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一、從根源保障物件成品的準確性： 通過光學表面三維輪廓儀的掃描檢測，得出物件的誤差和超差參數(shù)，**提高物件在生產(chǎn)加工時的精確度。杜絕因上游的微小誤差形成“蝴蝶效應”，造成下游生產(chǎn)加工的更大偏離，**終導致整個生產(chǎn)鏈更大的損失。 二、提高效率： 智能化檢測，全自動測量，檢測時只需將物件放置在載物臺，然后在檢定軟件上選擇相關(guān)參數(shù)，即可一鍵分析批量測量。擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力，精確度低的缺點，**提高加工效率。 包含了從納米到微米級別的輪廓、線粗糙度、面粗糙度等二維、三維參數(shù)，作為評定該物件是否合格的標準。山東輪廓儀應用 輪廓儀的**團隊 夏勇博士，江蘇省雙創(chuàng)人才 ...

表面三維輪廓儀對精密加工的作用： 一、從根源保障物件成品的準確性： 通過光學表面三維輪廓儀的掃描檢測，得出物件的誤差和超差參數(shù)，**提高物件在生產(chǎn)加工時的精確度。杜絕因上游的微小誤差形成“蝴蝶效應”，造成下游生產(chǎn)加工的更大偏離，**終導致整個生產(chǎn)鏈更大的損失。 二、提高效率： 智能化檢測，全自動測量，檢測時只需將物件放置在載物臺，然后在檢定軟件上選擇相關(guān)參數(shù)，即可一鍵分析批量測量。擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力，精確度低的缺點，**提高加工效率。 三、涵蓋面廣的2D、3D形貌參數(shù)分析： 表面三維輪廓儀可測量300余種2D、3D參數(shù)，無論加工的物件使用...

輪廓儀的主要客戶群體 300mm集成電路技術(shù)封裝生產(chǎn)線檢測 集成電路工藝技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化 國家重點實驗室 高 效太陽能電池技術(shù)研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化 MEMS技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化 新型顯示技術(shù)研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化 超高精密表面工程技術(shù) 輪廓儀是一種兩坐標測量儀器，儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行，傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化，在X和Z方向分別采樣，并轉(zhuǎn)換成電信號，該電信號經(jīng)放大和處理，再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號儲存在計算機系統(tǒng)的存儲器中，計算機對原始表而輪廓進行數(shù)字濾波，分離掉表而粗糙度成分后再進行計算，測量結(jié)果為計算出的符介某種...

輪廓儀在集成電路的應用 封**ump測量 視場：72*96（um）物鏡：干涉50X 檢測位置：樣品局部 面減薄表面粗糙度分析 封裝：300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析 面粗糙度分析：2D, 3D顯示；線粗糙度分析：Ra, Ry，Rz，… 器件多層結(jié)構(gòu)臺階高 MEMS 器件多層結(jié)構(gòu)分析、工藝控制參數(shù)分析 激光隱形切割工藝控制 世界***的能夠?qū)崿F(xiàn)激光槽寬度、深度自動識別和數(shù)據(jù)自動生成，**地縮 短了激光槽工藝在線檢測的時間，避免人工操作帶來的一致性，可靠性問題 歡迎咨詢。 光學系統(tǒng)：同軸照明無限遠干涉成像系統(tǒng)。超納輪廓儀國...

1）白光輪廓儀的典型應用： 對各種產(chǎn)品，不見和材料表面的平面度，粗糙度，波溫度，面型輪廓，表面缺 陷，磨損情況，腐蝕情況，孔隙間隙，臺階高度，完全變形情況，加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。 2）共聚焦顯微鏡方法 共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉(zhuǎn)多***盤、帶有壓電驅(qū)動器的物鏡和CCD相機。LED光源通過多***盤（MPD）和物鏡聚焦到樣品表面上，從而反射光。反射光通過MPD的***減小到聚焦的部分落在CCD相機上。傳統(tǒng)光學顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細節(jié)，但是在共焦圖像中，通過多***盤的操作濾除模糊細節(jié)（未聚焦），只有來自聚焦平面的光到達CCD相機。因此，共...

