碳化硅襯底材料是新的一代半導(dǎo)體材料，其應(yīng)用領(lǐng)域具有較強(qiáng)的戰(zhàn)略意義。中國(guó)正逐步成長(zhǎng)為全球?qū)捊麕О雽?dǎo)體材料生產(chǎn)的主要競(jìng)爭(zhēng)市場(chǎng)之一。碳化硅襯底短期內(nèi)依然會(huì)面臨制備難度大、成本高昂的挑戰(zhàn)，目前碳化硅功率器件的價(jià)格仍數(shù)倍于硅基器件，下游應(yīng)用領(lǐng)域仍需平衡碳化硅器件的高價(jià)格與因碳化硅器件的優(yōu)越性能帶來的綜合成本下降之間的關(guān)系。碳化硅半導(dǎo)體主要應(yīng)用于以5G通信、**、航空航天為的射頻領(lǐng)域和以新能源汽車、“新基建”為的電力電子領(lǐng)域，在民用、領(lǐng)域均具有明確且可觀的市場(chǎng)前景作者：見微數(shù)據(jù)鏈接：源：雪球著作權(quán)歸作者所有。商業(yè)轉(zhuǎn)載請(qǐng)聯(lián)系作者獲得授權(quán)，非商業(yè)轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明出處。風(fēng)險(xiǎn)提示：本文所提到的觀點(diǎn)只個(gè)人的意見，所涉及標(biāo)的不作推薦，據(jù)此買賣，風(fēng)險(xiǎn)自負(fù)。 口碑好的碳化硅襯底的公司聯(lián)系方式。杭州6寸碳化硅襯底

    那氮化鎵外延層為啥也要在碳化硅單晶襯底上長(zhǎng)呢？理論上講，氮化鎵外延層比較好當(dāng)然用本身氮化鎵的單晶襯底，不過在之前的文章中也有提到，氮化鎵的單晶實(shí)在是太難做了點(diǎn)，不僅反應(yīng)過程難以控制、長(zhǎng)得特別慢，而且面積較小、價(jià)格昂貴，商業(yè)化很是困難，而碳化硅和氮化鎵有著超過95%的晶格適配度，性能指標(biāo)遠(yuǎn)超其他襯底材料（如藍(lán)寶石、硅、砷化鎵等），因此碳化硅基氮化鎵外延片成為比較好選擇。綜上所述，很容易理解為何碳化硅在業(yè)內(nèi)會(huì)有“黃金賽道”這樣的美稱。對(duì)于碳化硅器件而言，其價(jià)值鏈可分為襯底—外延—晶圓—器件，其中襯底所占的成本比較高為50%——主要原因單晶生長(zhǎng)緩慢且品質(zhì)不夠穩(wěn)定，這也是早年時(shí)SiC沒能得到的推廣的主要原因。不過如今隨著技術(shù)缺陷不斷得到補(bǔ)足，碳化硅單晶襯底的成本正不斷下降，可預(yù)期未來會(huì)是“錢”景無限。以下是國(guó)內(nèi)部分碳化硅襯底供應(yīng)商名單。 青島碳化硅襯底進(jìn)口4寸sic蘇州質(zhì)量好的碳化硅襯底的公司。

    降低碳化硅襯底的成本的三個(gè)方法：1）做大尺寸：襯底的尺寸越大，邊緣的浪費(fèi)就越小，有利于進(jìn)一步降低芯片的成本。6英寸襯底面積為4英寸襯底的，相同的晶體制備時(shí)間內(nèi)襯底面積的倍數(shù)提升帶來襯底成本的大幅降低，與此同時(shí)，單片襯底上制備的芯片數(shù)量隨著襯底尺寸增大而增多，單位芯片的成本也即隨之降低。2）提高材料使用效率：由于技術(shù)限制，長(zhǎng)晶時(shí)間很難縮短，而單位時(shí)間內(nèi)長(zhǎng)晶越厚成本越低，因此可以設(shè)法增加晶錠厚度；另一方面，目前的切割工藝很容易造成浪費(fèi)，可以通過激光切割或其他技術(shù)手段減少切割損耗。3）提高良率：以山東天岳為例，碳化硅襯底產(chǎn)品良率逐年提升，綜合良率由30%提升至38%，國(guó)內(nèi)廠商良率情況普遍在40%左右，若能提升至60%-70%，碳化硅襯底生產(chǎn)成本將得到進(jìn)一步下降。

