真空計的工作原理基于氣體分子的運(yùn)動特性。當(dāng)氣體分子在封閉空間內(nèi)不斷運(yùn)動、相互碰撞并與容器壁發(fā)生碰撞時,這種碰撞運(yùn)動將氣體分子的動能轉(zhuǎn)換成容器壁上的壓力。真空計通過測量這種壓力來間接反映氣體的壓強(qiáng)或真空度。不同類型的真空計采用不同的物理機(jī)制進(jìn)行測量,例如:利用力學(xué)性能的真空計:如波爾登真空計和薄膜電容規(guī),它們通過測量氣體對某種力學(xué)元件(如薄膜)的作用力來推算真空度。利用氣體動力學(xué)效應(yīng)的真空計:如皮拉尼電阻規(guī)和熱電偶規(guī),它們利用氣體在流動過程中產(chǎn)生的熱效應(yīng)或電效應(yīng)來測量真空度。利用帶電粒子效應(yīng)的真空計:如熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī),它們通過測量氣體分子在電離過程中產(chǎn)生的電流來推算真空度。這類真空計在高真空領(lǐng)域具有極高的測量精度。如何判斷電容真空計是否出現(xiàn)故障?溫州高純度真空計生產(chǎn)廠家
皮拉尼真空計利用氣體分子的熱導(dǎo)率隨壓力變化而變化的特性來測量真空度。它包含一個封閉在室內(nèi)的加熱絲(通常為鉑絲),該加熱絲形成了惠斯通電橋的一個臂(電阻)。在測量過程中,加熱絲由恒定電流加熱,溫度升高。當(dāng)加熱絲置于真空或低壓氣體環(huán)境中時,由于氣體分子數(shù)量減少,加熱絲的熱導(dǎo)率降低,導(dǎo)致加熱絲溫度進(jìn)一步升高。這一溫度變化會引起導(dǎo)線電阻的變化,通過惠斯通電橋測量電阻變化,即可間接獲得真空度的讀數(shù)。
皮拉尼真空計主要由感應(yīng)頭和控制頭兩部分組成。感應(yīng)頭多為金屬或玻璃外殼,內(nèi)有感測真空壓力的燈絲或其他感溫元件??刂祁^則為感應(yīng)頭提供必要的電路,并負(fù)責(zé)信號放大和信號數(shù)字化的工作。 安徽高精度真空計生產(chǎn)廠家電容真空計有哪些優(yōu)點(diǎn)?
真空測量就是真空度的測量,而真空度(詳細(xì)注釋見前文:知識分享②|真空如何獲得?)是指低于大氣壓力注釋的氣體稀薄程度的物理量。通常,將用以探測低壓空間稀薄氣體壓力所用的儀器稱為真空計。注釋:大氣壓力:通常指一個標(biāo)準(zhǔn)大氣壓,壓強(qiáng)的單位之一。當(dāng)溫度為0℃(273.15K)時,在重力加速度為980.655cm/s2處(即在地球緯度為45°的海平面上),使用**的密度為13.5951g/cm3,則760mm高的**柱所產(chǎn)生的壓強(qiáng)為1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓。1毫米汞柱(mmHg)和1托(Torr)相近,兩者相差約千萬分之一。1mmHg=1Torr=133.3Pa一個標(biāo)準(zhǔn)大氣壓1atm=101325Pa=760mmHg=1.01325bar=760Torr
安裝步驟準(zhǔn)備工作:確保安裝區(qū)域清潔,準(zhǔn)備好所需工具和材料。安裝真空計:將真空計對準(zhǔn)安裝位置,確保密封面平整。按說明書安裝固定螺栓或夾具,均勻緊固。連接管路與電氣:連接真空管路,確保密封良好。按標(biāo)記重新連接電氣線路。檢查與測試:檢查所有連接是否牢固,密封是否良好。進(jìn)行初步測試,確保真空計正常工作。注意事項安全操作:確保系統(tǒng)斷電和泄壓后再操作。佩戴防護(hù)裝備,如手套和護(hù)目鏡。避免污染:保持工作區(qū)域清潔,避免灰塵和雜質(zhì)進(jìn)入系統(tǒng)。正確使用工具:使用合適工具,避免損壞真空計和連接部件。遵循說明書:嚴(yán)格按說明書操作,確保正確安裝和拆卸。定期維護(hù):定期檢查和校準(zhǔn)真空計,確保其長期穩(wěn)定運(yùn)行??偨Y(jié)真空計的拆裝需要細(xì)致操作,遵循正確的步驟和注意事項,以確保設(shè)備安全和測量精度。定期維護(hù)和校準(zhǔn)能延長其使用壽命。皮拉尼真空計測量范圍?
MEMS電容真空計在多個領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用,包括但不限于:半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體制造過程中,MEMS電容真空計用于監(jiān)測真空度,確保氣氛純凈并排除雜質(zhì),從而提高芯片的質(zhì)量和可靠性。真空冶金:在真空冶金領(lǐng)域,MEMS電容真空計用于確保加工環(huán)境的純度和穩(wěn)定性,以提高冶金產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性。科學(xué)研究:在物理學(xué)、化學(xué)、材料科學(xué)等領(lǐng)域的研究中,MEMS電容真空計用于監(jiān)測真空度,確保實驗環(huán)境的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。航空航天:在航空航天領(lǐng)域,MEMS電容真空計用于監(jiān)測太空艙內(nèi)的真空度,確保航天員的生命安全和設(shè)備的正常運(yùn)行。醫(yī)療設(shè)備:在醫(yī)療設(shè)備的制造和維護(hù)過程中,MEMS電容真空計用于監(jiān)測放射設(shè)備中的真空環(huán)境等,確保其正常工作。真空計如何快速選型?安徽mems真空計生產(chǎn)廠家
皮拉尼真空計是一種測量真空壓力的儀器,它是根據(jù)皮拉尼原理制成的。溫州高純度真空計生產(chǎn)廠家
皮拉尼真空計,又有翻譯為“派藍(lán)尼真空計”,屬于熱傳導(dǎo)式真空計的一種。以下是對皮拉尼真空計的詳細(xì)介紹:一、歷史背景皮拉尼真空計由馬塞洛·皮拉尼(Marcello Stefano Pirani)于1906年發(fā)明。皮拉尼曾在從事真空燈行業(yè)的西門子和哈爾斯克公司工作,當(dāng)時需要高真空環(huán)境來制造燈絲,而生產(chǎn)環(huán)境中使用的計量器較為笨重且不便,這促使他發(fā)明了更為便捷的真空計。二、工作原理皮拉尼真空計通過加熱電阻絲至一定的工作溫度,然后監(jiān)測由于氣體粒子與電阻絲碰撞而帶走的能量,這種能量損失與電阻絲周圍的氣體濃度及氣體成分成比例關(guān)系。當(dāng)氣體分子與加熱的金屬絲碰撞時,熱量從金屬絲中傳遞出來。熱損失是氣體壓力的函數(shù),在低壓下,低氣體密度提供了低的熱導(dǎo)率。因此,提供給元件的電流變得依賴于真空壓力,從而可以通過測量的電流間接測量真空值。溫州高純度真空計生產(chǎn)廠家