作為本發(fā)明 的技術方案,所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板。作為本發(fā)明 的技術方案,所述靶材呈凹形結構。作為本發(fā)明 的技術方案,所述靶材包括用于濺射的濺射面。 地,所述濺射面包括***平、第二平面和斜面。作為本發(fā)明 的技術方案,所述斜面與水平面的夾角≤10°,例如可以是10°、9°、8°、7°、6°、5°、4°、3°、2°或1°等,但不限于所列舉的數值,該范圍內其他未列舉的數值同樣適用。作為本發(fā)明 的技術方案,所述斜面位于所述***平面和第二平面之間。 地,所述***平面為圓形。 地,所述第二平面為環(huán)形。作為本發(fā)明 的技術方案,所述靶材的材質包括鋁、鉭、鈦或銅中的一種。作為本發(fā)明 的技術方案,所述背板的材質包括銅和/或鋁。作為本發(fā)明 的技術方案,所述靶材表面的比較高點和比較低點的垂直距離為;所述靶材表面的硬度為20-30hv。ITO、SiO2、陶瓷脆性靶材及燒結靶材。合肥Ag靶材綁定
基于非晶IGZO真空材料的阻變存儲器與憶阻器 從真空材料結構及電子結構角度入手,將In、Ga 元素引入到ZnO 材料中形成InGaZnO(IGZO)非晶合金材料,由于球對稱的In 5s 軌道交疊較大,使得該材料具有形變對電學輸運影響較小且遷移率較高的特點。 利用上述材料優(yōu)勢,采用室溫工藝,在塑料襯底上制作了高性能IGZO 柔性阻變存儲器。器件在連續(xù)十萬次大角度彎折測試中,性能穩(wěn)定,存儲信息未丟失。變溫電學輸運特性的研究表明:阻變行為與氧離子移動密切相關,該存儲器的低阻導電通道由缺氧局域結構組成,而缺氧態(tài)的局部氧化導致了存儲器由低阻態(tài)向高阻態(tài)的轉變。 在此基礎上,利用IGZO 非晶薄膜的電學性質可調節(jié)性及其對激勵信號可作出動態(tài)反應等特點,設計并制備了由兩層不同含氧量IGZO 薄層構成的憶阻器件;實現了對人腦神經突觸多種基本功能的仿生模擬,涉及興奮性突觸后電流、非線性傳輸特性、長時程/短時程可塑性、刺激頻率響應特性、STDP 機制、經驗式學習等多個方面。蘇州不銹鋼靶材功能此外,提高靶材的密度和強度使靶材能更好地承受濺射過程中的熱應力。
PVD顏色膜之玫瑰金 玫瑰金,單從她那浪漫的名字,就能引起人們無數美妙的聯想。在閃閃發(fā)光的黃金飾品與經典高雅的鉑金飾品之后,色調柔和迷人的玫瑰金飾品漸成為時尚人士的“新寵”,以她特有的風格與文化,演繹出貴金屬飾品的又一片嶄新天地。通常玫瑰金由75%的黃金與其它合金組成(俗稱三色金)。 硬度較純金高,與傳統(tǒng)的黃金和鉑金相比,粉紅色的玫瑰金不但能使有色寶石的色彩更加濃重,還體現了金屬材質的精致、細膩。其粉紅、玫瑰等暖色調給人們帶來溫暖與愉快;在款式上也是千姿百態(tài),有心形、欖尖形、橢圓形、梨形、祖母綠形。各種風格迥異的飾品,可謂璀璨耀眼,女性無論是著職業(yè)裝,還是晚禮服及吊帶裙,與之相配都顯出高雅的氣質。 玫瑰金顏色近幾年在手表行業(yè)非常流行,很多品牌都采用PVD在不銹鋼表殼和表帶上沉積玫瑰金涂層的方式進行,行業(yè)內叫IP玫瑰金,其工藝已經非常成熟。玫瑰金鍍層一般有仿金層和玫瑰金層構成,底層的仿金層一般為TiCN,主要是增加玫瑰金的硬度和耐磨度。
PVD技術常用的方法 PVD基本方法:真空蒸發(fā)、濺射 、離子鍍(空心陰極離子鍍、熱陰極離子鍍、電弧離子鍍、活性反應離子鍍、射頻離子鍍、直流放電離子鍍),以下介紹幾種常用的方法。 電子束蒸發(fā) 電子束蒸發(fā)是利用聚焦成束的電子束來加熱蒸發(fā)源,使其蒸發(fā)并沉積在基片表面而形成薄膜。 濺射沉積 濺射是與氣體輝光放電相聯系的一種薄膜沉積技術。濺射的方法很多,有直流濺射、RF濺射和反應濺射等,而用得較多的是磁控濺射、中頻濺射、直流濺射、RF濺射和離子束濺射。 RF(射頻)濺射 RF濺射使用的頻率約為13.56MHz,它不需要熱陰極,能在較低的氣壓和較低的電壓下進行濺射。RF濺射不可以沉積金屬膜,而且可以沉積多種材料的絕緣介質膜,因而使用范圍較廣。 電弧離子鍍 陰極弧技術是在真空條件下,通過低電壓和高電流將靶材離化成離子狀態(tài),從而完成薄膜材料的沉積,該技術材料的離化率更高,薄膜性能更加優(yōu)異。壓靶蓋旋的過緊,沒有和靶材之間留下適當的距離,調整距離即可。
