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芯片制造的工藝復雜、流程眾多,而晶圓切割就是半導體封測工藝中不可或缺的一道工序,晶圓切割就是將單一晶圓進行切割制作成一個個晶粒單元,但由于晶粒本身比較脆弱、相互之間距離小,并且切割時還需要注意晶粒不被污染、避免出現(xiàn)崩塌或者裂痕現(xiàn)象,因此晶圓切割對于技術和切割設備的要求都極高。在晶圓切割過程中,通常要用到的一項精密切割設備就是晶圓切割機,晶圓切割機可使安裝在主軸上的砥石高速旋轉,從而切斷硅晶圓。近幾年,隨著激光技術的發(fā)展,激光切割機逐漸成為了芯片制作領域的研究熱點。由于激光切割為非接觸式加工過程,其不僅切割精度高、效率高,而且可以避免對晶體硅表面造成損傷,大幅提升芯片生產(chǎn)制造的質量和效率。無錫超快激光玻璃晶圓切割設備的詳細介紹。陜西先進超快激光玻璃晶圓切割設備解決方案
晶圓激光切割與傳統(tǒng)的機械切割法相比,這種新的方法有幾個重要的優(yōu)點。首先,這是一步即可完成的、干燥的加工過程。邊緣光滑整齊,不需要后續(xù)的清潔和打磨。并且,激光引致的分離過程產(chǎn)生**度、自然回火的邊緣,沒有微小裂痕。使用這種方法,避免了不可預料的裂痕和殘破,降低了次品率,提高了產(chǎn)量。因為裂痕是**地沿著激光光束所劃出的痕跡,激光引致的分離可以切劃出非常**的曲線圖案。我們所做的實驗也證明了無論直線或是曲線,激光切割都能連續(xù)地、**地完成設定圖案,重復性可達+50μm。所以激光可以進行曲線圖形的**切割。激光切割晶圓有速度快、精度高,定位準確等明顯優(yōu)勢。江蘇超快激光玻璃晶圓切割設備無錫超通智能超快激光玻璃晶圓切割設備的優(yōu)勢。
超通智能超快激光玻璃晶圓切割設備配備NCS、刀痕、崩邊及切割道位置檢測功能,還有數(shù)據(jù)管理、報警記錄和日志管理功能,極大提高了生產(chǎn)效率。此外還有皮秒激光劃片和納秒激光劃片等適用于各類晶圓的處理。超通智能的優(yōu)勢在于一些新產(chǎn)品的前期應用場景,比如第三代材料,碳化硅、氮化鎵、砷化鎵等一系列材料,幾乎全部使用激光進行切割?!背ㄖ悄軐⒕A切割作為切入口,希望今后業(yè)務可以覆蓋封裝產(chǎn)品激光類的全部應用,向激光晶圓制造環(huán)節(jié)上探,提供更***和質量的服務。
相比于傳統(tǒng)的切割方式,激光切割屬于非接觸式加工,可以避免對晶體硅表面造成損傷,并且具有加工精度高、加工效率高等特點,可以大幅提升芯片生產(chǎn)制造的質量、效率、效益。據(jù)了解,超通智能超快激光玻璃晶圓切割設備,配備***皮秒激光器,通過超高峰值功率的皮秒激光在玻璃晶圓內部產(chǎn)生非線性自聚焦效應,達到激光成絲切割的效果。該設備還可應用于各類透明脆性材料的快速劃線、切割。公司也通過了ISO9001質量管理體系認證,質量優(yōu),歡迎詢價!無錫超通智能的超快激光玻璃晶圓切割設備質量可靠嗎?
硅晶圓是一種極薄的片狀硅,它是由高純度、幾乎無缺陷的單晶硅棒經(jīng)過切片制成。硅晶圓是制造集成電路的載板,在上面布滿晶粒,將晶粒切開后得到芯片,將芯片經(jīng)過封裝測試,制成集成電路。其中,將晶粒切開得到單一芯片的過程,稱為晶圓切割。晶圓切割是半導體芯片制造工藝流程中不可或缺的關鍵工序之一,在晶圓制造中屬于后道工序。為了實現(xiàn)硅晶圓的比較大利用率,其表面布滿了高密度集成電路,對硅晶圓進行切割時,尤其需要考慮切口的寬度和質量,以充分保護硅板上的電路,同時兼顧加工效率。傳統(tǒng)切割方式主要是采用金剛石鋸片劃片切割,存在效率低,崩邊大,邊緣破碎物多、不平整等問題,而且機械應力的存在容易對晶體的內部和外部產(chǎn)生損傷,良品率低,影響加工效率。同時,還需要根據(jù)晶圓的厚度不同選擇不同的刀具,增加成本支出,因此傳統(tǒng)的切割方式已經(jīng)不能滿足當前的加工需求。無錫超快激光玻璃晶圓切割設備廠家直銷優(yōu)勢。四川制造超快激光玻璃晶圓切割設備解決方案
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碳化硅是寬禁帶半導體器件制造的**材料,SiC 器件具有高頻、大功率、耐高溫、耐輻射、抗干擾、體積小、重量輕等諸多優(yōu)勢。對于它的加工也有很多方式,其中激光劃片是目前較為理想的方式之一。激光劃片設備采用工業(yè)激光器,波長主要有 1 064 nm、532 nm、355 nm 三種,脈寬為納秒、皮秒和飛秒級。理論上,激光波長越短、脈寬越短,加工熱效應越小,有利于微細精密加工,但成本相對較高。355 nm 的紫外納秒激光器因其技術成熟、成本低、加工熱效應小,應用非常多。近幾年 1 064 nm 的皮秒激光器技術發(fā)展迅速,應用到很多新領域,獲得了很好的效果。陜西先進超快激光玻璃晶圓切割設備解決方案
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