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VAC6001AB017分子泵軸承銷(xiāo)售

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2025-07-03

某 12 英寸晶圓廠的刻蝕機(jī)配備 4 臺(tái) 2000L/s 分子泵,原采用進(jìn)口鋼制軸承,平均每 6 個(gè)月因碳化硅顆粒污染導(dǎo)致軸承失效。新巴頓為其定制的 Si?N?陶瓷軸承,配合迷宮式密封結(jié)構(gòu),使軸承壽命延長(zhǎng)至 24 個(gè)月。該方案的重心在于:陶瓷球的硬度(HRC78-80)高于碳化硅顆粒,可減少磨粒磨損;密封唇口采用氟橡膠材質(zhì),在 150℃工況下仍保持彈性,阻止微粒侵入。改造后,該產(chǎn)線的非計(jì)劃停機(jī)率從 8% 降至 1%,年節(jié)約維護(hù)成本 120 萬(wàn)元。此外,公司為某 MOCVD 設(shè)備配套的軸承,通過(guò)在保持架中嵌入石墨自潤(rùn)滑塊,解決了金屬有機(jī)化合物沉積導(dǎo)致的軸承卡死問(wèn)題,使設(shè)備連續(xù)運(yùn)行時(shí)間突破 10000 小時(shí)。巴頓分子泵軸承:嚴(yán)格質(zhì)量控制,確保產(chǎn)品性能高。VAC6001AB017分子泵軸承銷(xiāo)售

分子泵軸承

針對(duì)分子泵高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生的復(fù)雜載荷,新巴頓在軸承結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上進(jìn)行深度優(yōu)化。角接觸球軸承采用 28° 接觸角的定制化設(shè)計(jì),相較于常規(guī) 15° 接觸角產(chǎn)品,軸向承載能力提升了 60%,能更好地應(yīng)對(duì) 15 萬(wàn)轉(zhuǎn) / 分鐘高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生的陀螺力矩。通過(guò)有限元分析模擬,精確控制軸承的軸向游隙在 8μm 左右,在 - 20℃至 120℃的溫度區(qū)間內(nèi),可自動(dòng)補(bǔ)償因熱脹冷縮產(chǎn)生的形變,確保轉(zhuǎn)子軸向竄動(dòng)誤差控制在 ±3μm 以?xún)?nèi)。某科研機(jī)構(gòu)的分子泵設(shè)備應(yīng)用該設(shè)計(jì)后,系統(tǒng)運(yùn)行穩(wěn)定性大幅提升,振動(dòng)值從原來(lái)的 12m/s2 降至 4m/s2,達(dá)到 ISO 10816-1 標(biāo)準(zhǔn) Class 1 的嚴(yán)苛要求,為精密實(shí)驗(yàn)提供了可靠保障。楊浦區(qū)C1904HX205Y113DF分子泵軸承高精度加工工藝,確保新巴頓分子泵軸承尺寸精確,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)無(wú)偏差。

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新巴頓將其他行業(yè)的先進(jìn)技術(shù)遷移至分子泵軸承,為機(jī)械領(lǐng)域帶來(lái)創(chuàng)新應(yīng)用。借鑒航空發(fā)動(dòng)機(jī)軸承的涂層技術(shù),在分子泵軸承表面沉積 TiAlN 涂層(硬度 3000HV),耐磨性提升 3 倍,適用于含硬質(zhì)顆粒的機(jī)械工況(如礦山真空除塵設(shè)備);引入醫(yī)療器械的無(wú)菌加工理念,在食品機(jī)械的真空軸承中采用電解拋光表面(粗糙度 Ra≤0.2μm),配合 FDA 認(rèn)證潤(rùn)滑脂,滿(mǎn)足食品接觸安全要求。這種跨行業(yè)技術(shù)融合使分子泵軸承突破傳統(tǒng)應(yīng)用邊界,在機(jī)械行業(yè)的多元化場(chǎng)景中實(shí)現(xiàn)性能躍升。