白光干涉輪廓儀對比激光共聚焦輪廓儀 白光干涉3D顯微鏡： 干涉面成像， 多層垂直掃描 比較好高度測量精度：< 1nm 高度精度不受物鏡影響 性價比好 激光共聚焦3D顯微鏡： 點掃描合成面成像， 多層垂直掃描 Keyence（日本） 比較好高度測量精度：～10nm 高度精度由物鏡決定，1um精度@10倍 90萬-130萬 三維光學輪廓儀采用白光軸向色差原理（性能優(yōu)于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀）對樣品表面進行快速、重復性高、高 分辨率的三維測量，測量范圍可從納米級粗糙度到毫米級的表面形貌，臺...

NanoX-系列輪廓儀**性客戶 ? 集成電路相關(guān)產(chǎn)業(yè) – 集成電路先進封裝和材料：華天科技，通富微電子，江蘇納佩斯 半導體，華潤安盛等 ? MEMS相關(guān)產(chǎn)業(yè) – 中科院蘇州納米所，中科電子46所，華東光電集成器件等 ? 高 效太陽能電池相關(guān)產(chǎn)業(yè) – 常州億晶光電，中國臺灣速位科技、山東衡力新能源等 ? 微電子、FPD、PCB等產(chǎn)業(yè) – 三星電機、京東方、深圳夏瑞科技等 具備 Global alignment & Unit alignment 自動聚焦范圍 ： ± 0.3mm XY運動速度 **快 ...

白光干涉輪廓儀對比激光共聚焦輪廓儀 白光干涉3D顯微鏡： 干涉面成像， 多層垂直掃描 比較好高度測量精度：< 1nm 高度精度不受物鏡影響 性價比好 激光共聚焦3D顯微鏡： 點掃描合成面成像， 多層垂直掃描 Keyence（日本） 比較好高度測量精度：～10nm 高度精度由物鏡決定，1um精度@10倍 90萬-130萬 三維光學輪廓儀采用白光軸向色差原理（性能優(yōu)于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀）對樣品表面進行快速、重復性高、高 分辨率的三維測量，測量范圍可從納米級粗糙度到毫米級的表面形貌，臺...

滿足您需求的輪廓儀 使用范圍廣: 兼容多種測量和觀察需求 保護性: 非接觸式光學輪廓儀 耐用性更強， 使用無損 可操作性:一鍵式操作，操作更簡單，更方便 智能性:特殊形狀能夠只能計算特征參數(shù) 個性化: 定制化客戶報告模式 更好用戶體驗： 迅捷的售后服務，個性化應用軟件支持 1.精度高,壽命長---采用超高精度氣浮導軌作為直線測量基準，具有穩(wěn)定性好、承載大、**磨損等優(yōu)點，達到國內(nèi)同類產(chǎn)品較高精度。 2.高精度光柵尺及進口采集卡---保證數(shù)據(jù)采樣分辨率，準確度高，穩(wěn)定性好。（網(wǎng)絡） NanoX-8000的XY光柵分...

1.3. 培訓計劃 在完成系統(tǒng)布線并開始設(shè)備安裝后，即向甲方和業(yè)主介紹整個系統(tǒng)的概況及性能、特點、設(shè)備布置情況和相互之間的關(guān)系等，讓甲方和業(yè)主對整個系統(tǒng)有一個***的認識。 在整個系統(tǒng)驗收前后，安排有關(guān)人員在進行培訓。 1.4. 培訓形式 公司指派技術(shù)人員向相關(guān)人員講解系統(tǒng)的原理、功能、操作及維修保養(yǎng)要點； 向受訓學員提供和解釋有關(guān)設(shè)計文件及圖紙等資料，使學員對系統(tǒng)的各個方面都能熟練掌握； 針對系統(tǒng)的具體操作一一指導，使相關(guān)人員掌握技術(shù)要領(lǐng)； 對學員提出的問題進行詳細解答； ...

