10.3.1潔凈廠房內(nèi)的干燥壓縮空氣系統(tǒng)應根據(jù)各類產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求、供氣量和供氣品質(zhì)等因素確定,并應符合下列規(guī)定:1供氣規(guī)模應按產(chǎn)品生產(chǎn)所需供氣量和計人必要損耗量確定,并應設有一定的備用供氣量;2供氣品質(zhì)應根據(jù)生產(chǎn)工藝對含水量、含油量、微粒粒徑及其濃度等要求確定;3供氣系統(tǒng)可集中設置在潔凈廠房內(nèi)的供氣站或潔凈廠房外的綜合動力站;4應選用能耗少、噪聲低的設備,宜選用無油潤滑空氣壓縮機，5含水量要求嚴格時,宜選用加熱再生吸附干燥裝置。無塵室的存在對于許多前沿科技的發(fā)展起著至關重要的作用。上海過濾器無塵室檢測規(guī)范性強

6.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局，應根據(jù)電子產(chǎn)品發(fā)展以及生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)規(guī)模的要求確定。6.1.2潔凈廠房的主體結(jié)構(gòu)宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng)，不應采用內(nèi)墻承重體系。6.1.3潔凈廠房的立面設計應簡潔、明快，并應適應潔凈室(區(qū))的布置要求。潔凈廠房圍護結(jié)構(gòu)的材料選型應滿足保溫、隔熱、防火、防潮、少產(chǎn)塵、易清潔等要求。6.1.4潔凈廠房主體結(jié)構(gòu)的耐久性應與電子產(chǎn)品生產(chǎn)線設備、生產(chǎn)環(huán)境控制設施協(xié)調(diào)，并應具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能。廠房變形縫不宜穿越潔凈區(qū)。6.1.5設有上技術夾層、下技術夾層的潔凈廠房的建筑平面、空間布局和構(gòu)造，應滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝、自動化運輸和公用動力設施安裝和維修的要求。浙江溫濕度無塵室檢測分析無塵室極主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度。

15.1.1承擔潔凈室施工的單位應按本規(guī)范的相關規(guī)定，建立質(zhì)量管理體系。15.1.2潔凈室的各級施工人員應有必要的潔凈室施工經(jīng)歷，明確的分工和職責。15.1.3特殊工種作業(yè)人員應持證上崗。15.1.4施工單位應編制施工組織設計，制定具體工程的施工程序，并按程序?qū)κ┕と^程實行質(zhì)量控制。15.1.5施工過程中，不得違反設計文件擅自改動系統(tǒng)、參數(shù)、設備選型、配套設施和主要使用功能。當修改設計時，應經(jīng)原設計單位確認、簽字，并得到建設單位的同意，在通知監(jiān)理方之后執(zhí)行。15.1.6施工安裝的全過程、竣工設施的詳細情況、所有操作和維護程序，都應采用文件形式確認。為施工安裝的運作提供文字依據(jù)，為責任和獎懲提供明確依據(jù)，為質(zhì)量改進提供原始依據(jù)。15.1.7應加強施工現(xiàn)場的防火工作，嚴格執(zhí)行防火安全規(guī)定，施工隊伍進人現(xiàn)場應建立防火組織，責任到人。15.1.8應做好安全技術工作的書面交底，并認真做好記錄，加強防范意識。

E.1.1風量風速檢測必須首先進行，凈化空調(diào)各項效果必須是在設計的風量風速條件下獲得。E.1.2風量檢測前必須檢查風機運行是否正常，系統(tǒng)中各部件安裝是否正確，有無障礙，所有閥門應固定在一定的開啟位置上，且必須實際測量被測風口、風管尺寸。E.1.3測定室內(nèi)微風速儀器的小刻度或讀數(shù)不應大于0.02m/s，一般可用熱球式風速儀，需要測出分速度時，應采用超聲波三維風速計。E.1.4對于單向流潔凈室，可采用室截面平均風速和截面積乘積的方法確定送風量，垂直單向流潔凈室的測定截面取距地面0.8m的無阻隔面(孔板、格柵除外)的水平截面，如有阻隔面，該測定截面應抬高至阻隔面之上0.25m;水平單向流潔凈室取距送風面0.5m的垂直于地面的截面，截面上測點間距不應大于1m，一般取0.3m。測點數(shù)應不少于20個，均勻布置。E.1.5對于非單向流潔凈室，內(nèi)安裝過濾器的風口可采用套管法、風量罩法或風管法測定風量，為測定回風口或新風口風量，也可用風口法?？諝鈶腋×Ｗ訚舛仁芸氐南薅臻g。

E.5.1無恒溫恒濕要求的溫濕度檢測應符合下列要求：1室內(nèi)空氣溫度和相對濕度測定之前，空調(diào)凈化系統(tǒng)應已連續(xù)運行至少8h。2溫度的檢測可采用玻璃溫度計、數(shù)字式溫濕度計；濕度的檢測可采用通風式干濕球溫度計、數(shù)字式溫濕度計、電容式濕度檢測儀或露點傳感器等。根據(jù)溫濕度的波動范圍，應選擇足夠精度的測試儀表。溫度檢測儀表的極小刻度不宜高于0.4℃，濕度檢測儀表的極小刻度不宜高于2%。測點為房間中間一點，應在溫濕度讀數(shù)穩(wěn)定后記錄。測完室內(nèi)溫濕度后，還應同時測出室外溫濕度。一般正壓無塵室比較常見，就是讓室內(nèi)的空氣壓力大于室外的壓力。浙江溫濕度無塵室檢測周期

單向流和非單向流組合的氣流。上海過濾器無塵室檢測規(guī)范性強

11.5.1工藝設備的安裝不應影響潔凈室參數(shù)和服務功能。11.5.2工藝設備安裝時，現(xiàn)場的凈化空調(diào)系統(tǒng)應已連續(xù)運行24h以上；現(xiàn)場除正常照明外，應配備三相380V、單相220V和低壓行燈電源。11.5.3任何用于大設備的提升、牽引或定位的**設備在進人潔凈室安裝現(xiàn)場前，應徹底清潔，并應檢查有無脫屑、剝落的表面或不宜進入潔凈環(huán)境的材料。11.5.4設備安裝時應妥善保護墻壁與地面，設備的軟膠輪應予包裹，避免在地面拖磨。開洞作業(yè)不應劃傷或污染所在表面。設備安裝位置穿越不同潔凈級別區(qū)域時，穿越處縫隙應用柔性材料填充、密封，并應裝飾處理。上海過濾器無塵室檢測規(guī)范性強