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加工超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備應用范圍

來源: 發(fā)布時間:2023-02-23

隨著厚度的不斷減薄,晶圓會變得更為脆弱,因此機械劃片的破片率大幅增加,而此階段晶圓價格昂貴,百分之幾的破片率就足以使利潤全無。另外,當成品晶圓覆蓋金屬薄層時,問題會變得更加復雜,金屬碎屑會包裹在金剛石刀刃上,使切割能力大下降,嚴重的會有造成破片、碎刀的后果崩邊現(xiàn)象會更明顯,尤其是交叉部分破損更為嚴重。當機械劃片遇到無法克服的困難時,人們自然想到用激光來劃片。激光劃片可進行橢圓等異形線型的劃切,也允許晶圓以更為合理的方式排列,可在同樣大的晶圓上排列更多的晶粒,使有效晶粒數(shù)量增加無錫超通智能超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備值得信賴。加工超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備應用范圍

硅晶圓是一種極薄的片狀硅,它是由高純度、幾乎無缺陷的單晶硅棒經(jīng)過切片制成。硅晶圓是制造集成電路的載板,在上面布滿晶粒,將晶粒切開后得到芯片,將芯片經(jīng)過封裝測試,制成集成電路。其中,將晶粒切開得到單一芯片的過程,稱為晶圓切割。晶圓切割是半導體芯片制造工藝流程中不可或缺的關(guān)鍵工序之一,在晶圓制造中屬于后道工序。為了實現(xiàn)硅晶圓的比較大利用率,其表面布滿了高密度集成電路,對硅晶圓進行切割時,尤其需要考慮切口的寬度和質(zhì)量,以充分保護硅板上的電路,同時兼顧加工效率。傳統(tǒng)切割方式主要是采用金剛石鋸片劃片切割,存在效率低,崩邊大,邊緣破碎物多、不平整等問題,而且機械應力的存在容易對晶體的內(nèi)部和外部產(chǎn)生損傷,良品率低,影響加工效率。同時,還需要根據(jù)晶圓的厚度不同選擇不同的刀具,增加成本支出,因此傳統(tǒng)的切割方式已經(jīng)不能滿足當前的加工需求。上海智能制造超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備訂制價格無錫超通智能超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備值得推薦。

晶圓切割是半導體封測工藝中不可或缺的關(guān)鍵工序,據(jù)悉,與傳統(tǒng)的切割方式相比,激光切割屬于非接觸式加工,可以避免對晶體硅表面造成損傷,并且具有加工精度高、加工效率高等特點,可以大幅提升芯片生產(chǎn)制造的質(zhì)量、效率、效益。在光學方面,根據(jù)單晶硅的光譜特性,結(jié)合工業(yè)激光的應用水平,該設(shè)備采用了合適的波長、總功率、脈寬和重頻的激光器,**終實現(xiàn)了隱形切割。 在影像方面,采用不同像素尺寸、不同感光芯片的相機,配以不同功效的鏡頭,實現(xiàn)了產(chǎn)品輪廓識別及低倍、中倍和高倍的水平調(diào)整。

晶圓是半導體產(chǎn)品與芯片的基礎(chǔ)材料,晶圓生長后需要經(jīng)過機械拋光,后期尤為重要的是晶圓切割加工,也叫晶圓劃片。早期短脈沖DPSS激光器切割晶圓技術(shù)已經(jīng)在歐洲、美國發(fā)展成熟。隨著超快激光器的快速發(fā)展和功率提升,超快激光切割晶圓未來將會逐漸成為主流,特別在晶圓切割、微鉆孔、封測等工序上,設(shè)備需求潛力較大。目前國內(nèi)已經(jīng)有精密激光設(shè)備廠家能夠提供晶圓開槽設(shè)備,可應用于28nm制程以下12寸晶圓的表面開槽,以及激光晶圓隱切設(shè)備應用于MEMS傳感器芯片,存儲芯片等**芯片制造領(lǐng)域。超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備的市場應用分析。

與YAG和CO2激光通過熱效應來切割不同,紫外激光直接破壞被加工材料的化學鍵,從而達到切割目的,這是一個“冷”過程,熱影響區(qū)域小。另外,紫外激光的波長短、能量集中且切縫寬度小,因此在精密切割和微加工領(lǐng)域具有***的應用,目前,激光劃片設(shè)備采用工業(yè)激光器,波長主要有 1064nm、532nm、355nm 三種,脈寬為ns(納秒)、ps(皮秒)和fs(飛秒)級。理論上,激光波長越短脈寬越短,加工熱效應越小,越有利于微細精密加工,但成本相對較高。汽車加工行業(yè)解決方案找無錫超通智能超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備。河北智能超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備服務電話

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碳化硅是寬禁帶半導體器件制造的**材料,SiC 器件具有高頻、大功率、耐高溫、耐輻射、抗干擾、體積小、重量輕等諸多優(yōu)勢。對于它的加工也有很多方式,其中激光劃片是目前較為理想的方式之一。激光劃片設(shè)備采用工業(yè)激光器,波長主要有 1 064 nm、532 nm、355 nm 三種,脈寬為納秒、皮秒和飛秒級。理論上,激光波長越短、脈寬越短,加工熱效應越小,有利于微細精密加工,但成本相對較高。355 nm 的紫外納秒激光器因其技術(shù)成熟、成本低、加工熱效應小,應用非常多。近幾年 1 064 nm 的皮秒激光器技術(shù)發(fā)展迅速,應用到很多新領(lǐng)域,獲得了很好的效果。加工超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備應用范圍

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