潔凈室或潔凈設(shè)施溫、濕度測(cè)定,通常分為兩個(gè)檔次:一般測(cè)試和綜合測(cè)試。一個(gè)檔次適用于處于空態(tài)的交竣驗(yàn)收測(cè)試,第二個(gè)檔次適用于靜態(tài)或動(dòng)態(tài)的綜合性能測(cè)試。這類測(cè)試適用于對(duì)溫度、濕度性能要求比較嚴(yán)格的場(chǎng)合。本檢測(cè)在氣流均勻性檢測(cè)之后和空調(diào)系統(tǒng)調(diào)整之后進(jìn)行。進(jìn)行這項(xiàng)檢測(cè)時(shí),空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)充分運(yùn)轉(zhuǎn),各項(xiàng)狀況已經(jīng)穩(wěn)定。每個(gè)濕度控制區(qū)至少設(shè)置一個(gè)濕度傳感器,并且給傳感器充分的穩(wěn)定時(shí)間。所做測(cè)量應(yīng)適合實(shí)際使用的目的,待傳感器穩(wěn)定之后才開始測(cè)量,測(cè)量時(shí)間不少于5分鐘。潔凈室、潔凈區(qū)的潔凈度主要是靠送入足夠量的潔凈空氣。安徽實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)規(guī)范性強(qiáng)
潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,從而我們稱之為潔凈室。按照國(guó)際慣例,無(wú)塵凈化等級(jí)主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來(lái)規(guī)定的。也就是說(shuō),所謂的無(wú)塵,并不是100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,而是控制在極少量的單位。當(dāng)然,這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物,相對(duì)于我們常見的粉塵來(lái)說(shuō)是非常小的,但是對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)來(lái)說(shuō),哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵也會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響北京潔凈室環(huán)境檢測(cè)潔凈室內(nèi)的照明設(shè)備需定期清潔,避免成為污染源。
1、凡有試運(yùn)轉(zhuǎn)要求的設(shè)備單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)應(yīng)符合設(shè)備技術(shù)文件的有關(guān)規(guī)定。屬于機(jī)械設(shè)備的共性要求還應(yīng)符合國(guó)家相關(guān)規(guī)定和機(jī)械設(shè)備施工安裝方面的有關(guān)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。通常潔凈室需進(jìn)行單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)的設(shè)備有空調(diào)機(jī)組、送風(fēng)增壓風(fēng)機(jī)箱、排風(fēng)設(shè)備、凈化工作臺(tái)、靜電自凈器、潔凈干燥箱、潔凈儲(chǔ)物柜等局部?jī)艋O(shè)備以及空氣吹淋室、余壓閥、真空吸塵清掃設(shè)備等。2、在單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)合格后需對(duì)送風(fēng)系統(tǒng)、回風(fēng)系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)量、風(fēng)壓調(diào)節(jié)裝置進(jìn)行設(shè)定與調(diào)整使各系統(tǒng)的風(fēng)量分配達(dá)到設(shè)計(jì)要求。這個(gè)階段檢測(cè)的目的主要是服務(wù)于空調(diào)凈化系統(tǒng)的調(diào)節(jié)與平衡往往需要反復(fù)進(jìn)行多次。此項(xiàng)檢測(cè)主要由承包商負(fù)責(zé)建設(shè)方的維護(hù)管理人員宜于跟進(jìn)以便熟悉系統(tǒng)。在此基礎(chǔ)上再進(jìn)行包括冷、熱源在內(nèi)的系統(tǒng)聯(lián)合試運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間一般不少于8h。要求系統(tǒng)中各項(xiàng)設(shè)備部件包括凈化空調(diào)系統(tǒng)、自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置等的聯(lián)動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)與協(xié)調(diào)過(guò)程中應(yīng)動(dòng)作正確無(wú)異?,F(xiàn)象。