新巴頓為機(jī)械行業(yè)用戶(hù)提供定制化分子泵軸承解決方案。根據(jù)特殊工況(如高真空 10??Pa、強(qiáng)輻射環(huán)境),可設(shè)計(jì)全陶瓷軸承(Si?N?球 + ZrO?套圈),其出氣率≤1×10?12Pa?m3/s,適用于核聚變實(shí)驗(yàn)設(shè)備。對(duì)于超高速場(chǎng)景(轉(zhuǎn)速>100000rpm),采用空氣靜壓軸承設(shè)計(jì),通過(guò)高壓空氣(壓力 0.4-0.6MPa)形成氣膜支撐,摩擦系數(shù)低至 0.0005,滿(mǎn)足機(jī)械行業(yè)的極端工況需求。定制化過(guò)程中,工程師會(huì)通過(guò)有限元分析(FEA)優(yōu)化軸承結(jié)構(gòu),如在大型分子泵中增加加強(qiáng)筋設(shè)計(jì),使軸承座的固有頻率避開(kāi)運(yùn)轉(zhuǎn)頻率 ±20%,避免機(jī)械共振。新巴頓分子泵軸承精確控制,提升紡織行業(yè)產(chǎn)品品質(zhì)。

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為降低機(jī)械行業(yè)的維護(hù)成本,新巴頓分子泵軸承設(shè)計(jì)了長(zhǎng)效潤(rùn)滑方案。對(duì)于普通工況,采用鋰基脂潤(rùn)滑(NLGI 2 級(jí)),潤(rùn)滑周期可達(dá) 8000 小時(shí);高速高溫場(chǎng)景則使用油氣潤(rùn)滑系統(tǒng),通過(guò)微量油霧(油量 0.01-0.05ml/h)實(shí)現(xiàn)持續(xù)潤(rùn)滑,避免傳統(tǒng)油脂在高速下的結(jié)塊問(wèn)題。在紡織機(jī)械的真空脫水設(shè)備中,這種潤(rùn)滑系統(tǒng)可減少停機(jī)維護(hù)時(shí)間 30% 以上,同時(shí)降低油品消耗 50%。軸承的密封結(jié)構(gòu)采用雙唇口骨架油封(材質(zhì)為氟橡膠),防塵防水等級(jí)達(dá) IP65,防止機(jī)械加工中的粉塵、冷卻液侵入,保障潤(rùn)滑系統(tǒng)的長(zhǎng)效性,契合機(jī)械行業(yè)連續(xù)生產(chǎn)的需求。新巴頓分子泵軸承,強(qiáng)度更高材質(zhì),低摩擦設(shè)計(jì),保障機(jī)械高轉(zhuǎn)速穩(wěn)定運(yùn)行。崇明區(qū)巴頓VAC626AC003分子泵軸承

巴頓分子泵軸承:智能化監(jiān)測(cè),預(yù)防故障。VAC6001AB017分子泵軸承銷(xiāo)售

新巴頓根據(jù)機(jī)械工況為分子泵軸承提供精確的潤(rùn)滑脂選型方案。對(duì)于低溫環(huán)境(-40℃以下),選用全氟聚醚脂(PFPE),其傾點(diǎn)≤-60℃,在機(jī)械啟動(dòng)時(shí)的扭矩阻力≤0.05N?m;高速場(chǎng)景(轉(zhuǎn)速>50000rpm)采用硅油基脂,粘度指數(shù)>400,避免高速剪切導(dǎo)致的油脂變稀。在真空泵的實(shí)際應(yīng)用中,通過(guò) DGA(油液氣體分析)發(fā)現(xiàn),正確選型可使?jié)櫥难趸T導(dǎo)期延長(zhǎng)至 2000 小時(shí)以上,較錯(cuò)誤選型減少換脂頻率 50%。潤(rùn)滑脂的滴點(diǎn)控制在 260℃以上,確保機(jī)械在高溫工況(如軸承溫度 120℃)下不發(fā)生油脂流失,維持持續(xù)潤(rùn)滑效果。VAC6001AB017分子泵軸承銷(xiāo)售