作為中國(guó)半導(dǎo)體材料領(lǐng)域的企業(yè),吉田半導(dǎo)體材料有限公司始終以自研自產(chǎn)為戰(zhàn)略,通過(guò) 23 年技術(shù)沉淀與持續(xù)創(chuàng)新,成功突破多項(xiàng) “卡脖子” 技術(shù),構(gòu)建起從原材料到成品的全鏈條國(guó)產(chǎn)化能力。其自主研發(fā)的光刻膠產(chǎn)品已覆蓋芯片制造、顯示面板、精密電子等領(lǐng)域,為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈自主化提供關(guān)鍵支撐。
吉田半導(dǎo)體依托自主研發(fā)中心與產(chǎn)學(xué)研合作,在光刻膠領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)多項(xiàng)技術(shù)突破:
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YK-300 正性光刻膠:分辨率達(dá) 0.35μm,線(xiàn)寬粗糙度(LWR)≤3nm,適用于 45nm 及以上制程,良率達(dá) 98% 以上,成本較進(jìn)口產(chǎn)品降低 40%,已通過(guò)中芯國(guó)際量產(chǎn)驗(yàn)證。
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SU-3 負(fù)性光刻膠:支持 3μm 厚膜加工,抗深蝕刻速率 > 500nm/min,成功應(yīng)用于高通 5G 基帶芯片封裝,良率提升至 98.5%。
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JT-2000 納米壓印光刻膠:突破 250℃耐高溫極限,圖形保真度 > 95%,性能對(duì)標(biāo)德國(guó) MicroResist 系列,已應(yīng)用于國(guó)產(chǎn) EUV 光刻機(jī)前道工藝。
光刻膠半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用。安徽高溫光刻膠
技術(shù)挑戰(zhàn)與發(fā)展趨勢(shì)
更高分辨率需求:
EUV光刻膠需解決“線(xiàn)邊緣粗糙度(LER)”問(wèn)題(目標(biāo)<5nm),通過(guò)納米顆粒分散技術(shù)或新型聚合物設(shè)計(jì)改善。
缺陷控制:
半導(dǎo)體級(jí)正性膠要求金屬離子含量<1ppb,顆粒(>50nm)<1個(gè)/mL,需優(yōu)化提純工藝(如多級(jí)過(guò)濾+真空蒸餾)。
國(guó)產(chǎn)化突破:
國(guó)內(nèi)企業(yè)(如上海新陽(yáng)、南大光電、容大感光)已在KrF/ArF膠實(shí)現(xiàn)批量供貨,但EUV膠仍被日本JSR、美國(guó)陶氏、德國(guó)默克壟斷,需突破樹(shù)脂合成、PAG純度等瓶頸。
環(huán)保與節(jié)能:
開(kāi)發(fā)水基顯影正性膠(減少有機(jī)溶劑使用),或低烘烤溫度膠(降低半導(dǎo)體制造能耗)。
典型產(chǎn)品示例
傳統(tǒng)正性膠:Shipley S1813(G/I線(xiàn),用于PCB)、Tokyo Ohka TSM-305(LCD黑矩陣)。
DUV正性膠:信越化學(xué)的ArF膠(用于14nm FinFET制程)、中芯國(guó)際認(rèn)證的國(guó)產(chǎn)KrF膠(28nm節(jié)點(diǎn))。
EUV正性膠:JSR的NeXAR系列(7nm以下,全球市占率超70%)。
正性光刻膠是推動(dòng)半導(dǎo)體微縮的主要材料,其技術(shù)進(jìn)步直接關(guān)聯(lián)芯片制程的突破,未來(lái)將持續(xù)向更高精度、更低缺陷、更綠色工藝演進(jìn)。
常州LED光刻膠供應(yīng)商發(fā)展戰(zhàn)略與行業(yè)地位。
國(guó)家大基金三期:注冊(cè)資本3440億元,明確將光刻膠列為重點(diǎn)投資領(lǐng)域,計(jì)劃投入超500億元支持樹(shù)脂、光引發(fā)劑等原料研發(fā),相當(dāng)于前兩期投入總和的3倍。
地方專(zhuān)項(xiàng)政策:湖北省對(duì)通過(guò)驗(yàn)證的光刻膠企業(yè)給予設(shè)備采購(gòu)補(bǔ)貼+稅收減免,武漢太紫微憑借全流程國(guó)產(chǎn)化技術(shù)獲中芯國(guó)際百萬(wàn)級(jí)訂單;福建省提出2030年化工新材料自給率達(dá)90%,光刻膠是重點(diǎn)突破方向。