(1)凈化處理原則:能用局部?jī)艋膱?chǎng)合,就盡可能不用凈化;或低級(jí)別的凈化高級(jí)別的局部?jī)艋嘟Y(jié)合。避免把需要凈化的環(huán)境分割成較小的空間,這樣做雖然有利于控制污染,但這也造成平面復(fù)雜化、增加造價(jià)、作業(yè)程序不易改變、人員流動(dòng)不方便,以及小房間造成人們心理上的不快。(2)由于氣流分布的不均勻和塵粒分布等不均勻性,潔凈室的微粒實(shí)際上是不均勻分布的,較為典型的三區(qū)不均勻分布模型,即分為主流區(qū)、渦流區(qū)和回風(fēng)口區(qū)。主流區(qū)含區(qū)含塵濃度可比室平均濃度低30%到一半。建議把工藝布置在主流區(qū)內(nèi)。(3)主要工藝可盡量布置于送風(fēng)管上風(fēng)段,上風(fēng)段相對(duì)來(lái)說(shuō),潔凈程度比下風(fēng)段要好表2為某10萬(wàn)級(jí)潔凈車間內(nèi)沿一條送風(fēng)管走向設(shè)置的六個(gè)測(cè)點(diǎn)檢測(cè)結(jié)果(空態(tài)下),測(cè)點(diǎn)l~6由上風(fēng)段依次向下,可以看出,各點(diǎn)塵粒數(shù)有較大區(qū)別當(dāng)然,其中也有送風(fēng)管上各送風(fēng)口風(fēng)量沒(méi)有較好調(diào)節(jié)的原因,但這種較大區(qū)別的可能還是不可忽視。工作設(shè)備布置時(shí)要留有一定的間隔,為送、回風(fēng)口的布置和氣流的通暢創(chuàng)造條件。
人們認(rèn)為這種單向、平行的氣流應(yīng)該充滿整個(gè)潔凈室,但這在技術(shù)和經(jīng)濟(jì)上都是不利的。隨著知識(shí)的發(fā)展,人們指出這種單向流動(dòng)只是“意味著所有的空氣在有限的區(qū)域內(nèi)沿著平行的流線勻速流動(dòng)”,相信渦流的發(fā)生可以被盡可能的抑制。盡可能。以通過(guò)整個(gè)空間的潔凈空氣的單向流動(dòng)特性為主的房間也稱為單向流動(dòng)潔凈室。也就是說(shuō),不需要在整個(gè)房間內(nèi)有單向平行流線、勻速、無(wú)渦流,而只需要單向平行流特性來(lái)支配房間,例如整個(gè)工作區(qū)水平空間保證單向流動(dòng),本房間為單向流動(dòng)潔凈室。前面介紹的國(guó)內(nèi)外相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和措施中單向流潔凈室所達(dá)到的高潔凈度是指工作區(qū)域所達(dá)到的潔凈度。因此,密集布置的流線型擴(kuò)壓器頂部進(jìn)料和全孔板頂部進(jìn)料也被用作實(shí)現(xiàn)垂直單向流動(dòng)的手段。安裝驗(yàn)證和操作驗(yàn)證完成并進(jìn)行確認(rèn)工作后即進(jìn)行性能驗(yàn)證。福建潔凈工作臺(tái)檢測(cè)誠(chéng)信推薦
塵埃粒子的粒徑分布分析有助于評(píng)估潔凈室的過(guò)濾效率。安徽實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)規(guī)范性強(qiáng)
潔凈室是空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子。室內(nèi)其它有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等要求進(jìn)行控制。潔凈區(qū)是空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。它的建造和使用應(yīng)減少空間內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子??臻g內(nèi)其它有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等要求進(jìn)行控制。潔凈區(qū)可以是開放式或封閉式??諝鉂崈舳仁侵笣崈舡h(huán)境中空氣含塵微粒量多少的程度含塵濃度高則潔凈度低含塵濃度低則潔凈度高??諝鉂崈舳鹊木唧w高低則是用空氣潔凈度級(jí)別來(lái)區(qū)分的,而這種級(jí)別又是用操作時(shí)間內(nèi)空氣的計(jì)數(shù)含塵濃度來(lái)表示,也就是把從某一個(gè)低的含塵濃度起到不超過(guò)另一個(gè)高的含塵濃度止這一個(gè)含塵濃度范圍為某一個(gè)空氣潔凈度級(jí)別。懸浮粒子是指用于空氣潔凈度分級(jí)的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0.15μm的固體和液體粒子。安徽實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)規(guī)范性強(qiáng)