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與傳統(tǒng)的SCARA型搬運(yùn)機(jī)械手相比，蛙腿型機(jī)械手的傳動機(jī)構(gòu)更簡單，剛性更高，且工作效率更高。如上圖所示，蛙腿型機(jī)械手手臂為對稱雙連桿的并聯(lián)結(jié)構(gòu)，包括1對大臂和2對小臂。2個(gè)直驅(qū)電機(jī)分別通過2個(gè)同軸的旋轉(zhuǎn)軸連接大臂，大臂末端通過4個(gè)旋轉(zhuǎn)軸連接尺寸相同的2對小臂，...

本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造技術(shù)，尤其是一種用于晶圓搬運(yùn)的機(jī)械手。 背景技術(shù)： 在半導(dǎo)體加工設(shè)備中，經(jīng)常需要將晶圓在各個(gè)工位之間進(jìn)行傳送，在傳送的過程中，傳送精度越高，設(shè)備工藝一致性就越好，速度越快，單臺設(shè)備的產(chǎn)能就越大。隨...

（3）“釘扎”理論， 認(rèn)為存在于基體晶界的納米顆粒產(chǎn)生“釘扎”效應(yīng)，從而限制了晶界滑移和孔穴、蠕變的發(fā)生，晶界的增強(qiáng)導(dǎo)致納米氧化鋯復(fù)相陶瓷韌性的提高。 二、氧化鋯增韌陶瓷的種類 氧化鋯增韌陶瓷主要有穩(wěn)定氧化鋯陶瓷、部分穩(wěn)定氧化鋯陶瓷、四方氧化鋯...

微孔陶瓷吸盤的性能2018-10-1917:01高致密性陶瓷真空吸盤(多孔陶瓷真空吸盤)，特殊的多孔陶瓷材料其孔徑為2~3微米，不易阻塞真空力大，部份面積吸附,同時(shí)也可作氣浮平臺，廣泛應(yīng)用半導(dǎo)體、面板、雷射制程及非接觸線性滑軌。多孔陶瓷真空吸盤是密...

**耐磨陶瓷料現(xiàn)在大家對環(huán)保越來越重視了低碳綠色已經(jīng)成為世界發(fā)展的首要趨勢，隨著人們生活水平和經(jīng)濟(jì)水平的不時(shí)提高。社會各界人士也將綠色低碳轉(zhuǎn)化為自己的一種生活態(tài)度。耐磨行業(yè)也不甘落后，刮起這股清新之風(fēng)，綠色之風(fēng)將會帶動整個(gè)行業(yè)的科技創(chuàng)新邁向一個(gè)全新的領(lǐng)域，上升...

種微孔真空吸盤工作臺的制作方法 【技術(shù)領(lǐng)域】 [0001]本實(shí)用新型涉及一種微孔真空吸盤工作臺，屬于機(jī)械設(shè)備領(lǐng)域。 【背景技術(shù)】 [0002]劃片刀用于精密加工，由于它的損耗速度非?？欤虼诵枨罅糠浅４?。生產(chǎn)劃片刀需要使用晶圓劃片機(jī)...

(6)分散劑 為了提高漿料的固含量，無論是水基體系還是非水基體系均需加入分散劑。分散劑可以提高漿料的穩(wěn)定性，阻止顆粒再團(tuán)聚，進(jìn)而提高漿料的固含量。 (7)消泡劑和表面活性劑 為了防止?jié){料在浸漬和擠出多余漿料的過程中起泡而影響制品的性能，需...

本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動，且角度不會發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力，同時(shí)提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護(hù)方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)...

為了解決使用機(jī)器語言編寫應(yīng)用程序所帶來的一系列問題，人們首先想到了使用助記符號來代替不容易記憶的機(jī)器指令。這種助記符號來表示計(jì)算機(jī)指令的語言稱為符號語言，也稱匯編語言。在匯編語言中，每一條用符號來表示的匯編指令與計(jì)算機(jī)機(jī)器指令一一對應(yīng)；記憶難度**減少了，不僅...

可用于300mm半導(dǎo)體晶圓搬送的5軸水平多關(guān)節(jié)潔凈機(jī)械手臂GTCR5000系列。 單臂雙手指結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)和雙臂結(jié)構(gòu)同樣的功能。 適用于300mm半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測設(shè)備等的晶圓搬運(yùn)。 機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長: 210mm, 280mm機(jī)械手...

吸音材料多孔陶瓷具有連通開氣孔，當(dāng)聲波傳入時(shí)，在很小的氣孔內(nèi)受力振蕩。振動受到的摩擦和阻礙，使聲波傳播受到***，導(dǎo)致聲音衰減，從而起到吸音的作用。是一種消除噪聲公害，益于人們身心健康的好材料。作為吸音材料的多孔陶瓷要求較小的孔徑(20～150/u...