SiC電子器件是微電子器件領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)之一。SiC材料的擊穿電場(chǎng)有4MV/cm，很適合于制造高壓功率器件的有源層。而由于SiC襯底存在缺點(diǎn)等原因，將它直接用于器件制造時(shí)，性能不好。SiC襯底經(jīng)過外延之后，其表面缺點(diǎn)減少，晶格排列整齊，表面形貌良好，比襯底大為改觀，此時(shí)將其用于制造器件可以提高器件的性能。為了提高擊穿電壓，厚的外延層、好的表面形貌和較低的摻雜濃度是必需的。一些高壓雙極性器件，需外延膜的厚度超過50μm,摻雜濃度小于2×1015cm-3,載流子壽命大過1us。對(duì)于高反壓大功率器件，需要要在4H-SiC襯底上外延一層很厚的、低摻雜濃度的外延層。為了制作10KW的大功率器件，外延層厚度要達(dá)到100μm以上。高壓、大電流、高可靠性SiC電子器件的不斷發(fā)展對(duì)SiC外延薄膜提出了更多苛刻的要求，需要通過進(jìn)一步深入的研究提高厚外延生長(zhǎng)技術(shù)。碳化硅襯底的的性價(jià)比、質(zhì)量哪家比較好？

因此，對(duì)于牽引逆變器，從IGBT轉(zhuǎn)移到SiCMOSFET是有意義的。但這并不是那么簡(jiǎn)單，因?yàn)槌杀驹诘仁街衅鹬匾饔?。然而，特斯拉已?jīng)采取了冒險(xiǎn)行動(dòng)。該公司在其型號(hào)3中使用了意法半導(dǎo)體公司的SiCMOSFET，并補(bǔ)充說特斯拉也在使用其他供應(yīng)商。其他汽車制造商也在探索這項(xiàng)技術(shù)，盡管出于成本考慮，大多數(shù)原始設(shè)備制造商并未加入這一行列。不過，有幾種方法可以實(shí)現(xiàn)從IGBT到SiCMOSFET的切換。根據(jù)Rohm的說法，有兩種選擇：?將IGBT保留在系統(tǒng)中，但將硅二極管更換為SiC二極管。?用SiC基MOSFET和二極管替換硅基IGBT和二極管。碳化硅襯底的的參考價(jià)格大概是多少？浙江碳化硅襯底進(jìn)口6寸sic

哪家碳化硅襯底的質(zhì)量比較高？杭州6寸碳化硅襯底

SiC晶體的獲得早是用AchesonZ工藝將石英砂與C混合放入管式爐中2600℃反應(yīng)生成，這種方法只能得到尺寸很小的多晶SiC。至1955年，Lely用無籽晶升華法生長(zhǎng)出了針狀3C-SiC孿晶，由此奠定了SiC的發(fā)展基礎(chǔ)。20世紀(jì)80年代初Tairov等采用改進(jìn)的升華工藝生長(zhǎng)出SiC晶體，SiC作為一種實(shí)用半導(dǎo)體開始引起人們的研究興趣，國(guó)際上一些先進(jìn)國(guó)家和研究機(jī)構(gòu)都投入巨資進(jìn)行SiC研究。20世紀(jì)90年代初，Cree Research Inc用改進(jìn)的Lely法生長(zhǎng)6H-SiC晶片并實(shí)現(xiàn)商品化，并于1994年制備出4H-SiC晶片。這一突破性進(jìn)展立即掀起了SiC晶體及相關(guān)技術(shù)研究的熱潮。目前實(shí)現(xiàn)商業(yè)化的SiC晶片只有4H-和6H-型，且均采用PVD技術(shù)，以美國(guó)CreeResearch Inc為**。采用此法已逐步提高SiC晶體的質(zhì)量和直徑達(dá)7.5cm，目前晶圓直徑已超過10cm，比較大有用面積達(dá)到40mm2，微導(dǎo)管密度已下降到小于0.1/cm2。杭州6寸碳化硅襯底

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