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山東自動(dòng)化超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備應(yīng)用范圍

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2023-09-21

超通智能超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備配備NCS、刀痕、崩邊及切割道位置檢測(cè)功能,還有數(shù)據(jù)管理、報(bào)警記錄和日志管理功能,極大提高了生產(chǎn)效率。此外還有皮秒激光劃片和納秒激光劃片等適用于各類晶圓的處理。超通智能的優(yōu)勢(shì)在于一些新產(chǎn)品的前期應(yīng)用場(chǎng)景,比如第三代材料,碳化硅、氮化鎵、砷化鎵等一系列材料,幾乎全部使用激光進(jìn)行切割?!背ㄖ悄軐⒕A切割作為切入口,希望今后業(yè)務(wù)可以覆蓋封裝產(chǎn)品激光類的全部應(yīng)用,向激光晶圓制造環(huán)節(jié)上探,提供更***和質(zhì)量的服務(wù)。選擇超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備應(yīng)該注意什么?無(wú)錫超通智能告訴您。山東自動(dòng)化超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備應(yīng)用范圍

晶圓是指制作硅半導(dǎo)體電路所用的硅晶片,其原始材料是硅。高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種,然后慢慢拉出,形成圓柱形的單晶硅。硅晶棒在經(jīng)過(guò)研磨,拋光,切片后,形成硅晶圓片,也就是晶圓。國(guó)內(nèi)晶圓以 8英寸和 12 英寸為主。激光切割SiC晶圓的方案為激光內(nèi)部改質(zhì)切割,其原理為激光在SiC晶圓內(nèi)部聚焦,在晶圓內(nèi)部形成改質(zhì)層后,配合裂片進(jìn)行晶粒分離。SiC作為寬禁帶半導(dǎo)體,禁帶寬度在3.2eV左右,這也意味著材料表面的對(duì)于大部分波長(zhǎng)的吸收率很低,使得SiC晶圓與激光內(nèi)部改質(zhì)切割擁有較好的相匹配性。山西品質(zhì)超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備價(jià)錢無(wú)錫超通智能超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備安心售后。

劃片速度決定了激光聚焦在晶圓上劃片槽某一區(qū)域的時(shí)間,也就是決定了在某一區(qū)域內(nèi)輸入的劃片功率,因此會(huì)直接影響劃片深度和劃片寬度。值得一提的是,激光光斑對(duì)劃片槽區(qū)域硅材料切割線可以看成是一個(gè)又一個(gè)光斑切割微圓疊加而成的,較高的頻率和適當(dāng)?shù)乃俣瓤梢缘玫街旅?、均勻的切割痕跡,速度太快或頻率不足則相鄰兩個(gè)切割微圓的圓心較遠(yuǎn),芯片切割邊緣呈巨齒狀,切割質(zhì)量下降。所以,劃片功率、頻率、速度等參數(shù)共同影響了劃片寬度、劃片深度、劃片質(zhì)量等劃片的關(guān)鍵指標(biāo)。

超通智能研發(fā)了一款超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備,與傳統(tǒng)的切割設(shè)備相比,新型半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割機(jī)的性能優(yōu)勢(shì)明顯。首先,激光晶圓切割機(jī)采用特殊材料、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和運(yùn)動(dòng)平臺(tái),可在加工平臺(tái)高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)保持穩(wěn)定性和精細(xì)性,轉(zhuǎn)速和效率較高。其次,激光晶圓切割機(jī)采用了合適的波長(zhǎng)、總功率、脈寬以及重頻的激光器,克服了激光劃片產(chǎn)生的熔渣污染,顯著提高了切割質(zhì)量。同時(shí),設(shè)備還采用了不同像素尺寸與感光芯片的相機(jī)和鏡頭,可實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品輪廓識(shí)別倍數(shù)的水平調(diào)整。無(wú)錫超通智能超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備值得信賴。

迭代升級(jí)后的激光晶圓隱形切割設(shè)備可自由控制激光聚焦點(diǎn)的深度、可自由控制聚焦點(diǎn)的長(zhǎng)度、可自由控制兩個(gè)焦點(diǎn)之間的水平間隔,通過(guò)采用特殊材料、特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、特殊運(yùn)動(dòng)平臺(tái),可在500mm/S的高速運(yùn)動(dòng)之下,保持高穩(wěn)定性、高精度切割,激光焦點(diǎn)*為0.5um,切割痕跡更細(xì)膩,可以避免對(duì)材料表面造成損傷,大幅提升芯片生產(chǎn)制造的質(zhì)量、效率、效益。這款激光晶圓隱形切割設(shè)備可廣泛應(yīng)用于高能集成電路產(chǎn)品,包括CPU制造、圖像處理IC、汽車電子、傳感器、內(nèi)存等領(lǐng)域的制造,對(duì)我國(guó)實(shí)現(xiàn)**國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體供應(yīng)鏈起到了積極的促進(jìn)作用,有很重要的現(xiàn)實(shí)意義。超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備的價(jià)格更優(yōu)惠。浙江智能超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備解決方案

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激光劃片在晶圓加工方面具備以下優(yōu)勢(shì):1.激光劃片采用的高光束質(zhì)量的光纖激光器,對(duì)芯片的電性影響較小,可以提供更高的劃片成品率。2.激光劃片速度為150mm/s。劃片速度較**.激光可以切割厚度較薄的晶圓,可以勝任不同厚度的晶圓劃片??梢郧懈钜恍┹^復(fù)雜的晶圓芯片,如六邊形管芯等。4.激光劃片不用去離子水,可24小時(shí)連續(xù)作業(yè)5.激光劃片具有更好的兼容性和通用性。超通智能在激光晶圓處理上就具備豐富的經(jīng)驗(yàn),如刀輪切割設(shè)備,外觀尺寸小型化,占地面積小,切割行程**功率主軸,高速高精度電機(jī),閉環(huán)運(yùn)動(dòng)控制,確保生產(chǎn)效率。山東自動(dòng)化超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備應(yīng)用范圍