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不同的SiC多型體在半導(dǎo)體特性方面表現(xiàn)出各自的特性。利用SiC的這一特點(diǎn)可以制作SiC不同多型體間晶格完全匹配的異質(zhì)復(fù)合結(jié)構(gòu)和超晶格,從而獲得性能較好的器件.其中6H-SiC結(jié)構(gòu)為穩(wěn)定,適用于制造光電子器件:p-SiC比6H-SiC活潑,其電子遷移率比較高,飽和電子漂移速度快,擊穿電場強(qiáng),較適宜于制造高溫、大功率、高頻器件,及其它薄膜材料(如A1N、GaN、金剛石等)的襯底和X射線的掩膜等。而且,β-SiC薄膜能在同屬立方晶系的Si襯底上生長,而Si襯底由于其面積大、質(zhì)量高、價格低,可與Si的平面工藝相兼容,所以后續(xù)PECVD制備的SiC薄膜主要是β-SiC薄膜碳化硅襯底的價格哪家比較優(yōu)惠?深圳進(jìn)口led碳化硅襯底
在4H-SiC材料和器件發(fā)展方面,美國處于國際地位,已經(jīng)從探索性研究階段向大規(guī)模研究和應(yīng)用階段過渡。CREE公司已經(jīng)生產(chǎn)出4英寸(100mm)零微管(ZMP)n型SiC襯底。同時,螺旋位錯(screwdislocation)密度被降低到幾十個/cm2。商用水平比較高的器件:4H-SiCMESFET在S-波段連續(xù)波工作60W(,ldB壓縮),漏效率45%(,POUT=PldB),工作頻率至。近期CREE公司生產(chǎn)的CRF35010性能達(dá)到:工作電壓48V,輸出功率10W,工作頻率,線性增益10dB;美國正在逐步將這種器件裝備在***武器上,如固態(tài)相控陣?yán)走_(dá)系統(tǒng)、***通訊電子系統(tǒng)、高頻電源系統(tǒng)、電子戰(zhàn)系統(tǒng)——干擾和威脅信號預(yù)警等。其中Cree公司的SiCMESFET功率管已經(jīng)正式裝備美國海軍的新一代預(yù)警機(jī)E2D樣機(jī)。近期俄羅斯、歐洲和日本加快發(fā)展,SiC材料生長和器件制造技術(shù)也在不斷走向成熟。 河北4寸n型碳化硅襯底蘇州好的碳化硅襯底的公司。
半導(dǎo)體材料是碳化硅相當(dāng)有前景的應(yīng)用領(lǐng)域之一,碳化硅是目前發(fā)展成熟的第三代半導(dǎo)體材料。隨著生產(chǎn)成本的降低,SiC半導(dǎo)體正在逐步取代一、二代半導(dǎo)體。碳化硅半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈主要包括碳化硅高純粉料、單晶襯底、外延片、功率器件、模塊封裝和終端應(yīng)用等環(huán)節(jié)。在第三代半導(dǎo)體應(yīng)用中,碳化硅半導(dǎo)體的優(yōu)勢在于可與氮化鎵半導(dǎo)體互補(bǔ),氮化鎵半導(dǎo)體材料的市場應(yīng)用領(lǐng)域集中在1000V以下,偏向中低電壓范圍,目前商業(yè)碳化硅半導(dǎo)體產(chǎn)品電壓等級為600~1700V。由于SiC器件高轉(zhuǎn)換效率、低發(fā)熱特性和輕量化等優(yōu)勢,下業(yè)需求持續(xù)增加,有取代SiO2器件的趨勢。
