激光干涉儀是檢定數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)測量機(jī)位置精度的理想工具，可按照規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)處理測量數(shù)據(jù)并輸出誤差曲線，為數(shù)控機(jī)床的誤差修正提供可靠依據(jù)，現(xiàn)場使用尤為方便。激光干涉儀配有各種附件，可測量小角度、平面度、直線度、平行度、垂直度等形位誤差。激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器，可直接用于高精度、大尺寸的動(dòng)態(tài)位移測量系統(tǒng)。激光干涉儀具有對(duì)光柵、磁柵、線紋尺、感應(yīng)同步器等精密測量元件的檢測和刻劃功能，可按預(yù)定的間距自動(dòng)完成檢測和刻劃定位。激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器。東莞激光干涉儀加工生產(chǎn)

激光干涉儀：誤差影響精確度：大氣折射率。激光頻率穩(wěn)定性：在激光干涉儀中，將激光波長作為長度基準(zhǔn)，激光頻率變化直接影響測量結(jié)果。余弦誤差：在測定三坐標(biāo)測量機(jī)的定位誤差時(shí)，需仔細(xì)調(diào)整，使光束與滑座的運(yùn)動(dòng)方向平等。死程誤差：在零位時(shí)，激光干涉儀兩相干光的還有一段光程差，這一段光程差稱為死程。死程的變化會(huì)引起測量誤差，死程誤差是激光干涉儀的一項(xiàng)重要誤差。細(xì)分誤差：在干涉條紋一個(gè)周期內(nèi)由插細(xì)分不均勻引起的誤差。蘇州機(jī)床設(shè)備激光干涉儀廠家激光干涉儀具有較高的精度和效率。

激光干涉儀是激光在計(jì)量領(lǐng)域中比較成功的應(yīng)用之一。利用光的干涉實(shí)現(xiàn)測量，具有非接觸、無損檢測的特點(diǎn)，已經(jīng)在各個(gè)不同領(lǐng)域得到普遍的應(yīng)用?，F(xiàn)代激光干涉技術(shù)是在人類關(guān)于光學(xué)的幾乎全部知識(shí)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的。激光與普通光源相比，具有一些獨(dú)特的性質(zhì)：單色性好、相干性好、方向性強(qiáng)、亮度高。激光干涉儀是以激光波長為已知長度，利用邁克爾遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量，普遍應(yīng)用于各領(lǐng)域，已經(jīng)成為人類認(rèn)知世界的重要工具。由于激光具有極好的時(shí)間相干性，自問世以來，已研制出多種激光干涉儀：單頻激光干涉儀、激光干涉儀、半導(dǎo)體激光干涉儀、法布里-珀羅（f-p）干涉儀、x射線干涉儀等。

激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。“干涉法”是一種利用波(通常是光波、無線電波或聲波)干涉現(xiàn)象的測量方法。測量可以包括波本身的某些特性以及波與之相互作用的材料。激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、較高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度。激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、較高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。激光器頻率的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性是激光干涉儀測量精度的保障。

激光干涉儀是利用激光作為長度基準(zhǔn)，對(duì)數(shù)控設(shè)備（加工中心、三座標(biāo)測量機(jī)等）的位置精度（定位精度、重復(fù)定位精度等）、幾何精度（俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等）進(jìn)行精密測量的精密測量儀器。激光干涉儀的信號(hào)交流信號(hào)，因而對(duì)于激光干涉儀來說，可用放大倍數(shù)較大的交流放大器對(duì)干涉信號(hào)進(jìn)行放大，這樣，即使光強(qiáng)衰減90%，依然可以得到合適的電信號(hào)。激光干涉儀可以在恒溫，恒濕，防震的計(jì)量室內(nèi)檢定量塊，量桿，刻尺和坐標(biāo)測量機(jī)等，也可以在普通車間內(nèi)為大型機(jī)床的刻度進(jìn)行標(biāo)定。激光干涉儀有數(shù)控機(jī)床動(dòng)態(tài)性能檢測的應(yīng)用。廣東坐標(biāo)測量機(jī)激光干涉儀定制

激光干涉儀使用注意事項(xiàng)：避免劃傷或腐蝕導(dǎo)軌面絲桿，保持其不失油。東莞激光干涉儀加工生產(chǎn)

激光干涉儀當(dāng)高壓連接在陽極和陰極之間時(shí)，混合氣體被激發(fā)，形成激光光束，通過放大激光光強(qiáng)使一些光透射出來成為輸出激光光束。其中，為實(shí)現(xiàn)平衡狀態(tài)，通過加熱器控制激光管長度讓激光穩(wěn)頻的精度保持在±0.05ppm以內(nèi)，此時(shí)穩(wěn)定輸出后，激光器即可進(jìn)行干涉測量。如今大多數(shù)現(xiàn)代位移干涉儀都使用氦氖(HeNe)激光管，這些激光管具有633納米的波長輸出。激光器的頻率、功率、穩(wěn)定性、可靠性、光束質(zhì)量及壽命等指標(biāo)參數(shù)，都關(guān)系著激光干涉儀的Z終性能。其中激光頻率是激光干涉儀Z基本的參數(shù)，其頻率(波長)的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性是激光干涉儀測量精度的保證。東莞激光干涉儀加工生產(chǎn)