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光刻機(jī)隔振臺(tái)干擾儀防震臺(tái)應(yīng)用

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2022-04-17

手次使用AVI系統(tǒng)時(shí),將前面板隔離開關(guān)設(shè)置為關(guān)閉(黑色旋鈕熄滅)。打開電源。電源指示燈現(xiàn)在將點(diǎn)亮,16個(gè)顯示LED將短暫閃爍。黃色啟用LED將在約2Hz時(shí)閃爍。如果出現(xiàn)劇烈振動(dòng)或把手放在桌面上,部分或全部LED將閃爍。打開電源約30秒后,您可以將隔離開關(guān)推到打開位置(黑色旋鈕進(jìn)入)。黃色LED現(xiàn)在將一直亮起,表示系統(tǒng)正在隔離。把手輕輕地放在桌面上??赡軙?huì)有一個(gè)或多個(gè)LED亮起,表示過(guò)載。了解在不造成過(guò)載的情況下可以施加多少力。使用D-Sub 15M-F電纜將T-Box連接到TS的背面。無(wú)需單獨(dú)的電源。通過(guò)模式開關(guān)可以選擇不同的激勵(lì)方向。光刻機(jī)隔振臺(tái)干擾儀防震臺(tái)應(yīng)用

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TS特點(diǎn):◎在全部的6個(gè)自由度范圍內(nèi),從0.7Hz到100Hz,TS系列產(chǎn)品提供優(yōu)良的主動(dòng)隔振性能。◎當(dāng)儀器裝載時(shí),高度調(diào)整會(huì)自動(dòng)進(jìn)行?!蚣词巩?dāng)負(fù)載偏離中心時(shí),自動(dòng)調(diào)平功能也能保持水準(zhǔn)。當(dāng)高重心的儀器被加載時(shí),給予穩(wěn)定性?!蛲ㄟ^(guò)按下前方的按鈕,系統(tǒng)可以鎖定或者解鎖。鎖定功能可以防止在系統(tǒng)重新加載或傳輸中發(fā)生損壞。◎前方的顯示屏展示了在X,Y和Z方向的實(shí)際振動(dòng)水平。◎主動(dòng)隔振也可以通過(guò)使用可選的遠(yuǎn)程控制箱來(lái)從外部啟用或禁用主動(dòng)減振臺(tái)隔振臺(tái)干涉測(cè)量應(yīng)用安裝好后參數(shù)不需要調(diào)整。

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AVI-400系列(負(fù)載:蕞多800kg)型號(hào):AVI-400SLP,AVI-400MLP,AVI-400XLP系統(tǒng)形狀:控制器與防振單元分離型主動(dòng)控制范圍:被動(dòng)隔振范圍200Hz以上確認(rèn)防振狀態(tài):使用控制器背面的BNC連接器,外部連接,前面的8個(gè)LED指示防振狀態(tài)尺寸:190×396×190×720×220×856×控制器尺寸:241×287×142毫米承重*800kg單位重量:約13kg;約19公斤,聯(lián)絡(luò)我們電源電壓:95-240VAC,50-60赫茲耗電量:通常為18W工作溫度范圍:5℃?40℃工作濕度范圍10?90%(5?30℃)?10?60%(30?40℃)可選零件(1)裝載板,石板,鑄鐵板*另行咨詢選裝(2)高剛性支架或高阻尼高剛性支架*單獨(dú)咨詢。

把手輕輕地放在桌面上??赡軙?huì)有一個(gè)或多個(gè)LED亮起,表示過(guò)載。了解在不造成過(guò)載的情況下可以施加多少力。如果您現(xiàn)在對(duì)桌面施加很大的力,所有過(guò)載指示燈都將亮起,隔離指示燈將閃爍幾秒鐘,表示系統(tǒng)在過(guò)載解除(待機(jī)模式)之前暫時(shí)不再隔離。卸下過(guò)載后,隔離燈應(yīng)再次亮起,系統(tǒng)開始隔離。一些過(guò)載LED可能會(huì)亮起并持續(xù)幾秒鐘。即使在這個(gè)階段,系統(tǒng)也在隔離,但增益降低。嚴(yán)重過(guò)載后,系統(tǒng)可能需要半分鐘才能完全隔離,但通常只需要幾秒鐘。AVI系列可以在非常寬的頻率范圍內(nèi)為原子力顯微鏡、非接觸式表面輪廓儀等提供極好的隔振效果。

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AVI主動(dòng)隔震臺(tái)AVI應(yīng)用于掃描電鏡1、如有可能,拆下掃描電鏡柱的側(cè)板。2、使用掃描電鏡找平腳將立柱抬離地面至少6“。如有必要,在水平尺下放置木塊以增加高度。3、拆下主銷后傾角和主銷后傾角螺栓(如有必要)。4、將弟一個(gè)鋁制安裝板放在掃描電鏡下的地面上。前后各27.5英寸,左右各27英寸。用水平儀確保盤子坐平。按下所有角落,確保其與地面齊平。如果不水平或不齊平,則使用墊片確保水平,并在各側(cè)均勻地放置在地面上。如果想要了解更多信息請(qǐng)聯(lián)系我們岱美儀器。AVI 200-XL的出色性能包括所有六個(gè)方向水平和垂直振動(dòng)模式。AVI-200XLP隔振臺(tái)當(dāng)?shù)貎r(jià)格

示波器上顯示的多路復(fù)用信號(hào)顯示有無(wú)隔離的振動(dòng)水平-瑾用于診斷目的。光刻機(jī)隔振臺(tái)干擾儀防震臺(tái)應(yīng)用

桌面必須足夠堅(jiān)硬,以防止兩個(gè)隔離單元繞其長(zhǎng)水平軸相對(duì)旋轉(zhuǎn)。蜂窩狀墊板或30mm厚的鋁板效果蕞好,但可以使用石板甚至實(shí)木板。有關(guān)連接孔的位置,將電纜連接至隔離裝置的兩側(cè)。附加裝置通常與弟一個(gè)裝置平行放置,但這并非決對(duì)必要。但是,必須特別注意桌面的正確連接,如下所述。注意,也可以將隔離裝置直接連接到所支持的設(shè)備上。在這種情況下,剛性安裝是決對(duì)必要的。我們很樂意為您提供蕞佳安裝方法的建議。如果想要了解更多信息請(qǐng)聯(lián)系我們岱美儀器。光刻機(jī)隔振臺(tái)干擾儀防震臺(tái)應(yīng)用

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