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鄭州碳化硅襯底外延加工

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2022-09-25

    隨著電力電子變換系統(tǒng)對(duì)于效率和體積提出更高的要求,SiC(碳化硅)將會(huì)是越來(lái)越合適的半導(dǎo)體器件。尤其針對(duì)光伏逆變器和UPS應(yīng)用,SiC器件是實(shí)現(xiàn)其高功率密度的一種非常有效的手段。由于SiC相對(duì)于Si的一些獨(dú)特性,對(duì)于SiC技術(shù)的研究,可以追溯到上世界70年代。簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō),SiC主要在以下3個(gè)方面具有明顯的優(yōu)勢(shì):擊穿電壓強(qiáng)度高(10倍于Si)更寬的能帶隙(3倍于Si)熱導(dǎo)率高(3倍于Si)這些特性使得SiC器件更適合應(yīng)用在高功率密度、高開(kāi)關(guān)頻率的場(chǎng)合。當(dāng)然,這些特性也使得大規(guī)模生產(chǎn)面臨一些障礙,直到2000年初單晶SiC晶片出現(xiàn)才開(kāi)始逐步量產(chǎn)。目前標(biāo)準(zhǔn)的是4英寸晶片,但是接下來(lái)6英寸晶片也要誕生,這會(huì)導(dǎo)致成本有顯著的下降。而相比之下,當(dāng)今12英寸的Si晶片已經(jīng)很普遍,如果預(yù)測(cè)沒(méi)有問(wèn)題的話,接下來(lái)4到5年的時(shí)間18英寸的Si晶片也會(huì)出現(xiàn)。 碳化硅襯底的的整體大概費(fèi)用是多少?鄭州碳化硅襯底外延加工

從襯底的下游晶圓與器件來(lái)看,大量生產(chǎn)廠家仍然位于日本、歐洲與美國(guó);但國(guó)內(nèi)生產(chǎn)廠家在襯底領(lǐng)域已經(jīng)擁有了一定的市場(chǎng)份額。根據(jù)Yole數(shù)據(jù),在2020年半絕緣型碳化硅襯底市場(chǎng)中,貳陸公司(II-IV)、科銳公司(Cree)以及天岳先進(jìn)依次占據(jù)甲的位置,市場(chǎng)份額分別為35%、33%和30%,市場(chǎng)高度集中。從資金來(lái)看,國(guó)內(nèi)第三代半導(dǎo)體投資力度高企,力爭(zhēng)追趕國(guó)際廠商。根據(jù)CASA披露的數(shù)據(jù)顯示,2018年至今,國(guó)內(nèi)廠商始終加強(qiáng)布局第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè),2020年共有24筆投資擴(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目,增產(chǎn)投資金額超過(guò)694億元,其中碳化硅領(lǐng)域共17筆、投資550億元。廣州進(jìn)口6寸n型碳化硅襯底使用 碳化硅襯底的需要什么條件。

    碳化硅之所以引人注目,是因?yàn)樗且环N寬帶隙技術(shù)。與傳統(tǒng)的硅基器件相比,SiC的擊穿場(chǎng)強(qiáng)是硅基器件的10倍,導(dǎo)熱系數(shù)是硅基器件的3倍,非常適合于高壓應(yīng)用,如電源、太陽(yáng)能逆變器、火車和風(fēng)力渦輪機(jī)。在另一個(gè)應(yīng)用中,碳化硅用于制造LED。比較大的增長(zhǎng)機(jī)會(huì)是汽車,尤其是電動(dòng)汽車。基于SiC的功率半導(dǎo)體用于電動(dòng)汽車的車載充電裝置,而該技術(shù)正在該系統(tǒng)的關(guān)鍵部件牽引逆變器中取得進(jìn)展。牽引逆變器向電機(jī)提供牽引力以推進(jìn)車輛。對(duì)于這種應(yīng)用,特斯拉正在一些車型中使用碳化硅動(dòng)力裝置,而其他電動(dòng)汽車制造商正在評(píng)估這項(xiàng)技術(shù)?!碑?dāng)人們討論碳化硅功率器件時(shí),汽車市場(chǎng)無(wú)疑是焦點(diǎn)?!柏S田(Toyota)和特斯拉(Tesla)等先驅(qū)者的SiC活動(dòng)給市場(chǎng)帶來(lái)了很多興奮和噪音?!盨iCMOSFET在汽車市場(chǎng)上具有潛力。但也存在一些挑戰(zhàn),如成本、長(zhǎng)期可靠性和模塊設(shè)計(jì)。

碳化硅(SiC)又叫金剛砂,密度是3.2g/cm3,天然碳化硅非常罕見(jiàn),主要通過(guò)人工合成。按晶體結(jié)構(gòu)的不同分類,碳化硅可分為兩大類:αSiC和βSiC。在熱力學(xué)方面,碳化硅硬度在20℃時(shí)高達(dá)莫氏9.2-9.3,是硬的物質(zhì)之一,可以用于切割紅寶石;導(dǎo)熱率超過(guò)金屬銅,是Si的3倍、GaAs的8-10倍,且其熱穩(wěn)定性高,在常壓下不可能被熔化;在電化學(xué)方面,碳化硅具有寬禁帶、耐擊穿的特點(diǎn),其禁帶寬度是Si的3倍,擊穿電場(chǎng)為Si的10倍;且其耐腐蝕性極強(qiáng),在常溫下可以免疫目前已知的所有腐蝕劑。什么地方需要使用 碳化硅襯底。

碳化硅(SiC)由于其獨(dú)特的物理及電子特性,在一些應(yīng)用上成為比較好的半導(dǎo)體材料:短波長(zhǎng)光電元件,高溫,抗幅射以及高頻大功率元件,由于碳化硅的寬能級(jí),以其制成的電子元件可在極高溫下工作,可以抵受的電壓或電場(chǎng)八倍于硅或砷化鎵,特別適用于制造高壓大功率元件如高壓二極體。碳化硅是熱的良導(dǎo)體,導(dǎo)熱特性優(yōu)于任何其他半導(dǎo)體材料。碳化硅優(yōu)良的特性使其在工業(yè)和上有很大的應(yīng)用范圍。并且,為降低器件成本,下游產(chǎn)業(yè)對(duì)SiC單晶襯底提出了大尺寸的要求,目前國(guó)際市場(chǎng)上已有6英寸(150毫米)產(chǎn)品,預(yù)計(jì)市場(chǎng)份額將逐年增大。當(dāng)前世界上研發(fā)碳化硅器件的主要有美國(guó)、德國(guó)、瑞士、日本等國(guó)家,但直到現(xiàn)在碳化硅的工業(yè)應(yīng)用主要是作為磨料(金剛砂)使用。瑞士ABB曾經(jīng)一度成功開(kāi)發(fā)出碳化硅二極管,然而在2002年,由于工藝?yán)щy、前景不明,ABB終止了碳化硅項(xiàng)目,可見(jiàn)研發(fā)難度之大。半導(dǎo)體碳化硅襯底及芯片的重要戰(zhàn)略價(jià)值,使其始終穩(wěn)居美國(guó)商務(wù)部的禁運(yùn)名單,這也導(dǎo)致我國(guó)很難從國(guó)外獲得相應(yīng)產(chǎn)品。哪家的碳化硅襯底價(jià)格比較低?鄭州碳化硅襯底外延加工

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