白光干涉輪廓儀對比激光共聚焦輪廓儀 白光干涉3D顯微鏡： 干涉面成像， 多層垂直掃描 比較好高度測量精度：< 1nm 高度精度不受物鏡影響 性價比好 激光共聚焦3D顯微鏡： 點掃描合成面成像， 多層垂直掃描 Keyence（日本） 比較好高度測量精度：～10nm 高度精度由物鏡決定，1um精度@10倍 90萬-130萬 三維光學輪廓儀采用白光軸向色差原理（性能優(yōu)于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀）對樣品表面進行快速、重復性高、高 分辨率的三維測量，測量范圍可從納米級粗糙度到毫米級的表面形貌，臺...

1.5. 系統(tǒng)培訓的注意事項 如何使用電子書閱讀軟件和軟、硬件的操作手冊； 數(shù)據(jù)采集功能的講解：通訊端口、連接計算器、等待時間等參數(shù)的解釋和參數(shù)設(shè)置； 實際演示一一講解； 如何做好備份和恢復備份資料； 當場演示各種報表的操作并進行操作解說； 數(shù)據(jù)庫文件應定時作備份，大變動時更應做好備份以防止系統(tǒng)重新安裝時造成資料數(shù)據(jù)庫的流失； 在系統(tǒng)培訓過程中如要輸入一些臨時數(shù)據(jù)應在培訓結(jié)束后及時刪除這些資料。 備注：系統(tǒng)培訓完成后應請顧客詳細閱讀軟件操作手冊，并留下公司“客戶服務中心”的電話與...

隨著時代的發(fā)展，輪廓儀也越來重要了，不少的產(chǎn)品檢測都需要通過輪廓儀進行檢測，***就讓我們來了解一下輪廓儀的工作原理與應用吧。輪廓儀工作原理輪廓儀是一種雙坐標測量儀器。儀器傳感器相對于測量的工件臺以恒定速度滑動。傳感器的觸針檢測測量儀表的幾何變化，并分別在X和Z方向上對其進行采樣，并將其轉(zhuǎn)換為電信號。電信號被放大和處理，然后轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號并存儲在計算機系統(tǒng)的存儲器中。計算機以數(shù)字方式過濾原始表格的輪廓，分離表面并計算粗糙度分量，測量結(jié)果為計算符號。某個曲線的實際值及其與參考點的坐標，或放大的實際輪廓曲線。測量結(jié)果通過顯示器輸出，也可以由打印機輸出。輪廓儀應用輪廓儀***用于機械加工、汽...

輪廓儀的培訓 一、 培訓承諾 系統(tǒng)建成后，我公司將為業(yè)主提供為期1天的**培訓和技術(shù)資詢；培訓地點可以在我公司，亦或在工程現(xiàn)場； 系統(tǒng)操作及管理人員的培訓人數(shù)為10人，由業(yè)主指定，我公司將確保相關(guān)人員正確使用該系統(tǒng)； 1.1. 培訓對象 系統(tǒng)操作及管理人員（培訓對象須具有專業(yè)技術(shù)的技術(shù)人員或?qū)嶋H值班操作人員）； 其他業(yè)主指定的相關(guān)人員。 1.2. 培訓內(nèi)容 系統(tǒng)操作使用說明書。 培訓課程的主要內(nèi)容是系統(tǒng)的操作、系統(tǒng)的相關(guān)參數(shù)設(shè)定和修改和系統(tǒng)的維修與保養(yǎng)與簡單升級等，具體內(nèi)容...

輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應用： 晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程，其中由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小，任何微小的黏附異物和下次均會導致制造的晶圓IC表面存在缺 陷，因此必須對光罩和晶圓的表面輪廓進行檢測，檢測相應的輪廓尺寸。 白光輪廓儀的典型應用： 對各種產(chǎn)品，不見和材料表面的平面度，粗糙度，波溫度，面型輪廓，表面缺 陷，磨損情況，腐蝕情況，孔隙間隙，臺階高度，完全變形情況，加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。 但是在共焦圖像中，通過多***盤的操作濾除模糊細節(jié)（未聚焦），只有來自聚焦平面...

