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潮州銷售晶圓運送機械吸臂價格

來源: 發(fā)布時間:2025-01-16

電鍍:

到這一步,晶圓基本上就完成了,現(xiàn)在要在晶圓上鍍一層硫酸銅,銅離子會從正極走向負極。

拋光:

然后將Wafer進行打磨,到這一步晶圓就真正的完成了。

切割:

對晶圓進行切割,值得一提的是晶圓十分易碎,因此對切割的工藝要求也是非常高的。

測試:

測試分為三大類:功能測試、性能測試、抗老化測試。大致測試模式如下:接觸測試、功耗測試、輸入漏電測試、輸出電平測試、動態(tài)參數(shù)測試、模擬信號參數(shù)測試等等。全部測試都通過的,就是正片;部分測試未通過,但正常使用無礙,這是白片;未開始測試,就發(fā)現(xiàn)晶圓具有瑕疵的,這是黑片。


設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊,操作簡便,可提高晶圓搬運效率。潮州銷售晶圓運送機械吸臂價格

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半導(dǎo)體晶圓有時在處理室內(nèi)暴露在高溫中。因此,機械手有時輸送高溫的半導(dǎo)體晶圓。若高溫的半導(dǎo)體晶圓與手部接觸,則手部的溫度上升,并且配置在前臂連桿與手部之間的關(guān)節(jié)的溫度也上升。由此,安裝于關(guān)節(jié)的軸承的溫度上升。軸承的溫度上升促進該軸承內(nèi)的潤滑劑的劣化。因此,與配置在上臂連桿與前臂連桿之間的關(guān)節(jié)的軸承相比,配置在前臂連桿和手部之間的關(guān)節(jié)的軸承的維護頻率較高。

晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片,由于其形狀為圓形,故稱為晶圓;在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu),而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。

晶圓的原始材料是硅,而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉,**化,并經(jīng)蒸餾后,制成了高純度的多晶硅,其純度高達99.9%。 潮州銷售晶圓運送機械吸臂批發(fā)零售價晶圓運送機械吸臂應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、光電子等領(lǐng)域。

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本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造技術(shù),尤其是一種用于晶圓搬運的機械手。



背景技術(shù):


在半導(dǎo)體加工設(shè)備中,經(jīng)常需要將晶圓在各個工位之間進行傳送,在傳送的過程中,傳送精度越高,設(shè)備工藝一致性就越好,速度越快,單臺設(shè)備的產(chǎn)能就越大。隨著半導(dǎo)體工藝的發(fā)展,設(shè)備處理的工藝越來越復(fù)雜,對設(shè)備自動化程度、柔性化程度要求也越來越高,這就需要一種定位精度高,速度快的多自由度的機械手。



技術(shù)實現(xiàn)要素:


本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足,提供了一種晶圓搬運機械手,本發(fā)明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動,且角度不會發(fā)生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力,同時提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定,維護方便,多功能集一身,可滿足多種工藝設(shè)備要求,適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。


工業(yè)機械臂是擬人手臂、手腕和手功能 的機械電子裝置。擬人手臂、手腕和手功能的機械電子裝置;它可把任一物件或工具按空間位姿(位置和姿態(tài))的時變要求進行移動,從而完成某一工業(yè)生產(chǎn)的作業(yè)要求。如夾持焊鉗或焊***,對汽車或摩托車車體進行了點焊或弧焊;搬運壓鑄或沖壓成型的零件或構(gòu)件;進行激光切割;噴涂;裝配機械零部件等等。機械臂是“ROBOT”一詞的中文譯名。由于影視宣傳和科幻小說的影響,人們往往把機械臂想像成外貌似人的機械和電子裝置。但事實并不是這樣,特別是工業(yè)機械臂,與人的外貌往往毫無相似之處。根據(jù)國家標(biāo)準(zhǔn),工業(yè)機械臂定義為“其操作機是自動控制的,可重復(fù)編程、多用途,并可以對3個以上軸進行編程。它可以是固定式或者移動式。在工業(yè)自動化應(yīng)用中使用”。操作機又定義為“是一種機器,其機構(gòu)通常由一系列相互鉸接或相對滑動的構(gòu)件所組成。所述鋁合金平板下表面通過金屬箔片密封其真空腔體。

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晶圓運送機械吸臂的工作原理主要包括以下幾個步驟:

吸附:吸盤通過真空吸附原理將晶圓緊密吸附在其表面,確保晶圓在傳送過程中不會發(fā)生相對位移。

移動:傳動系統(tǒng)驅(qū)動機械臂按照預(yù)定軌跡進行移動,將晶圓從一處工藝設(shè)備傳送至另一處。放置:到達目標(biāo)位置后,吸盤釋放真空,將晶圓放置在指定位置。

返回:完成放置動作后,吸臂返回原點,等待下一次傳送任務(wù)。

在整個工作過程中,控制系統(tǒng)始終監(jiān)測機械臂的運動狀態(tài),確保傳送精度和穩(wěn)定性。同時,為了降低晶圓表面污染的風(fēng)險,晶圓運送機械吸臂還需要配備潔凈室環(huán)境控制系統(tǒng),以維持潔凈室內(nèi)恒定的溫度、濕度和潔凈度。 而回轉(zhuǎn)運動產(chǎn)生的誤差是放大時的尺寸誤差,當(dāng)轉(zhuǎn)角位置一定時,手臂伸出越長,其誤差越大;潮州銷售晶圓運送機械吸臂批發(fā)零售價

科學(xué)家已經(jīng)研制出了橡膠機器手臂,可以抓起螞蟻而不是捏死。潮州銷售晶圓運送機械吸臂價格

本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足,提供了一種晶圓搬運機械手,本發(fā)明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動,且角度不會發(fā)生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力,同時提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定,維護方便,多功能集一身,可滿足多種工藝設(shè)備要求,適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。



為了解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明通過下述技術(shù)方案得以解決:一種晶圓搬運機械手,包括升降軸、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸,其特征為,所述的伸展軸包括伸展電機、一級伸展臂、二級伸展臂和手指固定座,所述的一級伸展臂與所述伸展電機之間設(shè)置有一級關(guān)節(jié),所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設(shè)置有二級關(guān)節(jié),所述的二級伸展臂和所述的手指固定座之間設(shè)置有三級關(guān)節(jié),所述的伸展電機、所述的一級關(guān)節(jié)、所述的二級關(guān)節(jié)和所述的三級關(guān)節(jié)依次傳動,所述的手指固定座始終保持直線運動。 潮州銷售晶圓運送機械吸臂價格

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