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來源: 發(fā)布時間:2023-03-18

碳化硅SiC的應(yīng)用前景  由于SiC具有上述眾多優(yōu)異的物理化學(xué)性質(zhì),不僅能夠作為一種良好的高溫結(jié)構(gòu)材料,也是一種理想的高溫半導(dǎo)體材料。近20年,伴隨薄膜制備技術(shù)的高速發(fā)展,SiC薄膜已經(jīng)被***應(yīng)用于保護涂層、光致發(fā)光、場效應(yīng)晶體管、薄膜發(fā)光二極管以及非晶Si太陽能電池的窗口材料等。另外,作為結(jié)構(gòu)材料的SiC薄膜還被認(rèn)為是核聚變堆中比較好的防護材料,在不銹鋼基體上沉積一層SiC薄膜,可以**地降低氚的滲透率,并保持聚變反應(yīng)的穩(wěn)定性??偨Y(jié)起來,SiC具有以下幾個方面的應(yīng)用:(1)高的硬度與熱穩(wěn)定性,可用于***涂層;(2)穩(wěn)定的結(jié)構(gòu),在核反應(yīng)技術(shù)中用作核聚變堆等離子體的面對材料:(3)大的禁帶寬度,可作為光的短波長區(qū)域發(fā)光材料。例如,3C-SiC的Eg=2.2eV,6H-SiC的Eg=2.9eV可分別用作綠色、藍(lán)色LED材料,目前SiC藍(lán)光LED已經(jīng)商品化;(4)高的熱導(dǎo)率,可作為超大規(guī)模集成電路和特大規(guī)模集成電路的熱沉材料蘇州哪家公司的碳化硅襯底的價格比較劃算?杭州碳化硅襯底led

SiC材料具有良好的電學(xué)特性和力學(xué)特性,是一種非常理想的可適應(yīng)諸多惡劣環(huán)境的半導(dǎo)體材料。它禁帶寬度較大,具有熱傳導(dǎo)率高、耐高溫、抗腐蝕、化學(xué)穩(wěn)定性高等特點,以其作為器件結(jié)構(gòu)材料,可以得到耐高溫、耐高壓和抗腐蝕的SiC-MEMS器件,具有廣闊的市場和應(yīng)用前景。同時SiC陶瓷具有高溫強度大、抗氧化性強、耐磨損性好、熱穩(wěn)定性佳、熱膨脹系數(shù)小、熱導(dǎo)率大、硬度高以及抗熱震和耐化學(xué)腐蝕等優(yōu)良特性。因此,是當(dāng)前**有前途的結(jié)構(gòu)陶瓷之一,并且已在許多高技術(shù)領(lǐng)域(如空間技術(shù)、核物理等)及基礎(chǔ)產(chǎn)業(yè)(如石油化工、機械、車輛、造船等)得到應(yīng)用,用作精密軸承、密封件、氣輪機轉(zhuǎn)子、噴嘴、熱交換器部件及原子核反應(yīng)堆材料等。如利用多層多晶碳化硅表面微機械工藝制作的微型電動機,可以在490℃以上的高溫環(huán)境下穩(wěn)定工作。但是SiC體單晶須在高溫下生長,摻雜難于控制,晶體中存在缺點,特別是微管道缺點無法消除,而且SiC體單晶非常昂貴,因此發(fā)展低溫制備SiC薄膜技術(shù)對于SiC器件的實際應(yīng)用有重大意義。蘇州碳化硅襯底4寸n型碳化硅襯底的發(fā)展趨勢如何。

全球碳化硅襯底企業(yè)主要有CREE、II-VI、SiCrystal,國際企業(yè)相比國內(nèi)企業(yè)由于起步早,在產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗、技術(shù)成熟度、產(chǎn)能規(guī)模等方面具備優(yōu)勢,搶占了全球碳化硅襯底絕大部分的市場份額。隨著下游終端市場,新能源汽車、光伏、5G基站等領(lǐng)域的快速增長,為上游碳化硅襯底提供了巨大的市場活力,國內(nèi)以山東天岳、天科合達(dá)、爍科晶體等為的企業(yè)紛紛跑馬圈地碳化硅襯底市場,通過加強技術(shù)研發(fā)與資本投入,逐漸掌握了4英寸至6英寸,甚至8英寸的碳化硅襯造技術(shù),縮小了與國際之間技術(shù)與產(chǎn)能方面的差距。

設(shè)備制造商之間的一場大戰(zhàn)正在牽引逆變器領(lǐng)域展開,尤其是純電池電動汽車。一般來說,混合動力車正朝著48伏電池的方向發(fā)展。對于動力發(fā)明家來說,SiC對于混合動力車來說通常太貴了,盡管有例外。與混合動力一樣,純電池電動汽車由牽引逆變器組成。高壓母線將逆變器連接到蓄電池和電機。電池為汽車提供能量。驅(qū)動車輛的電機有三個接頭或電線。這三個連接延伸至牽引逆變器,然后連接至逆變器模塊內(nèi)的六個開關(guān)。每個開關(guān)實際上都是一個功率半導(dǎo)體,在系統(tǒng)中用作電開關(guān)。對于開關(guān),現(xiàn)有的技術(shù)是IGBT。因此,牽引逆變器可能由六個額定電壓為1200伏的IGBT組成。哪家碳化硅襯底的質(zhì)量比較好。

SiC電子器件是微電子器件領(lǐng)域的研究熱點之一。SiC材料的擊穿電場有4MV/cm,很適合于制造高壓功率器件的有源層。而由于SiC襯底存在缺點等原因,將它直接用于器件制造時,性能不好。SiC襯底經(jīng)過外延之后,其表面缺點減少,晶格排列整齊,表面形貌良好,比襯底大為改觀,此時將其用于制造器件可以提高器件的性能。為了提高擊穿電壓,厚的外延層、好的表面形貌和較低的摻雜濃度是必需的。一些高壓雙極性器件,需外延膜的厚度超過50μm,摻雜濃度小于2×1015cm-3,載流子壽命大過1us。對于高反壓大功率器件,需要要在4H-SiC襯底上外延一層很厚的、低摻雜濃度的外延層。為了制作10KW的大功率器件,外延層厚度要達(dá)到100μm以上。高壓、大電流、高可靠性SiC電子器件的不斷發(fā)展對SiC外延薄膜提出了更多苛刻的要求,需要通過進(jìn)一步深入的研究提高厚外延生長技術(shù)。蘇州哪家公司的碳化硅襯底的口碑比較好?鄭州進(jìn)口4寸sic碳化硅襯底

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碳化硅半導(dǎo)體廣泛應(yīng)用于制造領(lǐng)域!眾所周知,碳化硅半導(dǎo)體功率器件可以應(yīng)用在新能源領(lǐng)域?!艾F(xiàn)在我們新能源汽車所用的電可能還有煤電,未來光伏發(fā)電就會占有更多比重,甚至全部使用光伏發(fā)電?!敝锌圃涸菏繗W陽明高曾在一次討論會上這樣說過,光伏需要新能源汽車來消費儲能,而新能源汽車也需要完全的可再生能源。下一步兩者的結(jié)合將形成新的增長點。在歐陽院士提到的三種主要應(yīng)用“光伏逆變器+儲能裝置+新能源汽車”中,碳化硅(SiC)MOSFET功率器件都是不可或缺的重要半導(dǎo)體器件。杭州碳化硅襯底led

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