6.3.4潔凈廠房技術(shù)夾層的墻壁和頂棚應滿足使用功能要求，且表面應平整、光滑。位于地下的技術(shù)層或技術(shù)夾層應采取防水或防潮、防霉措施。6.3.5當潔凈廠房設(shè)置外窗時，應采用雙層固定窗，并應有良好的氣密性，同時應采取防結(jié)露措施。6.3.6潔凈室（區(qū)）門窗、墻壁、頂棚、地面、樓面的設(shè)計應符合下列要求：1應滿足使用功能的要求，構(gòu)造和施工縫隙應采取密閉措施；2頂棚以上的技術(shù)層或技術(shù)夾層宜設(shè)檢修通道，3潔凈室(區(qū))不宜設(shè)窗臺；4當?shù)孛娌捎没顒拥匕鍟r，活動地板材質(zhì)和支撐方式應根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求選擇。6.3.7用于電子產(chǎn)品生產(chǎn)的潔凈室(區(qū)）的墻板和頂棚，宜采用輕質(zhì)壁板構(gòu)造。潔凈區(qū)與室外的壓差不應小于10Pa。浙江實驗室環(huán)境潔凈室檢測服務(wù)至上

9.2.1潔凈室的照明一般要求照度高，但燈具安裝的數(shù)量受到送風風口數(shù)量和位置等條件的限制，這就要求在達到同一照度值情況下，安裝燈具的個數(shù)極少。熒光燈的發(fā)光效率一般是白熾燈的3倍~4倍，而且發(fā)熱量小，有利于空調(diào)節(jié)能。此外，潔凈室天然采光少，在選用光源時還需考慮它的光譜分布盡量接近于天然光，熒光燈基本能滿足這一要求。因此，目前國內(nèi)外潔凈室一般均采用熒光燈作為照明光源。當有些潔凈室層高較高，采用一般熒光燈照明很難達到設(shè)計照度值，在此情況下，可采用其他光色好、光效更高的光源。由于某些生產(chǎn)工藝對光源光色有特殊要求，或熒光燈對生產(chǎn)工藝和測試設(shè)備有干擾時，也可采用其他形式光源。北京電子廠房環(huán)境潔凈室檢測值得推薦當產(chǎn)品要求潔凈度為100級時，選用層流流型；當產(chǎn)品要求潔凈度為1000~100000級時，選用亂流流型。

D.3.2靜壓差測試，應符合下列規(guī)定：1靜壓差的測定應在所有的門關(guān)閉時進行。2儀器宜采用各種型式的微壓計，儀表靈敏度應小于1.0Pa。3潔凈廠房有多個潔凈室（區(qū))時，應從極里面的房間與相鄰房間的壓差測試開始，并應按順序向外進行檢測。D.3.3已安裝的空氣過濾器泄漏測試，應符合下列規(guī)定：1儀器應使用采樣量大于11/mn的光學粒子計數(shù)器。2應在過濾器上風側(cè)引入大于等于0.1pm(0.5um)粒子，粒子濃度應大于3.5×10P/m3的大氣塵或其他氣溶膠；在過濾器下風側(cè)應用粒子計數(shù)器的等動力采樣頭放在距離被檢過濾器表面20～30mm處，并應以5～20mm/s速度移動。應檢測包括過濾器的整個面和過濾器周邊、過濾器框架及其密封處的掃描。

10.3.1潔凈廠房內(nèi)的干燥壓縮空氣系統(tǒng)應根據(jù)各類產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求、供氣量和供氣品質(zhì)等因素確定，并應符合下列規(guī)定：1供氣規(guī)模應按產(chǎn)品生產(chǎn)所需供氣量和計入必要損耗量確定，并應設(shè)有一定的備用供氣量；2供氣品質(zhì)應根據(jù)生產(chǎn)工藝對含水量、含油量、微粒粒徑及其濃度等要求確定；3供氣系統(tǒng)可集中設(shè)置在潔凈廠房內(nèi)的供氣站或潔凈廠房外的綜合動力站；4應選用能耗少、噪聲低的設(shè)備，宜選用無油潤滑空氣壓縮機，5含水量要求嚴格時，宜選用加熱再生吸附干燥裝置。為了達到規(guī)定的潔凈度級別，有效地控制微粒的污染。

空氣過濾器的處理風量應小于或等于額定風量；3中效(高中效)空氣過濾器宜集中設(shè)置在空調(diào)箱的正壓段；4高效(亞高效)空氣過濾器宜設(shè)置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端；超高效空氣過濾器應設(shè)置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端；5同一凈化空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)末端安裝的高效（亞高效、超高效）空氣過濾器的阻力、效率應相近；6同一凈化空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)末端安裝的高效（亞高效、超高效）空氣過濾器的使用風量與額定風量之比值宜相近；7對化學污染物有控制要求的潔凈室(區(qū))，在凈化空調(diào)系統(tǒng)中應根據(jù)環(huán)境條件設(shè)置化學過濾器或其他去除裝置；8高效(亞高效、超高效)空氣過濾器應采用不燃或難燃材料制作。7.4.2風機過濾器機組的設(shè)置應符合下列要求：1應根據(jù)空氣潔凈度等級和送風量選用；2應按潔凈室（區(qū))內(nèi)生產(chǎn)工藝對氣流流型的要求布置，3終阻力時的疊加噪聲及振動應滿足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定；4送風量應能調(diào)節(jié)；5應便于安裝、維修及過濾器更換。滿布或布置率較高時，外殼強度應滿足檢修要求。潔凈室絕不僅于“潔凈”，而必須是一個對冷熱、噪聲、照度、靜電、微振都有相當要求的多功能的綜合體。江蘇壓縮空氣檢測潔凈室檢測頻率

凈化空調(diào)系統(tǒng)的風機宜采取變頻措施。浙江實驗室環(huán)境潔凈室檢測服務(wù)至上

9.5.4潔凈室內(nèi)可能產(chǎn)生靜電危害的設(shè)備、流動液體、氣體或粉體管道應采取防靜電接地措施，其中有和火災危險場所的設(shè)備、管道應符合現(xiàn)行國家標準《和火災危險環(huán)境電力裝置設(shè)計規(guī)范》GB50058的有關(guān)規(guī)定。9.5.5防靜電接地系統(tǒng)應分別按不同要求設(shè)置接地連接端子。在一個房間內(nèi)應設(shè)置等電位的接地網(wǎng)格或閉合的接地銅排環(huán)。在防靜電接地系統(tǒng)各個連接部位之間電阻值應小于0.1Ω2。9.5.6潔凈廠房內(nèi)不同功能的接地系統(tǒng)的設(shè)計均應遵循等電位聯(lián)結(jié)的原則，其中直流接地系統(tǒng)不能與交流接地系統(tǒng)混接。直流工作接地的接地干線應單獨絕緣敷設(shè)，并應使用絕緣屏蔽電纜。9.5.7接地系統(tǒng)采用綜合接地方式時接地電阻值應小于或等于1Ω；選擇分散接地方式時，各種功能接地系統(tǒng)的接地體必須遠離防雷接地系統(tǒng)的接地體，兩者應保持20m以上的間距。潔凈廠房的防雷接地系統(tǒng)設(shè)計應符合現(xiàn)行國家標準《建筑物防雷設(shè)計規(guī)范》GB50057的有關(guān)規(guī)定。浙江實驗室環(huán)境潔凈室檢測服務(wù)至上