所述把手510包括桿狀部511和第二桿狀部512,所述桿狀部511的一端連接所述頂板210,另一端連接所述第二桿狀部512。所述桿狀部511延伸方向與所述頂板210表面相垂直,所述第二桿狀部512延伸方向與所述頂板210表面相平行。所述把手510的結構有利于操作人員牢固的抓握所述把手510,防止從所述把手510上滑脫。在其他實施例中,所述固定板200內側面彎折處呈弧狀,所述防護層400彎折處呈弧狀,位于所述固定板200彎折處的所述拋光片300的厚度均勻。此外,與前一實施例不同的是,所述拋光片部分310、拋光片第二部分320及拋光片第三部分330為一體成型。且所述拋光片部分310、拋光片第二部分320及拋光片第三部分330厚度相等。真空鍍膜中靶材中毒會出現哪些想象,如何解決?杭州Zr靶材作用
密度也是靶材的關鍵性能指標之一。合肥Ag靶材綁定
陰-陽極間距對靶濺射電壓的影響 真空氣體放電陰-陽極間距能夠對靶濺射電壓造成一定的影響。在陰-陽極間距偏大時,等效氣體放電的內阻主要由等離子體等效內阻決定,反之,在陰-陽極間距偏小時,將會導致等離子體放電的內阻呈現較小數值。由于在磁控靶點火起輝后進入正常濺射時,如果陰-陽極間距過小,由于靶電源輸出的濺射電壓具有一定的軟負載特性,就有可能出現在濺射電流已達工藝設定值時,靶濺射電壓始終很低又調不起來的狀況?!肮に囆汀卑须娫纯梢愿纳坪蛷浹a這種狀況;而“經濟型”靶電源對這種狀況無能為力。 1. 孿生靶(或雙磁控靶)陰-陽極間距 對稱雙極脈沖中頻靶電源和正弦波中頻靶電源帶孿生靶或雙磁控靶運行時,建議其兩交變陰-陽極的小極間距不應小于2英2口寸; 2. 單磁控靶陰-陽極間距 靶電源帶單磁控靶運行時,一般都不存在這方面問題;但是,在小真空室?guī)чL矩形平面磁控單靶時容易忽略這個問題,磁控靶面與真空室金屬殼體內壁的小極間距一般亦建議不小于2英2口寸。合肥Ag靶材綁定
江陰典譽新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專業(yè)生產濺射靶材和蒸發(fā)材料的公司,濺射靶材充分借鑒國外的先進技術,并通過與國內外**研發(fā)機構合作,整合各行業(yè)資源優(yōu)勢,生產出多系列***濺射靶材產品。 公司目前主要生產金屬,合金,陶瓷三大類靶材產品。經過幾年的發(fā)展和技術積累,已經擁有:真空熱壓,冷壓燒結,真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術。另外也可根據客戶要求研發(fā)新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務。 江陰典譽新材料科技有限公司已為以下行業(yè)提供***的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽能光伏和光熱、電子和半導體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業(yè)領域。同時也為國內外各大院校和研究所提供了很多常規(guī)和新型的試驗用靶材。 江陰典譽目前擁有真空熱壓爐兩臺,冷壓燒結爐一臺,真空熔煉設備兩臺,等靜壓設備一臺,等離子噴涂兩套,綁定平臺兩套,各類機加工設備七臺,檢驗設備若干,確保出廠的每件產品都能達到甚至超過客戶的預期。 江陰典譽秉承:“一切以客戶的需求為導向,客戶的所有需求一次做好?!钡陌l(fā)展理念。