所述組合物包含540重量％的甲基四氫呋喃和6095重量％的式C4F90R的九氟丁基烷基醚。的甲基四氫呋喃是2-甲基四氫呋喃。在式C4F90R的九氟丁基烷基醚中，九氟丁基甲基醚和九氟丁基乙基醚。不論R是什么，的九氟丁基烷基醚主要由九氟正丁基烷基醚和九氟異丁基烷基醚組成。共沸或共沸型的組合物是特別有利的。當(dāng)R為甲基時，該共沸或共沸型的組合物包含515重量％的甲基四氫呋喃和8595重量％的九氟丁基甲基醚。包含8重量％的甲基四氫呋喃和92重量％的九氟丁基甲基醚的共沸組合物在大氣壓下具有°C的沸點(diǎn)。當(dāng)R為乙基時，該共沸或共沸型的組合物包含1040重量％的甲基四氫呋喃和6090重量％的九氟丁基乙基醚。包含％的甲基四氫呋喃和％的九氟丁基乙基醚的共沸組合物在大氣壓()下具有°C的沸點(diǎn)。共沸組合物是兩種或更多種化合物的液體混合物，其具有可高于或低于各化合物的沸點(diǎn)的恒定沸點(diǎn)(即，在沸騰或蒸發(fā)期間沒有分餾的傾向)。因此，在蒸發(fā)期間形成的蒸氣的組成與初始的液體組合物相同或者幾乎相同。共沸型組合物是兩種或更多種化合物的液體混合物，其具有基本上恒定的沸點(diǎn)，也就是說，共沸型組合物起到單一化合物的作用。專業(yè)BOE蝕刻液由蘇州博洋化學(xué)股份有限公司提供。江蘇技術(shù)密集BOE蝕刻液圖片

    然后將裝有蝕刻液的石英燒瓶放入加熱套中加熱，待加熱到確定溫度后，放入氮化硅樣片進(jìn)行蝕刻；蝕刻完后，取出樣片采用熱超純水清洗和氮?dú)獯蹈珊?，使用橢圓偏振光譜儀對蝕刻前所取位置的6個點(diǎn)的厚度進(jìn)行測量，計算蝕刻前后6個取點(diǎn)的厚度差值，對比6個點(diǎn)之間的厚度差值的差異。與現(xiàn)有的使用磷酸作為蝕刻液相比，本發(fā)明的有益效果是：醇醚類和表面活性劑的添加能明顯改善磷酸溶液的浸潤性和降低磷酸溶液的表面張力，有效提高了蝕刻液對氮化硅層的潤濕性和蝕刻均勻性。具體實施方式下面結(jié)合具體實施例，進(jìn)一步闡述本發(fā)明，對本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì)的說明，但不限于這些實施例。本發(fā)明的蝕刻液配制時選擇的磷酸濃度為85％，蝕刻溫度為160℃，蝕刻時間為10min。先對所配制蝕刻液的表面張力進(jìn)行檢測，然后將氮化硅樣片使用超純水清洗和氮?dú)獯蹈珊?，進(jìn)行接觸角的測量；蝕刻前使用超純水清洗和氮?dú)獯蹈傻铇悠?，在氮化硅樣片上?個不同位置的點(diǎn)對其厚度進(jìn)行測量；蝕刻完成后使用熱超純水清洗和氮?dú)獯蹈傻铇悠螅∨c蝕刻前相同位置的6個點(diǎn)進(jìn)行厚度測量。實施例1本發(fā)明的實施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進(jìn)行配制，先稱取濃度為85％的磷酸，然后稱取添加劑加入磷酸中。江蘇如何分類BOE蝕刻液電話BOE蝕刻液專業(yè)生產(chǎn)廠家，蘇州博洋化學(xué)股份有限公司。

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    previadeliberacióndelConsejodeMinistrosensureunióndeldía28dediciembrede1995,DISPONGO:ArtículoúónTécnicaComplementariaMI-IP04?Instalacionesfijasparadistribuciónalpormenordecarburantesycombustiblespetrolíferoseninstalacionesdeventaalpúblico?,delReglamentodeInstalacionesPetrolíferas,aprobadoporRealDecreto2085/1994,de20deoctubre,ónadicionalúáreadelaestacióndeservicioparaladistribuciónalpormenoryventaalpúblicodecarburantesycombustiblespodránimplantarseaparatossurtidoresdeGLPparasuministrodevehículosdeautomoció?oyconstrucciónserealizarácompliendolasiguientelegislación:a)Reglamentosobreinstalacionesdealmacenamientodegaseslicuadosdelpetróleo(GLP)endepósitosfijos,segúnOrdendelMinisteriodeIndustriayEnergí)Ordende24denoviembrede1982,porlaquesedictannormasparaelalmacenamientoysuministrodegaseslicuadosdelpetróleo(GLP)agranelparasuutilizacióncomocarburanteparavehíóónalpormenordecarburantesycombustiblespetrolíferoseninstalacionesdeventaalpúblico。BOE蝕刻液推薦蘇州博洋化學(xué)股份有限公司。

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