關(guān)鍵工藝流程
涂布:
? 在晶圓/基板表面旋涂光刻膠,厚度控制在0.1-5μm(依制程精度調(diào)整),需均勻無(wú)氣泡(旋涂轉(zhuǎn)速500-5000rpm)。
前烘(Soft Bake):
? 加熱(80-120℃)去除溶劑,固化膠膜,增強(qiáng)附著力(避免顯影時(shí)邊緣剝離)。
曝光:
? 光源匹配:
? G/I線(xiàn)膠:汞燈(適用于≥1μm線(xiàn)寬,如PCB、LCD)。
? DUV膠(248nm/193nm):KrF/ArF準(zhǔn)分子激光(用于28nm-14nm制程,如存儲(chǔ)芯片)。
? EUV膠(13.5nm):極紫外光源(用于7nm以下制程,需控制納米級(jí)缺陷)。
? 曝光能量:需精確控制(如ArF膠約50mJ/cm2),避免過(guò)曝或欠曝導(dǎo)致圖案失真。
顯影:
? 采用堿性溶液(如0.262N四甲基氫氧化銨,TMAH),曝光區(qū)域膠膜溶解,未曝光區(qū)域保留,形成三維立體圖案。
后烘(Post-Exposure Bake, PEB):
? 化學(xué)增幅型膠需此步驟,通過(guò)加熱(90-130℃)激發(fā)光酸催化反應(yīng),提高分辨率和耐蝕刻性。
光刻膠解決方案找吉田,ISO 認(rèn)證 +8S 管理,良率達(dá) 98%!廣西制版光刻膠生產(chǎn)廠(chǎng)家
廣東吉田半導(dǎo)體材料有限公司多種光刻膠產(chǎn)品,主要涵蓋厚板、負(fù)性、正性、納米壓印及光刻膠等類(lèi)別,以滿(mǎn)足不同領(lǐng)域的需求。
厚板光刻膠:JT-3001 型號(hào),具有優(yōu)異的分辨率和感光度,抗深蝕刻性能良好,符合歐盟 ROHS 標(biāo)準(zhǔn),保質(zhì)期 1 年。適用于對(duì)精度和抗蝕刻要求高的厚板光刻工藝,如特定電路板制造。
負(fù)性光刻膠
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SU-3 負(fù)性光刻膠:分辨率優(yōu)異,對(duì)比度良好,曝光靈敏度高,光源適應(yīng),重量 100g。常用于對(duì)曝光精度和光源適應(yīng)性要求較高的微納加工、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域。
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負(fù)性光刻膠 JT-1000:有 1L 和 100g 兩種規(guī)格,具有優(yōu)異的分辨率、良好的對(duì)比度和高曝光靈敏度,光源適應(yīng)。主要應(yīng)用于對(duì)光刻精度要求高的領(lǐng)域,如半導(dǎo)體器件制造。
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耐腐蝕負(fù)性光刻膠 JT-NF100:重量 1L,具備耐腐蝕特性。適用于有腐蝕風(fēng)險(xiǎn)的光刻工藝,如特殊環(huán)境下的半導(dǎo)體加工或電路板制造。
深圳正性光刻膠供應(yīng)商松山湖企業(yè)深耕光刻膠領(lǐng)域二十載,提供全系列半導(dǎo)體材料解決方案。
憑借多年研發(fā)積累,公司形成了覆蓋光刻膠、焊接材料、電子膠等領(lǐng)域的豐富產(chǎn)品線(xiàn)。在焊接材料方面,不僅提供常規(guī)錫膏、助焊膏,還針對(duì)特殊場(chǎng)景開(kāi)發(fā)了 BGA 助焊膏、針筒錫膏等定制化產(chǎn)品,滿(mǎn)足精密電子組裝的多樣化需求。同時(shí),感光膠系列產(chǎn)品分為水性與油性?xún)深?lèi),兼具耐潮性與易操作性,廣泛應(yīng)用于印刷電路板制造。
公司產(chǎn)品遠(yuǎn)銷(xiāo)全球,并與多家跨國(guó)企業(yè)及電子加工企業(yè)建立長(zhǎng)期合作關(guān)系。通過(guò)在重點(diǎn)區(qū)域設(shè)立辦事處,提供快速響應(yīng)的技術(shù)支持與售后服務(wù)。依托東莞 “世界工廠(chǎng)” 的產(chǎn)業(yè)資源,公司強(qiáng)化供應(yīng)鏈協(xié)同,縮短交付周期,為客戶(hù)提供高效解決方案。
未來(lái),廣東吉田半導(dǎo)體材料有限公司將繼續(xù)深化技術(shù)創(chuàng)新,拓展產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域,以可靠的產(chǎn)品與專(zhuān)業(yè)的服務(wù),持續(xù)鞏固其在半導(dǎo)體材料行業(yè)的重要地位。
技術(shù)挑戰(zhàn)與發(fā)展趨勢(shì)
更高分辨率需求:
? EUV光刻膠需解決“線(xiàn)邊緣粗糙度(LER)”問(wèn)題(目標(biāo)<5nm),通過(guò)納米顆粒分散技術(shù)或新型聚合物設(shè)計(jì)改善。
缺陷控制:
? 半導(dǎo)體級(jí)正性膠要求金屬離子含量<1ppb,顆粒(>50nm)<1個(gè)/mL,需優(yōu)化提純工藝(如多級(jí)過(guò)濾+真空蒸餾)。
國(guó)產(chǎn)化突破:
? 國(guó)內(nèi)企業(yè)(如上海新陽(yáng)、南大光電、容大感光)已在KrF/ArF膠實(shí)現(xiàn)批量供貨,但EUV膠仍被日本JSR、美國(guó)陶氏、德國(guó)默克壟斷,需突破樹(shù)脂合成、PAG純度等瓶頸。