輪廓儀是一種兩坐標測量儀器，儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行，傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化，在X和Z方向分別采樣，并轉(zhuǎn)換成電信號，該電信號經(jīng)放大和處理，再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號儲存在計算機系統(tǒng)的存儲器中，計算機對原始表而輪廓進行數(shù)字濾波，分離掉表而粗糙度成分后再進行計算，測量結(jié)果為計算出的符介某種曲線的實際值及其離基準點的坐標，或放大的實際輪廓曲線，測量結(jié)果通過顯示器輸出，也可由打印機輸出。（來自網(wǎng)絡） 輪廓儀在集成電路的應用： 封**ump測量 視場：72*96（um）物鏡：干涉50X 檢測位置：樣品局部 面減薄表面粗糙度分析 封裝：...

NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能 ? 菜單式系統(tǒng)設(shè)置，一鍵式操作，自動數(shù)據(jù)存儲 ? 一鍵式系統(tǒng)校準 ? 支持連接MES系統(tǒng)，數(shù)據(jù)可導入SPC ? 具備異常報警，急停等功能，報警信息可儲存 ? MTBF ≥ 1500 hrs ? 產(chǎn)能 : 45s/點 （移動 + 聚焦 + 測量）（掃描范圍 50um） ? 具備 Global alignment & Unit alignment ? 自動聚焦范圍 ： ± 0.3mm ? XY運動速度 **快 如果需要了解更多詳細參數(shù)，請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務有限公司。 我們主要...

1）白光輪廓儀的典型應用： 對各種產(chǎn)品，不見和材料表面的平面度，粗糙度，波溫度，面型輪廓，表面缺 陷，磨損情況，腐蝕情況，孔隙間隙，臺階高度，完全變形情況，加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。 2）共聚焦顯微鏡方法 共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉(zhuǎn)多***盤、帶有壓電驅(qū)動器的物鏡和CCD相機。LED光源通過多***盤（MPD）和物鏡聚焦到樣品表面上，從而反射光。反射光通過MPD的***減小到聚焦的部分落在CCD相機上。傳統(tǒng)光學顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細節(jié)，但是在共焦圖像中，通過多***盤的操作濾除模糊細節(jié)（未聚焦），只有來自聚焦平面的光到達CCD相機。因此，共...

新型光學輪廓儀!film3D使得光學輪廓測量更易負擔*后，表面粗糙度和表面形貌測量可以用比探針式輪廓儀成本更低的儀器來進行。film3D具有3倍於于其成本儀器的次納米級垂直分辨率,film3D同樣使用了現(xiàn)今*高 分辨率之光學輪廓儀的測量技術(shù)包含垂直掃描干涉(VSI)及相移干涉(PSI)。這就是您需要的解析力每film3D帶有直觀的粗糙度，表面形貌和臺階高度的測量軟件。所有常見如ISO25178所規(guī)范的粗糙度參數(shù)都支持，也包括軟件功能用于形貌分析，如形狀去除和波長過濾，都包含在基film3D軟件。對于更進階的功能，F(xiàn)ilmetrics提供了我們的合作伙伴TrueGage的TrueMap軟...

輪廓儀、粗糙度儀、三坐標的區(qū)別 關(guān)于輪廓儀和粗糙度儀 輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品，輪廓儀主要功能是測量零件表面的輪廓形狀，比如：汽車零件中的溝槽的槽深、槽寬、倒角（包括倒角位置、倒角尺寸、角度等），圓柱表面素線的直線度等參數(shù)。總之，輪廓儀反映的是零件的宏觀輪廓。粗糙度儀的功能是測量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質(zhì)量，通俗地講，就是零件表面加工得光不光（粗糙度老國標叫光潔度），即粗糙度反映的是零件加工表面的微觀情況。 關(guān)于三坐標測量輪廓度及粗糙度 三坐標測量機是不能測量粗糙度的，至于測量零件的表面輪廓 ，要視三坐標的測量精度及零件表面輪廓...

