、風淋室、物料傳遞區(qū)、設(shè)備維護區(qū)等。遵循工藝流程，使物料和人員的流動路徑短，避免交叉污染和回流。例如，將光刻、刻蝕等關(guān)鍵工藝區(qū)域設(shè)置在高潔凈度區(qū)域，且靠近物料供應和成品輸出通道。 萬級凈化車間每立方米空氣大于等于0.5 微米的粒子數(shù)不超過 10,000 個，大于等于 5 微米的粒子數(shù)不超過 2,000 。南京十萬級凈化車間哪家好

十萬級凈化車間 凈化空調(diào)系統(tǒng)安裝設(shè)備安裝：空調(diào)機組、風機、空氣過濾器等設(shè)備的安裝要嚴格按照設(shè)備說明書進行，保證設(shè)備的水平度和垂直度，安裝位置準確。設(shè)備與管道的連接要采用軟連接，防止振動和噪音的傳播。風管制作與安裝：風管采用的鍍鋅鋼板或不銹鋼板制作，風管的制作要符合相關(guān)規(guī)范要求，風管的咬口縫、法蘭連接等部位要嚴密，防止漏風。風管安裝時，要注意風管的坡度和走向，避免積水和氣流不暢。電氣與自控系統(tǒng)安裝電氣安裝：按照設(shè)計圖紙進行電氣線路的敷設(shè)，電線電纜要穿管保護，管與管之間要采用金屬軟管連接并可靠接地。燈具、插座、開關(guān)等電氣設(shè)備的安裝要牢固、平整，接線正確。自控系統(tǒng)安裝：安裝溫濕度傳感器、壓差傳感器、風量調(diào)節(jié)閥等自控設(shè)備，實現(xiàn)對車間溫濕度、壓差、風量等參數(shù)的自動監(jiān)測和控制。自控系統(tǒng)要進行調(diào)試和校準，確保其運行穩(wěn)定、準確。無錫半導體凈化車間哪里買萬級凈化車間通常保持 5Pa-15Pa 的正壓，防止外界污染空氣進入車間！

十萬級凈化車間調(diào)試與驗收單機調(diào)試：對空調(diào)機組、風機、凈化設(shè)備等單機設(shè)備進行調(diào)試，檢查設(shè)備的運行參數(shù)是否正常，如風量、風壓、轉(zhuǎn)速等，確保設(shè)備能夠正常運行。系統(tǒng)調(diào)試：進行凈化空調(diào)系統(tǒng)的聯(lián)合調(diào)試，調(diào)整送風量、回風量、新風量，使車間內(nèi)的氣流組織、溫濕度、壓差等參數(shù)達到設(shè)計要求。同時對電氣系統(tǒng)、自控系統(tǒng)等進行調(diào)試，確保各系統(tǒng)之間協(xié)調(diào)運行。驗收：按照相關(guān)標準和規(guī)范，對凈化車間進行驗收，包括潔凈度檢測、溫濕度檢測、壓差檢測、風量檢測、電氣性能檢測等。只有各項指標都符合要求，才能通過驗收，投入使用。

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