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廣東智能制造超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備按需定制

來源: 發(fā)布時(shí)間:2023-06-01

隨著厚度的不斷減薄,晶圓會(huì)變得更為脆弱,因此機(jī)械劃片的破片率大幅增加,而此階段晶圓價(jià)格昂貴,百分之幾的破片率就足以使利潤全無。另外,當(dāng)成品晶圓覆蓋金屬薄層時(shí),問題會(huì)變得更加復(fù)雜,金屬碎屑會(huì)包裹在金剛石刀刃上,使切割能力大下降,嚴(yán)重的會(huì)有造成破片、碎刀的后果崩邊現(xiàn)象會(huì)更明顯,尤其是交叉部分破損更為嚴(yán)重。當(dāng)機(jī)械劃片遇到無法克服的困難時(shí),人們自然想到用激光來劃片。激光劃片可進(jìn)行橢圓等異形線型的劃切,也允許晶圓以更為合理的方式排列,可在同樣大的晶圓上排列更多的晶粒,使有效晶粒數(shù)量增加無錫超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備的規(guī)格介紹。廣東智能制造超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備按需定制

超通智能超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備配備NCS、刀痕、崩邊及切割道位置檢測(cè)功能,還有數(shù)據(jù)管理、報(bào)警記錄和日志管理功能,極大提高了生產(chǎn)效率。此外還有皮秒激光劃片和納秒激光劃片等適用于各類晶圓的處理。超通智能的優(yōu)勢(shì)在于一些新產(chǎn)品的前期應(yīng)用場(chǎng)景,比如第三代材料,碳化硅、氮化鎵、砷化鎵等一系列材料,幾乎全部使用激光進(jìn)行切割?!背ㄖ悄軐⒕A切割作為切入口,希望今后業(yè)務(wù)可以覆蓋封裝產(chǎn)品激光類的全部應(yīng)用,向激光晶圓制造環(huán)節(jié)上探,提供更***和質(zhì)量的服務(wù)。上海超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備應(yīng)用范圍無錫超通智能超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備安心售后。

由于碳化硅自然界中擁有多態(tài)(Polymorphs),例如3C-SiC,4H-SiC,6H-SiC等,其中六方晶系的碳化硅理論上有無數(shù)種多態(tài)可能性。目前行業(yè)內(nèi)選用的碳化硅多態(tài)為4H-SiC。為了獲得想要的低缺陷4H-SiC,SiC晶圓通常需要以4°偏軸在種子晶格上進(jìn)行晶錠生長。因此,在切割垂直晶圓平邊的方向時(shí),裂紋會(huì)與C面軸向[0001]產(chǎn)生4°偏角。使用普通激光切割設(shè)備進(jìn)行切割時(shí),4°的偏角會(huì)使材料裂開變得困難,從而使得**終該方向產(chǎn)生嚴(yán)重崩邊(chipping)和切割痕跡蜿蜒(meandering)。

在激光切割晶圓過程中,從光斑直徑上來分析,光斑直徑是指光強(qiáng)降落到中心值的點(diǎn)所確定的范圍,這個(gè)范圍內(nèi)包含了光束能量的86.5%。在理想情況下,直徑范圍內(nèi)的激光可以實(shí)現(xiàn)切割。實(shí)際上,劃片寬度略大于光斑直徑。在劃片時(shí),聚焦后的光斑直徑當(dāng)然是越小越好,這樣劃片所需的劃片槽尺寸就會(huì)越小。相應(yīng)方法就是減小焦距。但是,減小聚焦鏡焦距的代價(jià)就是焦深會(huì)縮短,使得劃片厚度減少。因此,焦距的確定需要綜合考慮劃片的厚度和劃片槽的寬度。無錫的超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備定做廠家。

劃片速度決定了激光聚焦在晶圓上劃片槽某一區(qū)域的時(shí)間,也就是決定了在某一區(qū)域內(nèi)輸入的劃片功率,因此會(huì)直接影響劃片深度和劃片寬度。值得一提的是,激光光斑對(duì)劃片槽區(qū)域硅材料切割線可以看成是一個(gè)又一個(gè)光斑切割微圓疊加而成的,較高的頻率和適當(dāng)?shù)乃俣瓤梢缘玫街旅?、均勻的切割痕跡,速度太快或頻率不足則相鄰兩個(gè)切割微圓的圓心較遠(yuǎn),芯片切割邊緣呈巨齒狀,切割質(zhì)量下降。所以,劃片功率、頻率、速度等參數(shù)共同影響了劃片寬度、劃片深度、劃片質(zhì)量等劃片的關(guān)鍵指標(biāo)。超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備去哪找?無錫超通智能告訴您。上海加工超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備價(jià)錢

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主要性能參數(shù)產(chǎn)品型號(hào)CTI-GlassCut皮秒激光器激光器波長1064 nm激光器脈寬10 ps平均峰值功率50W切割頭切割焦深5 mm**小光斑1-2 um切割精度±20 um崩邊<5 um切割速度100mm/s (3mm白玻璃)工作平臺(tái)參數(shù)平臺(tái)形式XY直線電機(jī)基座高精度大理石平臺(tái)加工范圍400×400 mm(可定制)定位精度±3 um重復(fù)定位精度±2 um比較大速度1000 mm/sCCD工業(yè)相機(jī)600W鏡頭遠(yuǎn)心鏡頭系統(tǒng)屬性支持文件格式DXF等常規(guī)CAD格式環(huán)境要求溫度:20-30℃,濕度:<60%電力需求380V/50Hz/10KVA廣東智能制造超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備按需定制

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