強大的輪廓儀光電一體軟件 美國硅谷研發(fā)、中英文自由切換 光機電一體化軟硬件集成 三維分析處理迅速，結(jié)果實時更新 縮放、定位、平移、旋轉(zhuǎn)等三維圖像處理 自主設(shè)定測量閾值，三維處理自動標注 測量模式可根據(jù)需求自由切換 三維圖像支持高清打印 菜單式參數(shù)設(shè)置，一鍵式操作，人機界面?zhèn)€性直觀 個性化軟件應用支持 可進行軟件在線升級和遠程支持服務 10 年硅谷世界500強研發(fā)經(jīng)驗（BD Medical Instrument） 光學...

輪廓儀、粗糙度儀、三坐標的區(qū)別： 關(guān)于輪廓儀和粗糙度儀 輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品，輪廓儀主要功能是測量零件表面的輪廓形狀，比如：汽車零件中的溝槽的槽深、槽寬、倒角（包括倒角位置、倒角尺寸、角度等），圓柱表面素線的直線度等參數(shù)。總之，輪廓儀反映的是零件的宏觀輪廓。粗糙度儀的功能是測量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質(zhì)量，通俗地講，就是零件表面加工得光不光（粗糙度老國標叫光潔度），即粗糙度反映的是零件加工表面的微觀情況。 但是，輪廓儀和粗糙度儀關(guān)系其實挺密切，現(xiàn)在有一種儀器叫做粗糙度輪廓測量一體機，就是在輪廓儀上加裝了粗糙度測量模塊，這樣既可以測量輪廓尺...

NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能 ? 菜單式系統(tǒng)設(shè)置，一鍵式操作，自動數(shù)據(jù)存儲 ? 一鍵式系統(tǒng)校準 ? 支持連接MES系統(tǒng)，數(shù)據(jù)可導入SPC ? 具備異常報警，急停等功能，報警信息可儲存 ? MTBF ≥ 1500 hrs ? 產(chǎn)能 : 45s/點 （移動 + 聚焦 + 測量）（掃描范圍 50um） ? 具備 Global alignment & Unit alignment ? 自動聚焦范圍 ： ± 0.3mm ? XY運動速度 **快 表面三維微觀形貌測量的意義 在生產(chǎn)中，表面三維微觀形貌對工程零件的許多...

強大的輪廓儀光電一體軟件 美國硅谷研發(fā)、中英文自由切換 光機電一體化軟硬件集成 三維分析處理迅速，結(jié)果實時更新 縮放、定位、平移、旋轉(zhuǎn)等三維圖像處理 自主設(shè)定測量閾值，三維處理自動標注 測量模式可根據(jù)需求自由切換 三維圖像支持高清打印 菜單式參數(shù)設(shè)置，一鍵式操作，人機界面?zhèn)€性直觀 個性化軟件應用支持 可進行軟件在線升級和遠程支持服務 10 年硅谷世界500強研發(fā)經(jīng)驗（BD Medical Instrument） 光學...

輪廓儀的功能: 廓測量儀能夠?qū)Ω鞣N工件輪廓進行長度、高度、間距、水平距離、垂直距離、角度、圓弧半徑等幾何參數(shù)測量。測量效率高、操作簡單、適用于車間檢測站或計量室使用。 白光輪廓儀的典型應用： 對各種產(chǎn)品，不見和材料表面的平面度，粗糙度，波溫度，面型輪廓，表面缺 陷，磨損情況，腐蝕情況，孔隙間隙，臺階高度，完全變形情況，加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。 如果您想要了解更多的信息，請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務有限公司。 共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉(zhuǎn)多***盤、帶有壓電驅(qū)動器的物鏡和CCD相機。高校輪廓儀可以試用嗎 輪廓儀的性能 測量模式 ...

