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激光隱形切割是激光切割晶片的一種方案,很好地避免了砂輪雕刻的問題。如圖1所示,激光隱身切割將脈沖激光的單脈沖通過光學(xué)成型,通過材料表面聚焦于材料內(nèi)部,聚焦區(qū)域能量密度高,形成多光子吸收非線性吸收效應(yīng),導(dǎo)致材料變形出現(xiàn)裂紋。各激光脈沖等距作用可以形成等距損傷,在材料內(nèi)部形成變質(zhì)層。在變質(zhì)層中,材料的分子結(jié)合被破壞,材料的連接減弱,容易分離。切割完成后,通過拉伸軸承膜完全分離產(chǎn)品,并在芯片和芯片之間形成間隙。這種加工方式避免了機(jī)器的直接接觸和純凈水現(xiàn)象造成的破壞。目前,激光隱身切割技術(shù)可應(yīng)用于藍(lán)寶石/玻璃/硅及多種化合物半導(dǎo)體晶圓。超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備的應(yīng)用范圍十分廣闊。湖北銷售超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備服務(wù)電話
晶圓切割是封裝過程中十分關(guān)鍵的一步,因?yàn)樵诖诉^程中容易產(chǎn)生大的機(jī)械損傷導(dǎo)致嚴(yán)重的可靠性問題,甚至是芯片的損壞。晶圓的切割方式有多種,**傳統(tǒng)的切割方式為刀片切割,這也是至今使用*****的一種方式。金剛石劃片刀切割晶圓有多重因素會(huì)對(duì)切割質(zhì)量造成影響,包括材料,切割儀器,工作環(huán)境,切割方法以及其他人為因素等。而現(xiàn)在采用激光切割是相對(duì)傳統(tǒng)切割更快,質(zhì)量更高的開工方式。超通智能自主研發(fā)的超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備可以幫助企業(yè)**提升加工效率,增加產(chǎn)品的加工質(zhì)量。北京加工超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備哪家強(qiáng)超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備的市場(chǎng)應(yīng)用分析。
相較于機(jī)械法,透過激光劃線及切割晶圓的方法仍處于發(fā)展階段。隨著晶圓直徑加大、激光器更為便宜且產(chǎn)能增長(zhǎng),其生產(chǎn)優(yōu)勢(shì)也***提升。本文將探討激光切割晶圓的許多研究,包含使用具有各種波長(zhǎng)范圍輻射[8,9]、不同脈沖寬度(飛秒、皮秒至納秒[10-13])與功率之激光。惟上述加工皆未將切割厚度200μm以上的晶圓列入考慮。已確知脈沖頻率愈高,切割速度愈快,為材料內(nèi)部能量分布增加所致。然每一發(fā)脈沖燒蝕深度的增加會(huì)引發(fā)如熔化、裂紋、非晶化和殘余應(yīng)力積累等熱影響。將晶圓分離為芯片時(shí),這些熱影響導(dǎo)致芯片強(qiáng)度降低,損壞表層薄膜與敏感的電子器件。
硅作為第三代半導(dǎo)體材料,一直受到業(yè)界追捧,可材料始終是材料,就好比礦,沒有復(fù)雜的工藝處理,他就是一堆石頭,那半導(dǎo)體材料這樣偏精細(xì)的物質(zhì),那自然得有一套成熟的工藝,那首要的就是晶圓的加工。我們常用的半導(dǎo)體材料精細(xì),成本高,而且刀片劃片容易產(chǎn)生圓晶破損和刀具損壞,刀具還要頻繁的更換,后期運(yùn)行成本高。激光劃片屬于無接觸式加工,對(duì)圓晶損傷小,聚焦的優(yōu)點(diǎn)更是在晶圓的微處理上更具優(yōu)越性等更適用于圓晶劃片處理。超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備有什么特點(diǎn)?無錫超通智能告訴您。
硅晶圓是一種極薄的片狀硅,它是由高純度、幾乎無缺陷的單晶硅棒經(jīng)過切片制成。硅晶圓是制造集成電路的載板,在上面布滿晶粒,將晶粒切開后得到芯片,將芯片經(jīng)過封裝測(cè)試,制成集成電路。其中,將晶粒切開得到單一芯片的過程,稱為晶圓切割。晶圓切割是半導(dǎo)體芯片制造工藝流程中不可或缺的關(guān)鍵工序之一,在晶圓制造中屬于后道工序。為了實(shí)現(xiàn)硅晶圓的比較大利用率,其表面布滿了高密度集成電路,對(duì)硅晶圓進(jìn)行切割時(shí),尤其需要考慮切口的寬度和質(zhì)量,以充分保護(hù)硅板上的電路,同時(shí)兼顧加工效率。傳統(tǒng)切割方式主要是采用金剛石鋸片劃片切割,存在效率低,崩邊大,邊緣破碎物多、不平整等問題,而且機(jī)械應(yīng)力的存在容易對(duì)晶體的內(nèi)部和外部產(chǎn)生損傷,良品率低,影響加工效率。同時(shí),還需要根據(jù)晶圓的厚度不同選擇不同的刀具,增加成本支出,因此傳統(tǒng)的切割方式已經(jīng)不能滿足當(dāng)前的加工需求。無錫超通智能的超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備是否結(jié)實(shí)耐用?安徽智能制造超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備服務(wù)電話
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迭代升級(jí)后的激光晶圓隱形切割設(shè)備可自由控制激光聚焦點(diǎn)的深度、可自由控制聚焦點(diǎn)的長(zhǎng)度、可自由控制兩個(gè)焦點(diǎn)之間的水平間隔,通過采用特殊材料、特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、特殊運(yùn)動(dòng)平臺(tái),可在500mm/S的高速運(yùn)動(dòng)之下,保持高穩(wěn)定性、高精度切割,激光焦點(diǎn)*為0.5um,切割痕跡更細(xì)膩,可以避免對(duì)材料表面造成損傷,大幅提升芯片生產(chǎn)制造的質(zhì)量、效率、效益。這款激光晶圓隱形切割設(shè)備可廣泛應(yīng)用于高能集成電路產(chǎn)品,包括CPU制造、圖像處理IC、汽車電子、傳感器、內(nèi)存等領(lǐng)域的制造,對(duì)我國(guó)實(shí)現(xiàn)**國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體供應(yīng)鏈起到了積極的促進(jìn)作用,有很重要的現(xiàn)實(shí)意義。湖北銷售超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備服務(wù)電話
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