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成都負性光刻膠工廠

來源: 發(fā)布時間:2025-04-18

公司遵循國際質量管理標準,通過 ISO9001:2008 認證,并在生產過程中執(zhí)行 8S 現場管理,從原料入庫到成品出庫實現全流程監(jiān)控。以錫膏產品為例,其無鹵無鉛配方符合環(huán)保要求,同時具備低飛濺、高潤濕性等特點,適用于電子產品組裝。此外,公司建立了行業(yè)標準化實驗室,配備先進檢測設備,確保產品性能達到國際同類水平。

憑借多年研發(fā)積累,公司形成了覆蓋光刻膠、焊接材料、電子膠等領域的豐富產品線。在焊接材料方面,不僅提供常規(guī)錫膏、助焊膏,還針對特殊場景開發(fā)了 BGA 助焊膏、針筒錫膏等定制化產品,滿足精密電子組裝的多樣化需求。同時,感光膠系列產品分為水性與油性兩類,兼具耐潮性與易操作性,廣泛應用于印刷電路板制造。
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國際標準與客戶認證
公司通過ISO9001、ISO14001等認證,并嚴格執(zhí)行8S現場管理,生產環(huán)境潔凈度達Class 10級。其光刻膠產品已通過京東方、TCL華星的供應商認證,在顯示面板領域的市占率約5%,成為本土企業(yè)中少數能與日本JSR、德國默克競爭的廠商。

全流程可追溯體系
吉田半導體建立了從原材料入庫到成品出庫的全流程追溯系統(tǒng),關鍵批次數據(如樹脂分子量分布、光敏劑純度)實時上傳云端,確保產品一致性和可追溯性。這一體系使其在車規(guī)級芯片等對可靠性要求極高的領域獲得突破,2023年車用光刻膠銷售額同比增長120%。
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 差異化競爭策略
高級市場(如ArF浸沒式光刻膠),吉田半導體采取跟隨式創(chuàng)新,通過優(yōu)化現有配方(如提高酸擴散抑制效率)逐步縮小與國際巨頭的差距;在中低端市場(如PCB光刻膠),則憑借性價比優(yōu)勢(價格較進口產品低20%-30%)快速搶占份額,2023年PCB光刻膠市占率突破10%。

 前沿技術儲備
公司設立納米材料研發(fā)中心,重點攻關分子玻璃光刻膠和金屬有機框架(MOF)光刻膠,目標在5年內實現EUV光刻膠的實驗室級突破。此外,其納米壓印光刻膠已應用于3D NAND存儲芯片的孔陣列加工,分辨率達10nm,為國產存儲廠商提供了替代方案。

國家戰(zhàn)略支持
《國家集成電路產業(yè)投資基金三期規(guī)劃》將光刻膠列為重點投資領域,計劃投入超500億元支持研發(fā)。工信部對通過驗證的企業(yè)給予稅收減免和設備采購補貼,單家企業(yè)比較高補貼可達研發(fā)投入的30%。

 地方產業(yè)協同
濟南設立寬禁帶半導體產業(yè)專項基金,深圳國際半導體光刻膠產業(yè)展覽會(2025年4月)吸引全球300余家企業(yè)參展,推動技術交流。

 資本助力產能擴張
恒坤新材通過科創(chuàng)板IPO募資15億元,擴大KrF光刻膠產能并布局集成電路前驅體項目。彤程新材半導體光刻膠業(yè)務2024年上半年營收增長54.43%,ArF光刻膠開始形成銷售。
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工藝流程

? 目的:去除基板表面油污、顆粒,增強感光膠附著力。

? 方法:

? 化學清洗(硫酸/雙氧水、去離子水);

? 表面處理(硅基板用六甲基二硅氮烷HMDS疏水化,PCB基板用粗化處理)。

 涂布(Coating)

? 方式:

? 旋涂:半導體/顯示領域,厚度控制精確(納米至微米級),轉速500-5000rpm;

? 噴涂/輥涂:PCB/MEMS領域,適合大面積或厚膠(微米至百微米級,如負性膠可達100μm)。

? 關鍵參數:膠液黏度、涂布速度、基板溫度(影響厚度均勻性)。

 前烘(Soft Bake)

? 目的:揮發(fā)溶劑,固化膠膜,增強附著力和穩(wěn)定性。

? 條件:

? 溫度:60-120℃(正性膠通常更低,如90℃;負性膠可至100℃以上);

? 時間:5-30分鐘(根據膠厚調整,厚膠需更長時間)。

 曝光(Exposure)

? 光源:

? 紫外光(UV):G線(436nm)、I線(365nm)用于傳統(tǒng)光刻(分辨率≥1μm);

? 深紫外(DUV):248nm(KrF)、193nm(ArF)用于半導體先進制程(分辨率至20nm);

? 極紫外(EUV):13.5nm,用于7nm以下制程(只能正性膠適用)。

? 曝光方式:

? 接觸式/接近式:掩膜版與膠膜直接接觸(PCB、MEMS,低成本但精度低);

? 投影式:通過物鏡聚焦(半導體,分辨率高,如ArF光刻機精度達22nm)。

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國產替代進程加速
日本信越化學因地震導致KrF光刻膠產能受限后,國內企業(yè)加速驗證本土產品。鼎龍股份潛江工廠的KrF/ArF產線2024年12月獲兩家大廠百萬大單,二期300噸生產線在建。武漢太紫微的T150A光刻膠性能參數接近日本UV1610,已通過中芯國際14nm工藝驗證。預計到2025年,國內KrF/ArF光刻膠國產化率將從不足5%提升至10%。

 原材料國產化突破
光刻膠樹脂占成本50%-60%,八億時空的光刻膠樹脂產線預計2025年實現百噸級量產,其產品純度達到99.999%,金屬雜質含量低于1ppb。怡達股份作為全球電子級PM溶劑前段(市占率超40%),與南大光電合作開發(fā)配套溶劑,打破了日本關東化學的壟斷。這些進展使光刻膠生產成本降低約20%。

 供應鏈風險緩解
合肥海關通過“空中專線”保障光刻膠運輸,將進口周期從28天縮短至17天,碳排放減少18%。國內在建12座光刻膠工廠(占全球總數58%),預計2025年產能達3000噸/年,較2023年增長150%。
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