電子探針X射線顯微分析儀(簡(jiǎn)稱電子探針)利用約1Pm的細(xì)焦電子束,在樣品表層微區(qū)內(nèi)激發(fā)元素的特征X射線,根據(jù)特征X射線的波長(zhǎng)和強(qiáng)度,進(jìn)行微區(qū)化學(xué)成分定性或定量分析。電子探針的光學(xué)系統(tǒng)、真空系統(tǒng)等部分與掃描電鏡基本相同,通常也配有二次電子和背散射電子信號(hào)檢測(cè)器,同時(shí)兼有組織形貌和微區(qū)成分分析兩方面的功能。電子探針的構(gòu)成除了與掃描電鏡結(jié)構(gòu)相似的主機(jī)系統(tǒng)以外,還主要包括分光系統(tǒng)、檢測(cè)系統(tǒng)等部分。電子探針主要由電子光學(xué)系統(tǒng)(鏡筒),X射線譜儀和信息記錄顯示系統(tǒng)組成。電子探針和掃描電鏡在電子光學(xué)系統(tǒng)的構(gòu)造基本相同,它們常常組合成單一的儀器。波譜儀的關(guān)鍵在于怎樣實(shí)現(xiàn)將未知的特征譜線與已知元素Z聯(lián)系起來?嘉定區(qū)質(zhì)量探針按需定制
(3)X射線強(qiáng)度測(cè)量系統(tǒng)。特征X射線,由B系統(tǒng)中的計(jì)數(shù)管接收,并轉(zhuǎn)換成電脈沖,通過脈沖高度分析儀、計(jì)數(shù)率計(jì)、定標(biāo)器、電子電位計(jì)將其強(qiáng)度測(cè)量出來。(4)光學(xué)顯微鏡目測(cè)系統(tǒng)。用以準(zhǔn)確選擇需要分析的區(qū)域,并作光學(xué)觀察。(5)背散射電子圖像系統(tǒng)。(6)吸收電子圖像系統(tǒng)。(7)特征X射線圖像系統(tǒng)。電子探針的技術(shù)**是利用X射線晶體光學(xué),主要應(yīng)用兩種方法:1)晶體衍射法(X射線光譜法)。利用晶體轉(zhuǎn)到一定角度,來衍射某種波長(zhǎng)的X射線,通過讀出晶體不同的衍射角,求出X射線的波長(zhǎng),從而定出樣品所含的元素。青浦區(qū)優(yōu)勢(shì)探針推薦貨源探針卡是一種測(cè)試接口,主要對(duì)裸芯進(jìn)行測(cè)試,通過連接測(cè)試機(jī)和芯片,通過傳輸信號(hào)對(duì)芯片參數(shù)進(jìn)行測(cè)試.。
電子探針分析是指以聚焦的高速電子來激發(fā)出試樣表面組成元素的特征X射線,對(duì)微區(qū)成分進(jìn)行定性或定量分析的一種材料物理試驗(yàn),又稱電子探針X射線顯微分析。電子探針分析的原理是:以動(dòng)能為10~30千電子伏的細(xì)聚焦電子束轟擊試樣表面,擊出表面組成元素的原子內(nèi)層電子,使原子電離,此時(shí)外層電子迅速填補(bǔ)空位而釋放能量,從而產(chǎn)生特征X射線。電子探針的功能主要是進(jìn)行微區(qū)成分分析。它是在電子光學(xué)和X射線光譜學(xué)原理的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的一種高效率分析儀器。其原理是用細(xì)聚焦電子束入射樣品表面,激發(fā)出樣品元素的特征x射線,分析特征X射線的波長(zhǎng)(或特征能量)即可知道樣品中所含元素的種類(定性分析),分析X射線的強(qiáng)度,則可知道樣品中對(duì)應(yīng)元素含量的多少(定量分析)。