深圳市德澳美精密制造有限公司位于深圳市龍華新區(qū)，自成立以來一直致力于陶瓷的生產(chǎn)加工，是國內(nèi)**早的從事陶瓷精密加工的企業(yè)之一。 我司技術(shù)力量雄厚、設(shè)備精良，加工經(jīng)驗(yàn)豐富。目前擁有多臺精密數(shù)控設(shè)備、精密機(jī)床、以及各種**的加工工藝和加工工具，并配備各種精密檢測...

B、成型壓力 成型壓力在氧化鋯干壓成型過程中是較關(guān)鍵的，壓力太小和太大都不能壓制出理想的坯體。壓力太小，則燒后產(chǎn)品的密度小，產(chǎn)品收縮大，坯體壓實(shí)程度不夠容易出現(xiàn)分層；而壓力太大，坯體也容易出現(xiàn)裂紋、分層和脫模困難等現(xiàn)象。合適的成型壓力需要通過生產(chǎn)實(shí)踐...

高溫防磨膠泥耐磨陶瓷膠泥是一種膠凝材料，由于原料采用特殊的處理方法和嚴(yán)格工藝控制組成，通過一系列的化學(xué)反應(yīng)，使其能在常溫下形成極高的強(qiáng)度及硬度。它具有施工方便，維護(hù)容易，成本低廉的特點(diǎn)而被***采用。耐磨膠泥主要有骨料和超細(xì)結(jié)合粉兩相組合，顆粒緊密...

整個(gè)蛙腿型晶圓搬運(yùn)機(jī)械手共由3個(gè)電機(jī)實(shí)現(xiàn)運(yùn)動控制。2臺直驅(qū)電機(jī)負(fù)責(zé)連接晶圓托盤連桿的同步控制，1臺直流電機(jī)負(fù)責(zé)整個(gè)機(jī)械手的上升與下降控制。雖然軸數(shù)較少，但對控制的精度、平穩(wěn)性和可靠性要求極高。整個(gè)控制架構(gòu)基于CANopen或者EtherCAT。 針對客戶的需求...

5．高溫氣體過濾高溫?zé)煔獾某龎m、高溫煤氣的凈化等高溫氣體的過濾都必須使用耐高溫的多孔陶瓷。6.醫(yī)藥工業(yè)食品工業(yè)過濾多孔陶瓷由于具有耐高溫、耐腐蝕和良好的生物、化學(xué)相容性，因而可用于醫(yī)藥工業(yè)中的疫苗、酶、***、核酸、蛋白質(zhì)等生理活性物質(zhì)的濃縮、分離...

接下來是單晶硅生長，**常用的方法叫直拉法（CZ法）。如下圖所示，高純度的多晶硅放在石英坩堝中，并用外面圍繞著的石墨加熱器不斷加熱，溫度維持在大約1400 ℃，爐中的氣體通常是惰性氣體，使多晶硅熔化，同時(shí)又不會產(chǎn)生不需要的化學(xué)反應(yīng)。為了形成單晶硅，還需要控制晶體...

精密結(jié)構(gòu)陶瓷具有許多獨(dú)特的優(yōu)勢。以下是其中的三個(gè)主要方面：1.高耐久性：精密結(jié)構(gòu)陶瓷的耐久性 超過許多傳統(tǒng)材料。這是因?yàn)樘沾刹牧系挠捕雀?，化學(xué)穩(wěn)定性好，抗腐蝕性能強(qiáng)。這種特性使精密結(jié)構(gòu)陶瓷在各種惡劣環(huán)境中都能保持長期的穩(wěn)定性。2.抗高溫性能：精密結(jié)構(gòu)陶瓷的另一...

為了解決使用機(jī)器語言編寫應(yīng)用程序所帶來的一系列問題，人們首先想到了使用助記符號來代替不容易記憶的機(jī)器指令。這種助記符號來表示計(jì)算機(jī)指令的語言稱為符號語言，也稱匯編語言。在匯編語言中，每一條用符號來表示的匯編指令與計(jì)算機(jī)機(jī)器指令一一對應(yīng)；記憶難度**減少了，不僅...

9)模糊與神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)控制。是一種語言控制器,可反映人在進(jìn)行控制活動時(shí)的思維特點(diǎn)。其主要特點(diǎn)之一是控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)并不需要通常意義上的被控對象的數(shù)學(xué)模型,而是需要操作者或**的經(jīng)驗(yàn)知識,操作數(shù)據(jù)等。[3]研究意義與剛性機(jī)械臂相比較,柔性機(jī)械臂具有結(jié)構(gòu)輕、載...

