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2. 熱傳導(dǎo)真空計熱傳導(dǎo)真空計通過氣體熱傳導(dǎo)的變化來測量壓力，適用于低真空和中真空范圍。（1）皮拉尼真空計原理：利用加熱絲的熱量損失與氣體壓力之間的關(guān)系測量壓力。測量范圍：10?3 Torr 到 10 Torr。優(yōu)點：響應(yīng)快、成本低。缺點：受氣體種類影響較大。...

MEMS電容真空計在多個領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用，包括但不限于：半導(dǎo)體制造：在半導(dǎo)體制造過程中，MEMS電容真空計用于監(jiān)測真空度，確保氣氛純凈并排除雜質(zhì)，從而提高芯片的質(zhì)量和可靠性。真空冶金：在真空冶金領(lǐng)域，MEMS電容真空計用于確保加工環(huán)境的純度和穩(wěn)定性，以提高冶...

概述陶瓷薄膜真空計是一種用于測量真空環(huán)境中壓力的傳感器，應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、科研實驗等領(lǐng)域。其部件是陶瓷薄膜，通過測量薄膜在壓力作用下的形變來推算真空度。工作原理薄膜形變：陶瓷薄膜在壓力差作用下發(fā)生形變。信號轉(zhuǎn)換：形變通過壓阻或電容效應(yīng)轉(zhuǎn)換為電信號。信...

6. 麥克勞真空計麥克勞真空計，通過壓縮氣體測量壓力，適用于高真空和超高真空范圍。原理：利用氣體壓縮后的液柱高度差測量壓力。測量范圍：10?? Torr 到 10?3 Torr。優(yōu)點：精度高，無需校準(zhǔn)。缺點：操作復(fù)雜，響應(yīng)慢。應(yīng)用：實驗室高真空校準(zhǔn)。7. 質(zhì)譜...

陶瓷真空計是一種用于測量真空系統(tǒng)中壓力的儀器，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、科研實驗等領(lǐng)域。其**部件由陶瓷材料制成，具有耐高溫、耐腐蝕、絕緣性能好等優(yōu)點。主要特點耐高溫：陶瓷材料能在高溫環(huán)境下穩(wěn)定工作。耐腐蝕：適用于腐蝕性氣體環(huán)境。絕緣性能：良好的電絕...

皮拉尼真空計利用惠斯通電橋的補(bǔ)償原理，通過測量一個發(fā)熱體與一個接收發(fā)熱體之間的熱傳導(dǎo)程度來判斷氣體的壓力。具體來說，當(dāng)加熱燈絲（一般為鉑絲）被恒定電流加熱時，其溫度會升高。對于給定大小的電流，加熱絲的溫度取決于通過傳導(dǎo)和對流向周圍介質(zhì)（即氣體）散熱的速率。在真...

皮拉尼真空計主要由感應(yīng)頭和控制頭兩部分組成。感應(yīng)頭多為金屬或玻璃外殼，內(nèi)有感測真空壓力的燈絲或其他感溫元件?？刂祁^則為感應(yīng)頭提供必要的電路，并負(fù)責(zé)信號放大和信號數(shù)字化的工作。根據(jù)測量方式的不同，皮拉尼真空計可以分為定電流式和定電壓式兩種：定電流式：在這種方式中...

電容薄膜真空計：屬彈性元件真空計，其結(jié)構(gòu)和電路原理是一彈性薄膜將規(guī)管真空室分為兩個小室，即參考壓強(qiáng)室和測量室。測量低壓強(qiáng)（P<100帕）時，參考室抽至高真空，其壓強(qiáng)近似為零。當(dāng)測量室壓強(qiáng)不同時，薄膜變形的程度也不同。在測量室中有一固定電極，它與薄膜形成一個電容...

利用氣體動力學(xué)效用類真空計 測量與真空相連的容器表面受到的壓力作用而產(chǎn)生的彈性變形或其他力學(xué)性能變化來推算真空度的。典型**有波爾登規(guī)（Bourdon）和薄膜電容規(guī)。a）波爾登規(guī)利用彈性元件（如波紋管）在壓力作用下的變形來測量真空度。當(dāng)氣體壓力作用在...

真空計是一種用于測量氣體壓力的儀器，主要應(yīng)用于高真空環(huán)境中的設(shè)備和系統(tǒng)的研究、制造和測試。其工作原理是通過測量氣體在不同壓力下對傳感器的影響來進(jìn)行壓力測量。常見的真空計包括熱導(dǎo)式真空計、熱陰極離子化真空計和毛細(xì)壓力計等。熱導(dǎo)式真空計通過測量氣體傳熱的方式...

