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單向流潔凈室的流動狀態(tài)從雷諾數(shù)看是湍流,所以所謂層流潔凈室中的層流和流體力學(xué)中的層流是完全不同的概念。因此,層流潔凈室一詞是不恰當(dāng)?shù)?,國外的一些?biāo)準(zhǔn)和文章也指出了這一點。例如,英國標(biāo)準(zhǔn)BS-5295曾將所謂的層流潔凈室定義為單向流潔凈室。層流在括號中表示。原聯(lián)邦德國標(biāo)準(zhǔn)VDl-2083使用“非湍流置換流”一詞,并在注釋中指出層流的概念只是為了區(qū)分比層流更早出現(xiàn)的湍流(turbulent)流潔凈室整理房間。在當(dāng)時使用的成語中,“層流系統(tǒng)”的確切含義不是分層流,而是湍流的置換流。本章提到的概念是湍流的漸進(jìn)流。在流體力學(xué)中,這種流動狀態(tài)也可以稱為平行流動或單向流動。1977年,我國在《清潔空氣技術(shù)措施》中選擇了“平行流”一詞,并指出習(xí)慣上在該詞后稱其為“層流”。靜電控制檢測對于電子制造業(yè)的潔凈室尤為重要。江西實驗室檢測服務(wù)至上
A、室內(nèi)測試人員必須穿潔凈服,不得超過2人,應(yīng)位于測試點下風(fēng)側(cè)并遠(yuǎn)離測試點,并應(yīng)保持靜止。進(jìn)行換點操作時動作要輕,應(yīng)減少人員對室內(nèi)潔凈度的干擾。B、設(shè)備要在校準(zhǔn)期內(nèi)使用。C、檢測前和檢測后設(shè)備“清零”D、在單向流區(qū)域,所選擇的采樣探頭應(yīng)接近等動力采樣,進(jìn)入采樣探頭的風(fēng)速與被采空氣的風(fēng)速偏差不應(yīng)超過20%。若無法做到這一點,將采樣口正對氣流的主方向。非單向流的采樣點,采樣口應(yīng)豎直向上。E、采樣口至粒子計數(shù)器傳感器的連接管應(yīng)盡量短。遼寧生物安全柜檢測服務(wù)至上遵循GMP、ISO等國際標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行潔凈室檢測,提升產(chǎn)品質(zhì)量信譽。
6.2.1潔凈室(區(qū))與周圍的空間必須維持一定的壓差,并應(yīng)按工藝要求決定維持正壓差或負(fù)壓差。6.2.2不同等級的潔凈室之間的壓差不宜小于5Pa,潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差不應(yīng)小于5Pa,潔凈區(qū)與室外的壓差不應(yīng)小于10Pa。6.2.3潔凈室維持不同的壓差值所需的壓差風(fēng)量,根據(jù)潔凈室特點,宜采用縫隙法或換氣次數(shù)法確定。6.2.4送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉宜聯(lián)鎖。正壓潔凈室聯(lián)鎖程序應(yīng)先啟動送風(fēng)機(jī),再啟動回風(fēng)機(jī)和排風(fēng)機(jī);關(guān)閉時聯(lián)鎖程序應(yīng)相反。負(fù)壓潔凈室聯(lián)鎖程序應(yīng)與上述正壓潔凈室相反。6.2.5非連續(xù)運行的潔凈室,可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置值班送風(fēng),并應(yīng)進(jìn)行凈化空調(diào)處理。
B.2.1.2計數(shù)效率測量U描述符所用體系的計數(shù)效率應(yīng)落在圖B.1的陰影之內(nèi)[1]。該陰影區(qū)為性能達(dá)標(biāo)區(qū),其中心對應(yīng)的選定粒徑超微粒子的計數(shù)效率為50%,粒徑示為U。超微粒徑U的允差為土10%,見圖B.1中的1.1U和0.9U。這一計數(shù)效率允差的規(guī)定,是基于對擴(kuò)散元件透過率的計算,該擴(kuò)散元件對粒徑大于選定超微粒徑10%的粒子的透過率不低于40%,對粒徑小于選定超微粒徑10%的粒子的透過率不高于60%。若離散粒子計數(shù)器(DPC)或凝聚核計數(shù)器(CNC)的計數(shù)效率曲線落在圖B.1陰影區(qū)之外的右側(cè),則不能用其測量或驗證U描述符。若曲線落在陰影區(qū)之外的左側(cè),則可使用B.2.1.3介紹的粒徑限制器來降低計數(shù)效率。此時,經(jīng)改進(jìn)的離散粒子計數(shù)器或凝聚核計數(shù)器的計數(shù)效率就成為原計數(shù)器的計數(shù)效率與粒徑限制器透過率的乘積。單向流潔凈室氣流的特征是流線平行,以單一方向流動,并且在斷截面上風(fēng)速一致,有垂直單向潔凈室。
潔凈室是空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子。室內(nèi)其它有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等要求進(jìn)行控制。潔凈區(qū)是空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。它的建造和使用應(yīng)減少空間內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子??臻g內(nèi)其它有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等要求進(jìn)行控制。潔凈區(qū)可以是開放式或封閉式??諝鉂崈舳仁侵笣崈舡h(huán)境中空氣含塵微粒量多少的程度含塵濃度高則潔凈度低含塵濃度低則潔凈度高。空氣潔凈度的具體高低則是用空氣潔凈度級別來區(qū)分的,而這種級別又是用操作時間內(nèi)空氣的計數(shù)含塵濃度來表示,也就是把從某一個低的含塵濃度起到不超過另一個高的含塵濃度止這一個含塵濃度范圍為某一個空氣潔凈度級別。懸浮粒子是指用于空氣潔凈度分級的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0.15μm的固體和液體粒子。主要工作室一般照明的照度值宜為3001x。消毒液凈化車間環(huán)境檢測規(guī)范性強(qiáng)
潔凈室檢測中發(fā)現(xiàn)的任何問題都應(yīng)立即記錄并跟蹤處理。江西實驗室檢測服務(wù)至上
潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化等級主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說,所謂的無塵,并不是100%沒有一點灰塵,而是控制在極少量的單位。當(dāng)然,這個標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物,相對于我們常見的粉塵來說是非常小的,但是對于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說,哪怕是一點點的粉塵也會產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響。江西實驗室檢測服務(wù)至上