依據(jù)機械加工原理、半導(dǎo)體材料工程學、物力化學多相反應(yīng)多相催化理論、表面工程學、半導(dǎo)體化學基礎(chǔ)理論等,對硅單晶片化學機械拋光(CMP)機理、動力學控制過程和影響因素研究標明,化學機械拋光是一個復(fù)雜的多相反應(yīng),它存在著兩個動力學過程:(1)拋光首先使吸附在拋光布上的拋光液中的氧化劑、催化劑等與襯底片表面的硅原子在表面進行氧化還原的動力學過程。這是化學反應(yīng)的主體。(2)拋光表面反應(yīng)物脫離硅單晶表面,即解吸過程使未反應(yīng)的硅單晶重新裸露出來的動力學過程。它是控制拋光速率的另一個重要過程。硅片的化學機械拋光過程是以化學反應(yīng)為主的機械拋光過程,要獲得質(zhì)量好的拋光片,必須使拋光過程中的化學腐蝕作用與機械磨削作用達到一種平衡。如果化學腐蝕作用大于機械拋光作用,則拋光片表面產(chǎn)生腐蝕坑、桔皮狀波紋。如果機械磨削作用大于化學腐蝕作用,則表面產(chǎn)生高損傷層。拋光液的的性價比、質(zhì)量哪家比較好?杭州中性拋光液生產(chǎn)工藝
拋光液的主要產(chǎn)品可以按主要成分的不同分為以下幾大類:金剛石拋光液(多晶金剛石拋光液、單晶金剛石拋光液和納米金剛石拋光液)、氧化硅拋光液(即CMP拋光液)、氧化鈰拋光液、氧化鋁拋光液和碳化硅拋光液等幾類。 [2] 多晶金剛石拋光液多晶金剛石拋光液以多晶金剛石微粉為主要成分,配合高分散性配方,可以在保持高切削率的同時不易對研磨材質(zhì)產(chǎn)生劃傷。主要應(yīng)用于藍寶石襯底的研磨、LED芯片的背部減薄、光學晶體以及硬盤磁頭等的研磨和拋光。 湖北基板拋光液價格蘇州高質(zhì)量的拋光液的公司。
納米拋光液本公司有多種納米拋光液,有納米氧化鋁拋光液、納米氧化鈰拋光液,納米氧化鋯拋光液、納米氧化鎂拋光液、納米氧化鈦拋光液、納米氧化硅拋光液等。本系列納米拋光液晶相穩(wěn)定、硬度有高有低、適合客戶各種軟硬材料拋光,被廣泛應(yīng)用于催化劑,精密拋光,化工助劑,電子陶瓷,結(jié)構(gòu)陶瓷,紫外線收劑,電池材料等領(lǐng)域。我公司采用先進的分散技術(shù)將納米氧化物粉體超級分散,形成高度分散化、均勻化和穩(wěn)定化的納米氧化物漿料。具有更高的活性、易加入等特性,方便顧客使用。主要用途:適合各種寶石研磨拋光、電子磁性材料的研磨拋光、普通玻璃拋光,工藝玻璃拋光,水晶玻璃拋光,單晶硅片拋光,油漆表面拋光,手機外殼拋光,汽車表面拋光,高級不銹鋼外殼拋光,高級首飾品拋光以及做拋光蠟原料等。
陶瓷拋光液1.本產(chǎn)品不含重金屬、不含有毒有害物質(zhì),對環(huán)境友好;2.本產(chǎn)品主要由其金剛石微粉、分散穩(wěn)定劑、懸浮劑、pH值調(diào)節(jié)劑、防腐劑、有機溶劑和去離子水組成,3.具有適用性強,產(chǎn)品分散性好,粒度均勻、規(guī)格齊全、品質(zhì)穩(wěn)定等特點。產(chǎn)品概述本產(chǎn)品是專門針對陶瓷的一款高效研磨液,能快速去除表面缺陷,具有一定的潤滑、冷卻作用,易于研磨后的清洗,懸浮性能好,金屬離子螯合能力強。主要成分:金剛石/硅溶膠應(yīng)用領(lǐng)域:廣泛應(yīng)用于各類陶瓷制品(氧化鋁陶瓷、氧化鋯陶瓷、氮化硅陶瓷件、碳化硅陶瓷件、石墨陶瓷件、氮化硼陶瓷等)工件的研磨,具有良好的研磨效果。產(chǎn)品特點:1.本產(chǎn)品不含重金屬、不含有毒有害物質(zhì)、對環(huán)境友好。2.本產(chǎn)品主要由其金剛石微粉、分散穩(wěn)定劑、懸浮劑、pH值調(diào)節(jié)劑、防腐劑、有機溶劑和去離子水組成。3.具有適用性強、產(chǎn)品分散性好、粒度均勻、規(guī)格齊全、品質(zhì)穩(wěn)定等特點。 哪家的拋光液價格比較低?
LED行業(yè)目前LED芯片主要采用的襯底材料是藍寶石,在加工過程中需要對其進行減薄和拋光。藍寶石的硬度極高,普通磨料難以對其進行加工。在用金剛石研磨液對藍寶石襯底表面進行減薄和粗磨后,表面不可避免的有一些或大或小的劃痕。CMP拋光液利用“軟磨硬”的原理很好的實現(xiàn)了藍寶石表面的精密拋光。隨著LED行業(yè)的快速發(fā)展,聚晶金剛石研磨液及二氧化硅溶膠拋光液的需求也與日俱增。2.半導(dǎo)體行業(yè)CMP技術(shù)還***的應(yīng)用于集成電路(IC)和超大規(guī)模集成電路中(ULSI)對基體材料硅晶片的拋光。隨著半導(dǎo)體工業(yè)的急速發(fā)展,對拋光技術(shù)提出了新的要求,傳統(tǒng)的拋光技術(shù)(如:基于淀積技術(shù)的選擇淀積、濺射等)雖然也可以提供“光滑”的表面,但卻都是局部平面化技術(shù),不能做到全局平面化,而化學機械拋光技術(shù)解決了這個問題,它是目前***的可以在整個硅圓晶片上***平坦化的工藝技術(shù)。 拋光液的的參考價格大概是多少?東莞物理拋光液廠家
哪家的拋光液成本價比較低?杭州中性拋光液生產(chǎn)工藝
二氧化硅膠體拋光液是以高純度的硅粉為原料,經(jīng)過特殊工藝生產(chǎn)的一種高純度金屬離子型拋光產(chǎn)品。用于多種納米材料的高平坦化拋光,如硅片、化合物晶體、精密光學器件、寶石等的拋光加工。由于二氧化硅粒度很細,約0.01-0.1μm,因此拋光工件表面的損傷層極微;另外,二氧化硅的硬度和硅片的硬度相近,因此常用于對半導(dǎo)體硅片的拋光。二氧化硅是拋光液的重要組成部分,其粒徑大小、致密度、分散度等因素直接影響化學機械拋光的速率和拋光質(zhì)量。因此二氧化硅膠體的制備也是拋光液中不可缺少的工藝。杭州中性拋光液生產(chǎn)工藝