4. 電容式真空計電容式真空計通過測量電容變化來間接測量壓力，適用于中真空和高真空范圍。（1）電容薄膜真空計原理：利用薄膜在壓力作用下的形變引起電容變化來測量壓力。測量范圍：10?? Torr 到 1000 Torr。優(yōu)點：精度高、響應(yīng)快。缺點：成本較高。應(yīng)用...

在實際應(yīng)用中，不同類型的真空計通常結(jié)合使用，以覆蓋不同的壓力范圍。同時，為了確保真空計的精度和可靠性，需要定期對其進(jìn)行校準(zhǔn)和維護(hù)。此外，在選擇真空計時，還需要考慮其測量范圍、精度、響應(yīng)時間等性能指標(biāo)，以及工作環(huán)境中的氣體種類、溫度等因素對真空計性能的影響。綜上...

皮拉尼真空計利用惠斯通電橋的補(bǔ)償原理，通過測量一個發(fā)熱體與一個接收發(fā)熱體之間的熱傳導(dǎo)程度來判斷氣體的壓力。具體來說，當(dāng)加熱燈絲（一般為鉑絲）被恒定電流加熱時，其溫度會升高。對于給定大小的電流，加熱絲的溫度取決于通過傳導(dǎo)和對流向周圍介質(zhì)（即氣體）散熱的速率。在真...

辰儀金屬電容真空計是完全對標(biāo)MKS的金屬電容真空計而開發(fā)的一款金屬膜片真空計，已實現(xiàn)全系列部件國產(chǎn)化，產(chǎn)品測量精度接近MKS金屬電容真空計。辰儀金屬電容真空計已中芯國際等國內(nèi)FAB廠上機(jī)測試，填補(bǔ)了MKS對國內(nèi)斷供的影響。辰儀金屬電容真空計是完全對標(biāo)MKS的金...

3. 電離真空計電離真空計通過電離氣體分子來測量壓力，適用于高真空和超高真空范圍。（1）熱陰極電離真空計原理：利用熱陰極發(fā)射電子電離氣體分子，通過離子電流測量壓力。測量范圍：10?1? Torr 到 10?3 Torr。優(yōu)點：精度高、測量范圍廣。缺點：熱陰極易...

真空計的主要特點：1.多種測量原理真空計有多種測量原理，如電容式、電離式、熱傳導(dǎo)式等。不同的測量原理具有不同的特點和適用范圍，用戶可以根據(jù)具體需求選擇合適的真空計。2.易維護(hù)一些真空計的設(shè)計使得其易于維護(hù)和校準(zhǔn)。例如，有些真空計的傳感器可以更換，這使得在傳感器...

真空計是用于測量真空系統(tǒng)中壓力的儀器，具有多種特點，使其在不同應(yīng)用中表現(xiàn)出色。以下是真空計的主要特點：1. 寬量程適用：真空計可覆蓋從低真空到超高真空的范圍（如10^-1 Pa到10^-10 Pa）。多類型選擇：不同類型的真空計適用于不同的壓力范圍。2. 高精...

真空計是用于測量真空系統(tǒng)中壓力的儀器，具有多種特點，使其在不同應(yīng)用中表現(xiàn)出色。以下是真空計的主要特點：1. 寬量程適用：真空計可覆蓋從低真空到超高真空的范圍（如10^-1 Pa到10^-10 Pa）。多類型選擇：不同類型的真空計適用于不同的壓力范圍。2. 高精...

金屬電容薄膜真空計由金屬薄膜和電極構(gòu)成。當(dāng)真空度發(fā)生變化時，薄膜電容會發(fā)生相應(yīng)的變化，從而導(dǎo)致電容的大小變化。電子測量電路負(fù)責(zé)測量這個電容的變化，并將之轉(zhuǎn)換為電信號輸出。具體來說，施加到電容薄膜上的壓力變化會導(dǎo)致膜片間距離變化，進(jìn)而引起電容的變化。通過測量...

金屬電容薄膜真空計由金屬薄膜和電極構(gòu)成。當(dāng)真空度發(fā)生變化時，薄膜電容會發(fā)生相應(yīng)的變化，從而導(dǎo)致電容的大小變化。電子測量電路負(fù)責(zé)測量這個電容的變化，并將之轉(zhuǎn)換為電信號輸出。具體來說，施加到電容薄膜上的壓力變化會導(dǎo)致膜片間距離變化，進(jìn)而引起電容的變化。通過測量...

