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現(xiàn)在,SiC材料正在大舉進(jìn)入功率半導(dǎo)體領(lǐng)域。一些**的半導(dǎo)體器件廠商,如羅姆(ROHM)株式會社、英飛凌科技公司、Cree、飛兆國際電子有限公司等都在開發(fā)自己的SiC功率器件。英飛凌科技公司在今年推出了第5代SiC肖特基勢壘二極管,它結(jié)合了第3代產(chǎn)品的低容性電荷(Qc)特性與第2代產(chǎn)品中的低正向電壓(Vf)特性,使PFC電路達(dá)到**高效率水平,擊穿電壓則達(dá)到了650V。飛兆半導(dǎo)體發(fā)布了SiCBJT,實現(xiàn)了1200V的耐壓,傳導(dǎo)和開關(guān)損耗相對于傳統(tǒng)的Si器件降低了30%~50%,從而能夠在相同尺寸的系統(tǒng)中實現(xiàn)高達(dá)40%的輸出功率提升。ROHM公司則推出了1200V的第2代SiC制MOSFET產(chǎn)品,實現(xiàn)了SiC-SBD與SiC-MOSFET的一體化封裝,與Si-IGBT相比,工作損耗降低了70%,并可達(dá)到50kHz以上的開關(guān)頻率。值得一提的是,IGBT的驅(qū)動比較復(fù)雜,如果使用SiC基的MOSFET,則能使系統(tǒng)開發(fā)的難度大為降低。SiC的市場頗為看好,根據(jù)預(yù)測,到2022年,市場規(guī)模將達(dá)到40億美元,年平均復(fù)合增長率可達(dá)到45%哪家碳化硅襯底的質(zhì)量比較好。四川進(jìn)口4寸led碳化硅襯底
碳化硅(SiC)又叫金剛砂,密度是3.2g/cm3,天然碳化硅非常罕見,主要通過人工合成。按晶體結(jié)構(gòu)的不同分類,碳化硅可分為兩大類:αSiC和βSiC。在熱力學(xué)方面,碳化硅硬度在20℃時高達(dá)莫氏9.2-9.3,是硬的物質(zhì)之一,可以用于切割紅寶石;導(dǎo)熱率超過金屬銅,是Si的3倍、GaAs的8-10倍,且其熱穩(wěn)定性高,在常壓下不可能被熔化;在電化學(xué)方面,碳化硅具有寬禁帶、耐擊穿的特點,其禁帶寬度是Si的3倍,擊穿電場為Si的10倍;且其耐腐蝕性極強,在常溫下可以免疫目前已知的所有腐蝕劑。青島進(jìn)口半絕緣碳化硅襯底哪家碳化硅襯底的是口碑推薦?
因此,對于牽引逆變器,從IGBT轉(zhuǎn)移到SiCMOSFET是有意義的。但這并不是那么簡單,因為成本在等式中起著重要作用。然而,特斯拉已經(jīng)采取了冒險行動。該公司在其型號3中使用了意法半導(dǎo)體公司的SiCMOSFET,并補充說特斯拉也在使用其他供應(yīng)商。其他汽車制造商也在探索這項技術(shù),盡管出于成本考慮,大多數(shù)原始設(shè)備制造商并未加入這一行列。不過,有幾種方法可以實現(xiàn)從IGBT到SiCMOSFET的切換。根據(jù)Rohm的說法,有兩種選擇:?將IGBT保留在系統(tǒng)中,但將硅二極管更換為SiC二極管。?用SiC基MOSFET和二極管替換硅基IGBT和二極管。
不同的SiC多型體在半導(dǎo)體特性方面表現(xiàn)出各自的特性。利用SiC的這一特點可以制作SiC不同多型體間晶格完全匹配的異質(zhì)復(fù)合結(jié)構(gòu)和超晶格,從而獲得性能較好的器件.其中6H-SiC結(jié)構(gòu)為穩(wěn)定,適用于制造光電子器件:p-SiC比6H-SiC活潑,其電子遷移率比較高,飽和電子漂移速度快,擊穿電場強,較適宜于制造高溫、大功率、高頻器件,及其它薄膜材料(如A1N、GaN、金剛石等)的襯底和X射線的掩膜等。而且,β-SiC薄膜能在同屬立方晶系的Si襯底上生長,而Si襯底由于其面積大、質(zhì)量高、價格低,可與Si的平面工藝相兼容,所以后續(xù)PECVD制備的SiC薄膜主要是β-SiC薄膜蘇州好的碳化硅襯底的公司。
設(shè)備制造商之間的一場大戰(zhàn)正在牽引逆變器領(lǐng)域展開,尤其是純電池電動汽車。一般來說,混合動力車正朝著48伏電池的方向發(fā)展。對于動力發(fā)明家來說,SiC對于混合動力車來說通常太貴了,盡管有例外。與混合動力一樣,純電池電動汽車由牽引逆變器組成。高壓母線將逆變器連接到蓄電池和電機。電池為汽車提供能量。驅(qū)動車輛的電機有三個接頭或電線。這三個連接延伸至牽引逆變器,然后連接至逆變器模塊內(nèi)的六個開關(guān)。每個開關(guān)實際上都是一個功率半導(dǎo)體,在系統(tǒng)中用作電開關(guān)。對于開關(guān),現(xiàn)有的技術(shù)是IGBT。因此,牽引逆變器可能由六個額定電壓為1200伏的IGBT組成。如何正確使用碳化硅襯底的。四川進(jìn)口4寸led碳化硅襯底
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SiC材料具有良好的電學(xué)特性和力學(xué)特性,是一種非常理想的可適應(yīng)諸多惡劣環(huán)境的半導(dǎo)體材料。它禁帶寬度較大,具有熱傳導(dǎo)率高、耐高溫、抗腐蝕、化學(xué)穩(wěn)定性高等特點,以其作為器件結(jié)構(gòu)材料,可以得到耐高溫、耐高壓和抗腐蝕的SiC-MEMS器件,具有廣闊的市場和應(yīng)用前景。同時SiC陶瓷具有高溫強度大、抗氧化性強、耐磨損性好、熱穩(wěn)定性佳、熱膨脹系數(shù)小、熱導(dǎo)率大、硬度高以及抗熱震和耐化學(xué)腐蝕等優(yōu)良特性。因此,是當(dāng)前**有前途的結(jié)構(gòu)陶瓷之一,并且已在許多高技術(shù)領(lǐng)域(如空間技術(shù)、核物理等)及基礎(chǔ)產(chǎn)業(yè)(如石油化工、機械、車輛、造船等)得到應(yīng)用,用作精密軸承、密封件、氣輪機轉(zhuǎn)子、噴嘴、熱交換器部件及原子核反應(yīng)堆材料等。如利用多層多晶碳化硅表面微機械工藝制作的微型電動機,可以在490℃以上的高溫環(huán)境下穩(wěn)定工作。但是SiC體單晶須在高溫下生長,摻雜難于控制,晶體中存在缺點,特別是微管道缺點無法消除,而且SiC體單晶非常昂貴,因此發(fā)展低溫制備SiC薄膜技術(shù)對于SiC器件的實際應(yīng)用有重大意義。四川進(jìn)口4寸led碳化硅襯底
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