1. 機械式真空計機械式真空計通過物理形變或液柱高度差來測量壓力,適用于粗真空和低真空范圍。(1)U型管壓力計原理:利用液柱(如水或汞)的高度差測量壓力。測量范圍:通常為大氣壓到約 1 Torr(133 Pa)。優(yōu)點:結構簡單、成本低。缺點:精度較低,不適用于高真空。應用:實驗室粗真空測量。(2)布爾登壓力計原理:利用金屬管(布爾登管)在壓力作用下的形變來測量壓力。測量范圍:大氣壓到約 10?3 Torr。優(yōu)點:結構簡單、耐用。缺點:精度有限,不適用于高真空。應用:工業(yè)粗真空和低真空測量。皮拉尼真空計的主要結構包括哪些部分?無錫大氣壓真空計供應商
2. 熱傳導真空計熱傳導真空計通過氣體熱傳導的變化來測量壓力,適用于低真空和中真空范圍。(1)皮拉尼真空計原理:利用加熱絲的熱量損失與氣體壓力之間的關系測量壓力。測量范圍:10?3 Torr 到 10 Torr。優(yōu)點:響應快、成本低。缺點:受氣體種類影響較大。應用:普通真空系統(tǒng)監(jiān)測。(2)熱電偶真空計原理:通過熱電偶測量加熱絲溫度變化來間接測量壓力。測量范圍:10?3 Torr 到 10 Torr。優(yōu)點:結構簡單、穩(wěn)定性好。缺點:精度較低。應用:低真空和中真空測量。陜西mems真空計公司電容真空計有哪些優(yōu)點?
陶瓷真空計是一種用于測量真空系統(tǒng)中壓力的儀器,廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、科研實驗等領域。其**部件由陶瓷材料制成,具有耐高溫、耐腐蝕、絕緣性能好等優(yōu)點。主要特點耐高溫:陶瓷材料能在高溫環(huán)境下穩(wěn)定工作。耐腐蝕:適用于腐蝕性氣體環(huán)境。絕緣性能:良好的電絕緣性,適合高電壓環(huán)境。高精度:提供精確的真空度測量。陶瓷真空計通過測量氣體分子對陶瓷元件的熱傳導或壓力效應來確定真空度,常見類型包括:熱電偶真空計:利用氣體熱傳導變化測量壓力。皮拉尼真空計:基于氣體熱傳導與壓力的關系。電容式真空計:通過陶瓷薄膜的形變測量壓力。應用領域
(1)利用氣體熱學特征類真空計通過測量氣體分子在真空中的運動狀態(tài)或動力學效應來推算真空度,典型**有皮拉尼(Pirani)電阻規(guī)和熱電偶規(guī)。a)皮拉尼電阻規(guī)利用熱絲在真空中的熱傳導效應來測量真空度。當真空度發(fā)生變化時,熱絲的熱傳導性能會受到影響,進而導致電阻發(fā)生變化。通過測量電阻的變化,可以推算出真空度的數(shù)值。皮拉尼電阻規(guī)具有靈敏度高、測量范圍寬等特點。b)熱電偶規(guī)利用熱電效應進行真空度測量的儀器,其**原理在于熱電偶的溫差電勢與周圍氣體壓力的關系。隨著真空度的變化,熱電偶的溫差電勢也會相應改變,從而提供關于真空度的信息。熱電偶規(guī)具有結構簡單、操作便捷等特點。真空計的適用壓力范圍是?
金屬薄膜真空計性能特點高靈敏度:金屬薄膜真空計通常具有較高的靈敏度,能夠準確測量微小的壓力變化。寬測量范圍:雖然具體范圍取決于金屬薄膜的材質和厚度,但金屬薄膜真空計通常具有較寬的測量范圍,適用于從低真空到高真空的不同環(huán)境。穩(wěn)定性好:在適當?shù)木S護下,金屬薄膜真空計具有良好的穩(wěn)定性,能夠長時間保持測量精度??刮廴灸芰姡合鄬τ谀承┢渌愋偷恼婵沼嫞饘俦∧ふ婵沼媽ξ廴镜拿舾行暂^低,能夠在一定程度上抵抗污染物的干擾。選擇真空計的標準是什么?山東大氣壓真空計
真空計的讀數(shù)通常是不變的,這是因為它們通常使用一個固定的參考壓力來校準儀器。無錫大氣壓真空計供應商
真空測量是指用特定的儀器和裝置,對某一特定空間內真空高低的測定,這種儀器或裝置稱為真空計(儀器、規(guī)管)。真空計的種類很多,通常按測量原理可分為***真空計和相對真空計兩大類:***真空計:通過測定物理參數(shù)直接獲得氣體壓強的真空計。例如U型壓力計、壓縮式真空計等,這類真空計所測量的物理參數(shù)與氣體成分無關,測量比較準確。但是在氣體壓強很低的情況下,直接進行測量是極其困難的。相對真空計:通過測量與壓強有關的物理量,并與***真空計比較后得到壓強值的真空計。如放電真空計、熱傳導真空計、電離真空計等,它的特點是測量的準確度略差,而且和氣體的種類有關。在實際生產(chǎn)中,除真空校準外,大都使用相對真空計。無錫大氣壓真空計供應商