環(huán)保與節(jié)能:
? 開(kāi)發(fā)水基顯影正性膠(減少有機(jī)溶劑使用),或低烘烤溫度膠(降低半導(dǎo)體制造能耗)。
典型產(chǎn)品示例
? 傳統(tǒng)正性膠:Shipley S1813(G/I線(xiàn),用于PCB)、Tokyo Ohka TSM-305(LCD黑矩陣)。
? DUV正性膠:信越化學(xué)的ArF膠(用于14nm FinFET制程)、中芯國(guó)際認(rèn)證的國(guó)產(chǎn)KrF膠(28nm節(jié)點(diǎn))。
? EUV正性膠:JSR的NeXAR系列(7nm以下,全球市占率超70%)。
正性光刻膠是推動(dòng)半導(dǎo)體微縮的主要材料,其技術(shù)進(jìn)步直接關(guān)聯(lián)芯片制程的突破,未來(lái)將持續(xù)向更高精度、更低缺陷、更綠色工藝演進(jìn)。
PCB光刻膠國(guó)產(chǎn)化率超50%。
廣東吉田半導(dǎo)體材料有限公司的產(chǎn)品體系豐富且功能強(qiáng)大。
在光刻膠領(lǐng)域,芯片光刻膠為芯片制造中的精細(xì)光刻環(huán)節(jié)提供關(guān)鍵支持,確保芯片線(xiàn)路的精細(xì)刻畫(huà);
納米壓印光刻膠適用于微納加工,助力制造超精細(xì)的微納結(jié)構(gòu);
LCD 光刻膠則滿(mǎn)足液晶顯示面板生產(chǎn)過(guò)程中的光刻需求,保障面板成像質(zhì)量。
在電子焊接方面,半導(dǎo)體錫膏與焊片性能,能實(shí)現(xiàn)可靠的電氣連接,廣泛應(yīng)用于各類(lèi)電子設(shè)備組裝。
靶材產(chǎn)品在材料濺射沉積工藝中發(fā)揮關(guān)鍵作用,通過(guò)精細(xì)控制材料沉積,為半導(dǎo)體器件制造提供高質(zhì)量的薄膜材料。憑借出色品質(zhì),遠(yuǎn)銷(xiāo)全球,深受眾多世界 500 強(qiáng)企業(yè)和電子加工企業(yè)青睞 。
光刻膠的技術(shù)挑戰(zhàn)現(xiàn)在就是需要突破難關(guān)!寧波阻焊油墨光刻膠國(guó)產(chǎn)廠(chǎng)商
吉田半導(dǎo)體材料的綠色環(huán)保與可持續(xù)發(fā)展。廣西制版光刻膠生產(chǎn)廠(chǎng)家
吉田半導(dǎo)體的自研產(chǎn)品已深度融入國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈:
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芯片制造:YK-300 光刻膠服務(wù)中芯國(guó)際、長(zhǎng)江存儲(chǔ),支持國(guó)產(chǎn) 14nm 芯片量產(chǎn)。
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顯示面板:YK-200 LCD 光刻膠市占率達(dá) 15%,成為京東方、華星光電戰(zhàn)略合作伙伴。
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新能源領(lǐng)域:無(wú)鹵無(wú)鉛焊片通過(guò) UL 認(rèn)證,批量應(yīng)用于寧德時(shí)代儲(chǔ)能系統(tǒng),年供貨量超 500 噸。
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研發(fā)投入:年研發(fā)費(fèi)用占比超 15%,承擔(dān)國(guó)家 02 專(zhuān)項(xiàng)課題,獲 “國(guó)家技術(shù)發(fā)明二等獎(jiǎng)”。
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產(chǎn)能規(guī)模:光刻膠年產(chǎn)能 5000 噸,納米壓印光刻膠占全球市場(chǎng)份額 15%。
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質(zhì)量體系:通過(guò) ISO9001、IATF 16949 等認(rèn)證,生產(chǎn)過(guò)程執(zhí)行 8S 管理,批次穩(wěn)定性達(dá) 99.5%。
吉田半導(dǎo)體將繼續(xù)聚焦光刻膠研發(fā),加速 EUV 光刻膠與木基材料技術(shù)突破,目標(biāo)在 2027 年前實(shí)現(xiàn) 7nm 制程材料量產(chǎn)。同時(shí),深化國(guó)產(chǎn)供應(yīng)鏈協(xié)同,構(gòu)建 “材料 - 設(shè)備 - 工藝” 一體化生態(tài)圈,為中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主化貢獻(xiàn) “吉田力量”。
從突破國(guó)際壟斷到行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),吉田半導(dǎo)體以自研自產(chǎn)為引擎,走出了一條中國(guó)半導(dǎo)體材料企業(yè)的崛起之路。未來(lái),公司將以更具競(jìng)爭(zhēng)力的產(chǎn)品與技術(shù),助力中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)邁向更高臺(tái)階。
廣西制版光刻膠生產(chǎn)廠(chǎng)家