輪廓儀的主要客戶群體 300mm集成電路技術(shù)封裝生產(chǎn)線檢測 集成電路工藝技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化 國家重點實驗室 高 效太陽能電池技術(shù)研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化 MEMS技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化 新型顯示技術(shù)研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化 超高精密表面工程技術(shù) 輪廓儀是一種兩坐標測量儀器，儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行，傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化，在X和Z方向分別采樣，并轉(zhuǎn)換成電信號，該電信號經(jīng)放大和處理，再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號儲存在計算機系統(tǒng)的存儲器中，計算機對原始表而輪廓進行數(shù)字濾波，分離掉表而粗糙度成分后再進行計算，測量結(jié)果為計算出的符介某種...

滿足您需求的輪廓儀 使用范圍廣: 兼容多種測量和觀察需求 保護性: 非接觸式光學輪廓儀 耐用性更強， 使用無損 可操作性:一鍵式操作，操作更簡單，更方便 智能性:特殊形狀能夠只能計算特征參數(shù) 個性化: 定制化客戶報告模式 更好用戶體驗： 迅捷的售后服務，個性化應用軟件支持 1.精度高,壽命長---采用超高精度氣浮導軌作為直線測量基準，具有穩(wěn)定性好、承載大、**磨損等優(yōu)點，達到國內(nèi)同類產(chǎn)品較高精度。 2.高精度光柵尺及進口采集卡---保證數(shù)據(jù)采樣分辨率，準確度高，穩(wěn)定性好。（網(wǎng)絡） 輪廓儀可用于：微結(jié)構(gòu)均勻性 缺 ...

輪廓儀在集成電路的應用 封**ump測量 視場：72*96（um）物鏡：干涉50X 檢測位置：樣品局部 面減薄表面粗糙度分析 封裝：300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析 面粗糙度分析：2D, 3D顯示；線粗糙度分析：Ra, Ry，Rz，… 器件多層結(jié)構(gòu)臺階高 MEMS 器件多層結(jié)構(gòu)分析、工藝控制參數(shù)分析 激光隱形切割工藝控制 世界***的能夠?qū)崿F(xiàn)激光槽寬度、深度自動識別和數(shù)據(jù)自動生成，**地縮 短了激光槽工藝在線檢測的時間，避免人工操作帶來的一致性，可靠性問題 歡迎咨詢。 菜單式系統(tǒng)設(shè)置，一鍵式操作，自動數(shù)據(jù)存儲。CSI輪...

NanoX-2000/3000 系列 3D 光學干涉輪廓儀建立在移相干涉測量（PSI）、白光垂直掃描干涉測量（VSI）和單色光 垂直掃描干涉測量（CSI）等技術(shù)的基礎(chǔ)上，以其納米級測量準確度和重復性（穩(wěn)定性）定量地反映出被測件的表面粗 糙度、表面輪廓、臺階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加 工、表面工程技術(shù)、材料、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域。 使用范圍廣: 兼容多種測量和觀察需求 保護性: 非接觸式光學輪廓儀 耐用性更強， 使用無損 可操作性:一鍵式操作，操作...

輪廓儀白光干涉的創(chuàng)始人： 邁爾爾遜 1852-1931 美國物理學家 曾從事光速的精密測量工作 邁克爾遜首倡用光波波長作為長度基準。 1881年，他發(fā)明了一種用以測量微小長度，折射率和光波波長的干涉儀，邁克爾遜干涉儀。 他和美國物理學家莫雷合作，進行了***的邁克爾遜-莫雷實驗，否定了以太de 存在，為愛因斯坦建立狹義相對論奠定了基礎(chǔ)。 由于創(chuàng)制了精密的光學儀器和利用這些儀器所完成光譜學和基本度量學研究，邁克爾遜于1907年獲得諾貝爾物理學獎。 包含了從納米到微米級別的輪廓、線粗糙度、面粗糙度等二維、三維參數(shù)，作為評定該物件是否合格的標準...