2.界面探針(Interface Probes)非標(biāo)準(zhǔn)的探針,一般是為少數(shù)做大型測(cè)試機(jī)臺(tái)的客戶定做的,例如泰瑞達(dá)(Teradyne)和安捷倫(Agilent).用于測(cè)試機(jī)臺(tái)與測(cè)試夾具的接觸點(diǎn)和面.3.微型探針(MicroSeries Probes)兩個(gè)測(cè)試點(diǎn)中心間距一般為0.25mm至0.76mm.4.開關(guān)探針(Switch Probes)開關(guān)探針單獨(dú)一支探針有兩路電流.5.高頻探針(Coaxial Probes)用于測(cè)試高頻信號(hào),有帶屏蔽圈的可測(cè)試10GHz以內(nèi)的和500MHz不帶屏蔽圈的.6.旋轉(zhuǎn)探針(Rotator Probes)彈力一般不高,因?yàn)槠浯┩感员緛砭秃軓?qiáng),一般用于OSP處理過的PCBA測(cè)試.計(jì)算時(shí)應(yīng)用布拉格方程:nλ=2dsinθ。
血凝素與生物素有非常高的親和性,當(dāng)血凝素標(biāo)記上過氧化物酶或堿性磷酸酶,經(jīng)雜交反應(yīng)**終形成探針-生物素-血凝素酶復(fù)合物(ABC法),酶催化底物顯色,觀察結(jié)果。ABC法底物顯色生成不溶物,以便觀測(cè)結(jié)果。酶標(biāo)記法復(fù)雜、重復(fù)性差,成本高,但便于運(yùn)輸、保存,靈敏度與放射物標(biāo)記法相當(dāng)。探針標(biāo)記方法①缺口平移標(biāo)記法。利用的是DNA聚合酶I能修復(fù)DNA鏈的功能。該法先由DNaseI在DNA雙鏈上隨機(jī)切出切口,然后DNA聚合酶I沿缺口水解5´端核苷酸,同時(shí)在3´端修復(fù)加入被標(biāo)記核苷酸,切口平行推移。缺口平移法快速、簡(jiǎn)便、成本相對(duì)較低、比活性相對(duì)較高、標(biāo)記均勻,多用于大分子DNA標(biāo)記,(>1000bp比較好),但單鏈DNA、RNA不能用該法標(biāo)記。近年來半導(dǎo)體制程技術(shù)突飛猛進(jìn),超前摩爾定律預(yù)估法則好幾年,現(xiàn)階段已向7奈米以下挺進(jìn)。嘉定區(qū)質(zhì)量探針按需定制
電子探針又稱微區(qū)X射線光譜分析儀、X射線顯微分析儀。嘉定區(qū)質(zhì)量探針按需定制
該系統(tǒng)為電子探針分析提供具有足夠高的入射能量,足夠大的束流和在樣品表面轟擊殿處束斑直徑近可能小的電子束,作為X射線的激發(fā)源。為此,一般也采用鎢絲熱發(fā)射電子槍和2-3個(gè)聚光鏡的結(jié)構(gòu)。 為了提高X射線的信號(hào)強(qiáng)度,電子探針必須采用較掃描電鏡更高的入射電子束流(在10-9-10-7A范圍),常用的加速電壓為10-30 KV,束斑直徑約為0.5μm。電子探針在鏡筒部分與掃描電鏡明顯不同之處是由光學(xué)顯微鏡。它的作用是選擇和確定分析點(diǎn)。其方法是,先利用能發(fā)出熒光的材料(如ZrO2)置于電子束轟擊下,這是就能觀察到電子束轟擊點(diǎn)的位置,通過樣品移動(dòng)裝置把它調(diào)到光學(xué)顯微鏡目鏡十字線交叉點(diǎn)上,這樣就能保證電子束正好轟擊在分析點(diǎn)上,同時(shí)也保證了分析點(diǎn)處于X射線分光譜儀的正確位置上。在電子探針上大多使用的光學(xué)顯微鏡是同軸反射式物鏡,其優(yōu)點(diǎn)是光學(xué)觀察和X射線分析可同時(shí)進(jìn)行。放大倍數(shù)為100-500倍。嘉定區(qū)質(zhì)量探針按需定制
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