江蘇邁茨工業(yè)智能裝備有限公司2025-04-25

"滾珠絲杠型 標準級：±0.01~0.05mm（10~50μm），適用于多數(shù)自動化設備； 精密級（預壓絲杠+高分辨率編碼器）：±0.005~0.01mm（5~10μm），如半導體設備。 行星滾柱絲杠型 重載場景下約±0.02~0.1mm，精度略低于滾珠絲杠，但抗沖擊性強。 同步帶型 較低精度，通?！?.1~0.5mm，適合輕載高速非精密場景。 直線電機直驅型 無機械背隙，可達±0.001~0.005mm（亞微米級），用于光刻機等高精領域。 關鍵影響因素： 絲杠導程誤差、反向間隙； 伺服系統(tǒng)分辨率（如17位編碼器）； 導向機構剛性（導軌/軸承游隙）。 "

本回答由 江蘇邁茨工業(yè)智能裝備有限公司 提供