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河北碳化硅襯底4寸導(dǎo)電

來源: 發(fā)布時(shí)間:2023-02-26

碳化硅襯底可分為兩類:一類是具有高電阻率(電阻率≥105Ω·cm)的半絕緣型碳化硅襯底,另一類是低電阻率(電阻率區(qū)間為15~30mΩ·cm)的導(dǎo)電型碳化硅襯底。國內(nèi)供需仍存缺口,有效產(chǎn)能不足。我國2020年碳化硅導(dǎo)電型襯底產(chǎn)能約40萬片/年(約當(dāng)4英寸)、外延片折合6英寸22萬片/年、器件26萬片/年;半絕緣型襯底折算4英寸產(chǎn)能近18萬片/年。受限于良率及技術(shù)影響,目前國內(nèi)實(shí)際項(xiàng)目投產(chǎn)較為有限,實(shí)際產(chǎn)能開出率較低。隨著新能源汽車、5G等下游應(yīng)用市場的快速起量,國內(nèi)現(xiàn)有產(chǎn)品供給無法滿足需求,目前第三代半導(dǎo)體主要環(huán)節(jié)國產(chǎn)化率仍然較低,超過80%的產(chǎn)品要靠進(jìn)口。質(zhì)量比較好的碳化硅襯底的公司找誰?河北碳化硅襯底4寸導(dǎo)電

現(xiàn)在,SiC材料正在大舉進(jìn)入功率半導(dǎo)體領(lǐng)域。一些**的半導(dǎo)體器件廠商,如羅姆(ROHM)株式會(huì)社、英飛凌科技公司、Cree、飛兆國際電子有限公司等都在開發(fā)自己的SiC功率器件。英飛凌科技公司在今年推出了第5代SiC肖特基勢壘二極管,它結(jié)合了第3代產(chǎn)品的低容性電荷(Qc)特性與第2代產(chǎn)品中的低正向電壓(Vf)特性,使PFC電路達(dá)到**高效率水平,擊穿電壓則達(dá)到了650V。飛兆半導(dǎo)體發(fā)布了SiCBJT,實(shí)現(xiàn)了1200V的耐壓,傳導(dǎo)和開關(guān)損耗相對于傳統(tǒng)的Si器件降低了30%~50%,從而能夠在相同尺寸的系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)高達(dá)40%的輸出功率提升。ROHM公司則推出了1200V的第2代SiC制MOSFET產(chǎn)品,實(shí)現(xiàn)了SiC-SBD與SiC-MOSFET的一體化封裝,與Si-IGBT相比,工作損耗降低了70%,并可達(dá)到50kHz以上的開關(guān)頻率。值得一提的是,IGBT的驅(qū)動(dòng)比較復(fù)雜,如果使用SiC基的MOSFET,則能使系統(tǒng)開發(fā)的難度大為降低。SiC的市場頗為看好,根據(jù)預(yù)測,到2022年,市場規(guī)模將達(dá)到40億美元,年平均復(fù)合增長率可達(dá)到45%進(jìn)口n型碳化硅襯底4寸碳化硅襯底應(yīng)用于什么樣的場合?

隨著下游新能源汽車、充電樁、光伏、5G基站等領(lǐng)域的爆發(fā),了對第三代半導(dǎo)體——碳化硅材料襯底、外延與器件方面的巨大市場需求,國內(nèi)眾多企業(yè)紛紛通過加強(qiáng)技術(shù)研發(fā)與資本投入布局碳化硅產(chǎn)業(yè),我們首先來探討一下碳化硅襯底的國產(chǎn)化進(jìn)程。碳化硅分為立方相(閃鋅礦結(jié)構(gòu))、六方相(纖鋅礦結(jié)構(gòu))和菱方相3大類共 260多種結(jié)構(gòu),目前只有六方相中的 4H-SiC、6H-SiC才有商業(yè)價(jià)值。另碳化硅根據(jù)電學(xué)性能的不同主要可分為高電阻(電阻率 ≥105Ω·cm)的半絕緣型碳化硅襯底和低電阻(電阻率區(qū)間為 15~30mΩ·cm)的導(dǎo)電型碳化硅襯底,滿足不同功能芯片需求

