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B.4.3.2送風口處測量的送風量為了排除送風口局部氣流的擾動和氣流噴射的影響,建議采用風罩測量末端過濾器或送風散流器的總送風量??墒褂门溆辛髁坑嫷娘L量罩直接測量,也可用風罩出風的風速乘以有效面積求出送風量。風罩的上開口應完全罩住過濾器或散流器;為了避免旁通漏風造成的讀數(shù)不準,風罩的上沿應密封靠緊平坦的表面。若采用帶流量計的風量罩,則可在風罩的出風端口直接測量各個末端過濾器或送風散流器的風量。。。。。。。潔凈室地面、墻面及天花板的清潔度也是檢測內(nèi)容之一。上海潔凈工作臺檢測哪家好
5.3.2潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的裝修應符合下列規(guī)定:1潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的表面應平整、光滑、不起塵、避免眩光,便于除塵,并應減少凹凸面。2踢腳不應突出墻面。3潔凈室不宜采用砌筑墻抹灰墻面,當必須采用時宜采用干燥作業(yè),抹灰應采用符合現(xiàn)行國家標準《建筑裝飾裝修工程質(zhì)量驗收規(guī)范》GB50210中高級抹灰的要求。墻面抹灰后應刷涂料面層,并應選用難燃、不開裂、耐腐蝕、耐清洗、表面光滑、不易吸水變質(zhì)發(fā)霉的涂料。...............上海檢測規(guī)范性強檢測為送回風口的布置和氣流的通暢創(chuàng)造條件:氣流設計時要考慮高大設備對氣流組織的影響。
潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化等級主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標準的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說,所謂的無塵,并不是100%沒有一點灰塵,而是控制在極少量的單位。當然,這個標準中符合粉塵標準的顆粒物,相對于我們常見的粉塵來說是非常小的,但是對于光學結(jié)構(gòu)來說,哪怕是一點點的粉塵也會產(chǎn)生非常大的負面影響
D.3.2靜壓差測試,應符合下列規(guī)定:1靜壓差的測定應在所有的門關閉時進行。2儀器宜采用各種型式的微壓計,儀表靈敏度應小于1.0Pa。3潔凈廠房有多個潔凈室(區(qū))時,應從**里面的房間與相鄰房間的壓差測試開始,并應按順序向外進行檢測。D.3.3已安裝的空氣過濾器泄漏測試,應符合下列規(guī)定:1儀器應使用采樣量大于11/mn的光學粒子計數(shù)器。2應在過濾器上風側(cè)引入大于等于0.1um(0.5um)粒子,粒子濃度應大于3.5×10P/m3的大氣塵或其他氣溶膠;在過濾器下風側(cè)應用粒子計數(shù)器的等動力采樣頭放在距離被檢過濾器表面20~30mm處,并應以5~20mm/s速度移動。應檢測包括過濾器的整個面和過濾器周邊、過濾器框架及其密封處的掃描。采用非接觸式檢測技術,減少對潔凈室的潛在污染。
(七)室內(nèi)噪聲1、儀器設備和環(huán)境儀器,設備測噪聲儀器為帶信頻程分析儀的聲級計。環(huán)境溫度常溫或設計溫度下。2、抽樣對有噪聲設計要求的各個場所分別測定。3、技術要求室內(nèi)噪聲級應符合《潔凈廠房設計規(guī)范》GB50073-2001的規(guī)定。在空態(tài)情況下,非單相流潔凈室不應大于60dBA;單向流、混合流潔凈室不應大于65dBA;潔凈室的噪聲頻譜限制各頻帶的聲壓級值不應大于《潔凈廠房設計規(guī)范》GB50073-2001表4.4.2的規(guī)定。4、操作過程及判定(1)測噪聲儀器為帶信頻程分析儀的聲級計一般只測A聲級的數(shù)值。必要時測倍頻程聲壓級。(2)潔凈室面積在15m點采樣,除房間兩對角線相交的室中心位置外,另在房間四角對角線上對稱的選取4點。(3)執(zhí)行標準的編號及標準實施日期。(4)被測試的潔凈室或潔凈區(qū)的地址、采樣點的特定編號及坐標圖。(5)被測潔凈室或潔凈區(qū)的空氣潔凈度等級、被測粒徑或沉降菌、浮游菌、被測潔凈室所處的狀態(tài)、氣流流型和靜壓差、被測潔凈室的溫濕度、噪聲。(6)測試用的儀器的編號和標定征書測試方法細則及測試中的特殊情況.(7)測試結(jié)果包括在采樣點坐標圖上注明所測的粒子濃度或沉降菌、浮游菌的菌落數(shù)。(8)對異常測試值進行說明及數(shù)據(jù)處理。層流罩一種可提供局部高清潔環(huán)境的空氣凈化設備。它主要有箱體,風機,初效空氣過濾器,高效空氣過濾器。山東電子廠房環(huán)境檢測服務至上
空氣潔凈度是潔凈環(huán)境中空氣含懸浮粒子量的多少的程度,通常空氣中含塵濃度高則空氣潔凈度低。上海潔凈工作臺檢測哪家好
5.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局應具有適當?shù)撵`活性。主體結(jié)構(gòu)宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng),不宜采用內(nèi)墻承重體系。5.1.2潔凈廠房圍護結(jié)構(gòu)的材料選型應符合保溫、隔熱、防火、防潮、少產(chǎn)塵等要求。5.1.3潔凈廠房主體結(jié)構(gòu)的耐久性應與室內(nèi)裝備和裝修水平相協(xié)調(diào),并應具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能。廠房變形縫不宜穿越潔凈區(qū)。5.1.4送、回風管和其他管線暗敷時,應設置技術夾層、技術夾道或地溝等。穿越樓層的豎向管線需暗敷時,宜設置技術豎井,其形式、尺寸和構(gòu)造應符合風道、管線的安裝、檢修和防火要求。5.1.5對兼有一般生產(chǎn)和潔凈生產(chǎn)的綜合性廠房的平面布局和構(gòu)造處理,應避免人流、物流運輸及防火方面對潔凈生產(chǎn)帶來不利的影響。上海潔凈工作臺檢測哪家好