選擇適合的真空計對確保測量精度和系統(tǒng)穩(wěn)定運行至關(guān)重要。以下是選擇真空計時需要考慮的關(guān)鍵因素：1. 測量范圍真空度需求：根據(jù)應(yīng)用需求選擇適合的測量范圍，如低真空、中真空、高真空或超高真空。量程匹配：確保真空計的量程覆蓋所需測量范圍。2. 精度與分辨率精度要求：選...

選擇真空計應(yīng)該注意什么 6. 安裝與接口安裝方式：根據(jù)系統(tǒng)設(shè)計選擇合適的安裝方式，如法蘭連接、螺紋連接等。接口兼容性：確保真空計的接口與系統(tǒng)兼容。7. 電源與信號輸出電源需求：選擇符合系統(tǒng)電源要求的真空計。信號輸出：根據(jù)需求選擇模擬信號（如4-20m...

8. 復(fù)合真空計復(fù)合真空計結(jié)合多種測量技術(shù)，適用于從粗真空到超高真空的范圍。原理：通常結(jié)合皮拉尼真空計和電離真空計。測量范圍：10?1? Torr 到 1000 Torr。優(yōu)點：測量范圍廣，適用性強(qiáng)。缺點：成本較高。應(yīng)用：多功能真空系統(tǒng)。9. 其他真空計（1）...

真空測量是指用特定的儀器和裝置，對某一特定空間內(nèi)真空高低的測定，這種儀器或裝置稱為真空計（儀器、規(guī)管）。真空計的種類很多，通常按測量原理可分為***真空計和相對真空計兩大類：***真空計：通過測定物理參數(shù)直接獲得氣體壓強(qiáng)的真空計。例如U型壓力計、壓縮式真空計等...

MEMS電容真空計在多個領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用，包括但不限于：半導(dǎo)體制造：在半導(dǎo)體制造過程中，MEMS電容真空計用于監(jiān)測真空度，確保氣氛純凈并排除雜質(zhì)，從而提高芯片的質(zhì)量和可靠性。真空冶金：在真空冶金領(lǐng)域，MEMS電容真空計用于確保加工環(huán)境的純度和穩(wěn)定性，以提高冶...

皮拉尼真空計，又有翻譯為“派藍(lán)尼真空計”，屬于熱傳導(dǎo)式真空計的一種。以下是對皮拉尼真空計的詳細(xì)介紹：一、歷史背景皮拉尼真空計由馬塞洛·皮拉尼（Marcello Stefano Pirani）于1906年發(fā)明。皮拉尼曾在從事真空燈行業(yè)的西門子和哈爾斯克公司工作，...

常見的真空計類型包括：直接讀取式真空計：如U型管壓力計、壓縮式真空計等，它們直接讀取氣體壓力，其壓力響應(yīng)（刻度）可通過自身幾何尺寸計算出來或由測力確定。這類真空計對所有氣體都是準(zhǔn)確的，且與氣體種類無關(guān)。相對真空計：如熱傳導(dǎo)真空計、電離真空計等，它們由一些...

1.多種測量原理真空計有多種測量原理，如電容式、電離式、熱傳導(dǎo)式等。不同的測量原理具有不同的特點和適用范圍，用戶可以根據(jù)具體需求選擇合適的真空計。2.易維護(hù)一些真空計的設(shè)計使得其易于維護(hù)和校準(zhǔn)。例如，有些真空計的傳感器可以更換，這使得在傳感器損壞或老化時能夠方...

電容薄膜真空計：屬彈性元件真空計，其結(jié)構(gòu)和電路原理是一彈性薄膜將規(guī)管真空室分為兩個小室，即參考壓強(qiáng)室和測量室。測量低壓強(qiáng)（P<100帕）時，參考室抽至高真空，其壓強(qiáng)近似為零。當(dāng)測量室壓強(qiáng)不同時，薄膜變形的程度也不同。在測量室中有一固定電極，它與薄膜形成一個電容...

6. 麥克勞真空計麥克勞真空計，通過壓縮氣體測量壓力，適用于高真空和超高真空范圍。原理：利用氣體壓縮后的液柱高度差測量壓力。測量范圍：10?? Torr 到 10?3 Torr。優(yōu)點：精度高，無需校準(zhǔn)。缺點：操作復(fù)雜，響應(yīng)慢。應(yīng)用：實驗室高真空校準(zhǔn)。7. 質(zhì)譜...