    隨著全球電子信息及太陽能光伏產(chǎn)業(yè)對硅晶片需求量的快速增長,硅晶片線切割用碳化硅微粉的需求量也正在迅速增加。以碳化硅(SiC)及GaN為**的寬禁帶材料,是繼Si和GaAs之后的第三代半導(dǎo)體。與Si及GaAs相比,SiC具有寬禁帶、高熱導(dǎo)率、高擊穿場強(qiáng)、高飽和電子漂移速率、化學(xué)性能穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)。所以,SiC特別適合于制造高溫、高頻、高功率、抗輻射、抗腐蝕的電子器件。此外,六方SiC與GaN晶格和熱膨脹相匹配,也是制造高亮度GaN發(fā)光和激光二極管的理想襯底材料。SiC晶體目前主要應(yīng)用于光電器件如藍(lán)綠光發(fā)光二極管以及紫外光激光二極管和功率器件包括大功率肖托基二極管,MES晶體管微波器件等。如何挑選一款適合自己的碳化硅襯底?

    SiC有多種同質(zhì)多型體,不同的同質(zhì)多型體有不同的應(yīng)用范圍。典型的有3C-SiC、4H-SiC和6H-SiC,它們各有不同的應(yīng)用范圍。其中,3C-SiC是***具有閃鋅礦結(jié)構(gòu)的同質(zhì)多型體,其電子遷移率比較高,再加上有高熱導(dǎo)率和高臨界擊穿電場,非常適合于制造高溫大功率的高速器件;6H-SiC具有寬的帶隙,在高溫電子、光電子和抗輻射電子等方面有使用價(jià)值,使用6H-SiC制造的高頻大功率器件,工作溫度高,功率密度有極大的提升;而4H-SiC具有比6H-SiC更寬的帶隙和較高的電子遷移率,是大功率器件材料的比較好選擇。由于SiC器件在**和民用領(lǐng)域不可替代的地位,世界上很多國家對SiC半導(dǎo)體材料和器件的研究都很重視。美國的**寬禁帶半導(dǎo)體計(jì)劃、歐洲的ESCAPEE計(jì)劃和日本的國家硬電子計(jì)劃等,紛紛對SiC半導(dǎo)體材料晶體制備和外延及器件投入巨資進(jìn)行研究。 蘇州性價(jià)比較好的碳化硅襯底的公司聯(lián)系電話。成都碳化硅襯底進(jìn)口6寸led

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碳化硅襯底主要有導(dǎo)電型及半絕緣型兩種。其中,在導(dǎo)電型碳化硅襯底上生長碳化硅外延層制得碳化硅外延片,可進(jìn)一步制成碳化硅功率器件,應(yīng)用于新能源汽車、光伏發(fā)電、軌道交通、智能電網(wǎng)、航空航天等領(lǐng)域;在半絕緣型碳化硅襯底上生長氮化鎵外延層可以制得碳化硅基氮化鎵外延片,可進(jìn)一步制成微波射頻器件,應(yīng)用于5G通訊、雷達(dá)等領(lǐng)域。中國碳化硅襯底領(lǐng)域的研究從20世紀(jì)90年代末開始,在行業(yè)發(fā)展初期受到技術(shù)水平、設(shè)備規(guī)模產(chǎn)能的限制,未能進(jìn)入工業(yè)化生產(chǎn)。21世紀(jì),中國企業(yè)歷經(jīng)20年的研發(fā)與摸索,已經(jīng)掌握了2-6英寸碳化硅襯底的生產(chǎn)加工技術(shù)。河北碳化硅襯底4寸導(dǎo)電

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