進(jìn)行光刻： 將設(shè)計(jì)好的電路掩模，置于光刻機(jī)的紫外射線下，然后再在它的下面放置Wafer，這一刻，Wafer上被光刻部分的光刻膠被融化掉，刻上了電路圖。然后將光刻膠去除，光刻膠上的圖案要與掩模上的圖案一致，然后進(jìn)行再次光刻。一般來說一個(gè)晶圓的電路要經(jīng)過...

吸盤類型：微孔陶瓷。 主要特點(diǎn)：平面度、平行度好，組織致密均勻、強(qiáng)度高、通透性好、吸附力均勻。 我廠位于享譽(yù)中國科技前沿重鎮(zhèn)的珠三角，有10多年專業(yè)生產(chǎn)加工氧化鋁、氧化鋯、氮化硅、碳化硅陶瓷生產(chǎn)加工經(jīng)驗(yàn)。技術(shù)力量雄厚、設(shè)備精良，加工經(jīng)驗(yàn)豐富?，F(xiàn)...

年來全球硅晶圓供給不足，導(dǎo)致8英寸、12英寸硅晶圓訂單能見度分別已達(dá)2019上半年和年底。目前國內(nèi)多個(gè)硅晶圓項(xiàng)目已經(jīng)開始籌備，期望有朝一日能夠打破進(jìn)口依賴，并有足夠的能力滿足市場需求。硅在自然界中以硅酸鹽或二氧化硅的形式***存在于巖石、砂礫中，硅晶圓的制造可...

四、固化:待耐磨涂層完全固化后(常溫24小時(shí)),即可投入使用。注意事項(xiàng):1、每次配膠不超過4kg為宜,配好的膠在30min內(nèi)用完,以免膠固化造成浪費(fèi)。2、材料配制時(shí),稱量要準(zhǔn)確,混合要均勻,涂抹時(shí)膠層要壓實(shí)3、溫度低于15度時(shí),涂層固化慢,固化不完...

晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂是半導(dǎo)體制造過程中不可或缺的重要設(shè)備之一。它主要用于將晶圓從一個(gè)工序轉(zhuǎn)移到另一個(gè)工序，確保晶圓在整個(gè)制造過程中的安全和穩(wěn)定運(yùn)輸。 晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂具有高度的自動化和精確性。它采用先進(jìn)的自動控制系統(tǒng)，能夠準(zhǔn)確地定位和抓取晶圓，避免了人為...

機(jī)械制造領(lǐng)域?qū)Σ牧系膹?qiáng)度、硬度和耐磨性要求很高，而精密結(jié)構(gòu)陶瓷正好具備這些特性。在機(jī)械密封件、刀具、軸承等關(guān)鍵部件中，采用精密結(jié)構(gòu)陶瓷可以提高設(shè)備的可靠性和使用壽命。例如，陶瓷刀具具有極高的硬度和耐磨性，能夠在高速切削加工中保持鋒利的切削刃，提高加工效率和質(zhì)量...

它通常有幾個(gè)自由度，用以抓取或移動物體（工具或工件）?！彼詫I(yè)機(jī)械臂可能理解為：擬人手臂、手腕和手功能 的機(jī)械電子裝置；它可把任一物件或工具按空間位姿（位置和姿態(tài)）的時(shí)變要求進(jìn)行移動，從而完成某一工業(yè)生產(chǎn)的作業(yè)要求。如夾持焊鉗或焊***，對汽車或摩托車車體...

半導(dǎo)體晶圓有時(shí)在處理室內(nèi)暴露在高溫中。因此，機(jī)械手有時(shí)輸送高溫的半導(dǎo)體晶圓。若高溫的半導(dǎo)體晶圓與手部接觸，則手部的溫度上升，并且配置在前臂連桿與手部之間的關(guān)節(jié)的溫度也上升。由此，安裝于關(guān)節(jié)的軸承的溫度上升。軸承的溫度上升促進(jìn)該軸承內(nèi)的潤滑劑的劣化。因此，與配置...

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素： 本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是：現(xiàn)有機(jī)械手臂易出現(xiàn)碰撞損傷，且傳送晶圓效率較低。 為了解決上述問題，本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例提供了一種機(jī)械手臂，其包括：托板；固定在所述托板上的絨毛墊，所述絨毛墊至少部分裸露于所述托板的用于承...

氧化鋯陶瓷是具有獨(dú)特的物理和化學(xué)性質(zhì)，如高硬度，低的熱傳導(dǎo)性，熔點(diǎn)高，抗高溫和腐蝕，化學(xué)惰性和兩性性質(zhì)，在電子陶瓷、功能陶瓷和結(jié)構(gòu)陶瓷等方面的應(yīng)用迅速發(fā)展。作為特種陶瓷材料在電子、航天、航空和核工業(yè)等高新技術(shù)領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。然而氧化鋯陶瓷材料的致命缺點(diǎn)...