研發(fā)專(zhuān)項(xiàng):科技部“雙十計(jì)劃”設(shè)立20億元經(jīng)費(fèi),要求2025年KrF/ArF光刻膠國(guó)產(chǎn)化率突破10%,并啟動(dòng)EUV光刻膠預(yù)研。
技術(shù)挑戰(zhàn):
技術(shù)壁壘:EUV光刻膠、3nm以下制程材料仍處研發(fā)階段,光刻膠分辨率、靈敏度與國(guó)際水平存在差距(如東京應(yīng)化ArF膠分辨率達(dá)14nm)。
供應(yīng)鏈風(fēng)險(xiǎn):樹(shù)脂、光引發(fā)劑等原材料自給率不足8%,部分依賴(lài)進(jìn)口(如日本信越化學(xué));美國(guó)對(duì)華技術(shù)封鎖可能影響設(shè)備采購(gòu)。
客戶(hù)驗(yàn)證:光刻膠需通過(guò)晶圓廠(chǎng)全流程測(cè)試,驗(yàn)證周期長(zhǎng)(1-2年),國(guó)內(nèi)企業(yè)在頭部客戶(hù)滲透率較低。
未來(lái)展望:
短期(2025-2027年):KrF/ArF光刻膠國(guó)產(chǎn)化率預(yù)計(jì)提升至10%-15%,南大光電、上海新陽(yáng)等企業(yè)實(shí)現(xiàn)28nm-7nm制程產(chǎn)品量產(chǎn),部分替代日本進(jìn)口。
中期(2028-2030年):EUV光刻膠進(jìn)入中試驗(yàn)證階段,原材料自給率提升至30%,國(guó)內(nèi)企業(yè)在全球市場(chǎng)份額突破15%。
長(zhǎng)期(2030年后):實(shí)現(xiàn)光刻膠全產(chǎn)業(yè)鏈自主可控,技術(shù)指標(biāo)對(duì)標(biāo)國(guó)際前列,成為全球半導(dǎo)體材料重要供應(yīng)商。
光刻膠廠(chǎng)家推薦吉田半導(dǎo)體。
主要應(yīng)用場(chǎng)景
印刷電路板(PCB):
通孔/線(xiàn)路加工:負(fù)性膠厚度可達(dá)20-50μm,耐堿性蝕刻液(如氯化鐵、堿性氯化銅),適合制作大尺寸線(xiàn)路(線(xiàn)寬/線(xiàn)距≥50μm),如雙面板、多層板的外層電路。
阻焊層:作為絕緣保護(hù)層,覆蓋非焊盤(pán)區(qū)域,需厚膠(50-100μm)和高耐焊接溫度(260℃以上),負(fù)性膠因工藝簡(jiǎn)單、成本低而廣泛應(yīng)用。
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS):
深硅蝕刻(DRIE):負(fù)性膠作為蝕刻掩膜,厚度可達(dá)100μm以上,耐SF等強(qiáng)腐蝕性氣體,用于制作加速度計(jì)、陀螺儀的高深寬比結(jié)構(gòu)(深寬比>20:1)。
模具制造:在硅或玻璃基板上制作微流控芯片的通道模具,利用負(fù)性膠的厚膠成型能力。
平板顯示(LCD):
彩色濾光片(CF)基板預(yù)處理:在玻璃基板上制作絕緣層或緩沖層,耐濕法蝕刻(如HF溶液),確保后續(xù)RGB色阻層的精確涂布。
功率半導(dǎo)體與分立器件:
IGBT、MOSFET的隔離區(qū)蝕刻:負(fù)性膠用于制作較寬的隔離溝槽(寬度>10μm),耐高濃度酸堿蝕刻,降低工藝成本。
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對(duì)比國(guó)際巨頭的差異化競(jìng)爭(zhēng)力
維度 吉田光刻膠 國(guó)際巨頭(如JSR、東京應(yīng)化)
技術(shù)定位 聚焦細(xì)分市場(chǎng)(如納米壓印、LCD) 主導(dǎo)高級(jí)半導(dǎo)體光刻膠(ArF、EUV)
成本優(yōu)勢(shì) 原材料自主化率超80%,成本低20% 依賴(lài)進(jìn)口原材料,成本高
客戶(hù)響應(yīng) 48小時(shí)內(nèi)提供定制化解決方案 認(rèn)證周期長(zhǎng)(2-3年)
區(qū)域市場(chǎng) 東南亞、北美市占率超15% 全球市占率超60%
風(fēng)險(xiǎn)與挑戰(zhàn)
前段技術(shù)瓶頸:ArF、EUV光刻膠仍依賴(lài)進(jìn)口,研發(fā)投入不足國(guó)際巨頭的1/10。
客戶(hù)認(rèn)證周期:半導(dǎo)體光刻膠需2-3年驗(yàn)證,吉田尚未進(jìn)入主流晶圓廠(chǎng)供應(yīng)鏈。
供應(yīng)鏈風(fēng)險(xiǎn):部分樹(shù)脂(如ArF用含氟樹(shù)脂)依賴(lài)日本住友電木。
安徽高溫光刻膠