功率半導(dǎo)體多被用于轉(zhuǎn)換器及逆變器等電力轉(zhuǎn)換器進(jìn)行電力控制。目前,功率半導(dǎo)體材料正迎來材料更新?lián)Q代,這些新材料就是SiC(碳化硅)和GaN(氮化鎵),二者的物理特性均優(yōu)于現(xiàn)在使用的Si(硅),作為節(jié)能***受到了電力公司、汽車廠商和電子廠商等的極大期待。將Si換成GaN或SiC等化合物半導(dǎo)體,可大幅提高產(chǎn)品效率并縮小尺寸,這是Si功率半導(dǎo)體元件(以下簡稱功率元件)無法實(shí)現(xiàn)的。目前,很多領(lǐng)域都將Si二極管、MOSFET及IGBT(絕緣柵雙極晶體管)等晶體管用作功率元件,比如供電系統(tǒng)、電力機(jī)車、混合動力汽車、工廠內(nèi)的生產(chǎn)設(shè)備、光伏發(fā)電系統(tǒng)的功率調(diào)節(jié)器、空調(diào)等白色家電、服務(wù)器及個人電腦等。這些領(lǐng)域利用的功率元件的材料也許不久就將被GaN和SiC所替代。 如何區(qū)分碳化硅襯底的的質(zhì)量好壞。
SiC碳化硅是制作高溫、高頻、大功率、高壓器件的理想材料之一:由碳元素和硅元素組成的一種化合物半導(dǎo)體材料。相比傳統(tǒng)的硅材料(Si),碳化硅(SiC)的禁帶寬度是硅的3倍;導(dǎo)熱率為硅的4-5倍;擊穿電壓為硅的8-10倍;電子飽和漂移速率為硅的2-3倍。優(yōu)勢體現(xiàn)在:1)耐高壓特性:更低的阻抗、禁帶寬度更寬,能承受更大的電流和電壓,帶來更小尺寸的產(chǎn)品設(shè)計(jì)和更高的效率;2)耐高頻特性:SiC器件在關(guān)斷過程中不存在電流拖尾現(xiàn)象,能有效提高元件的開關(guān)速度(大約是Si的3-10倍),適用于更高頻率和更快的開關(guān)速度;3)耐高溫特性:SiC相較硅擁有更高的熱導(dǎo)率,能在更高溫度下工作。哪家公司的碳化硅襯底的有售后?杭州碳化硅襯底進(jìn)口6寸sic
碳化硅襯底公司的聯(lián)系方式。深圳進(jìn)口led碳化硅襯底
從 80 年代末起,SiC 材料與器件的飛速發(fā)展。由于 SiC 材料種類很多,性質(zhì)各異,它的應(yīng)用范圍十分***。 在大功率器件方面,利用 SiC 材料可以制作的器件,其電流特性、電壓特性、和高頻特性等具有比 Si材料更好的性質(zhì)。 在高頻器件方面,SiC 高頻器件輸出功率更高,且耐高溫和耐輻射輻射特性更好,可用于通信電子系統(tǒng)等。 在光電器件方面,利用 SiC 不影響紅外輻射的性質(zhì),可將其用在紫外探測器上,在 350℃的溫度檢測紅外背景下的紫外信號,功率利用率 80%左右。 在耐輻射方面,一些 SiC 器件輻射環(huán)境惡劣的條件下使用如核反應(yīng)堆中應(yīng)用。 高溫應(yīng)用方面,利用 SiC 材料制備的器件工作溫度相當(dāng)?shù)馗撸?SiC MOSFET和 SiC 肖特基二極管可在 900k 下工作。 從世界范圍來看,高功率器件是有可能實(shí)現(xiàn)的,應(yīng)用潛力也比較大,如圖 1.2所示。SiC 作為二元化合物半導(dǎo)體,屬于Ⅳ族元素中***的固態(tài)化合物。它 Si-C 健的能量很穩(wěn)定,這也是 SiC 在各種極端環(huán)境下仍能穩(wěn)定的原因。SiC 的原子化學(xué)能高達(dá) 1250KJ/mol;德拜溫度達(dá)到 1200-1430K,摩爾硬度達(dá)到 9 級,比金剛石摩爾硬度低些;導(dǎo)熱性良好,達(dá) 5W/cm.K,比其他半導(dǎo)體材料好很多。深圳進(jìn)口led碳化硅襯底
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