4、懸浮粒子-微粒計(jì)數(shù)農(nóng)度A、室內(nèi)測(cè)試人員必須穿潔凈服,不得超過(guò)2人,應(yīng)位于測(cè)試點(diǎn)下風(fēng)側(cè)并遠(yuǎn)離測(cè)試點(diǎn),并應(yīng)保持靜止。進(jìn)行換點(diǎn)操作時(shí)動(dòng)作要輕,應(yīng)減少人員對(duì)室內(nèi)潔凈度的干擾。B、設(shè)備要在校準(zhǔn)期內(nèi)使用。C、檢測(cè)前和檢測(cè)后設(shè)備“清零”D、在單向流區(qū)域,所選擇的采樣探頭應(yīng)接近等動(dòng)力采樣,進(jìn)入采樣探頭的風(fēng)速與被采空氣的風(fēng)速偏差不應(yīng)超過(guò)20%。若無(wú)法做到這一點(diǎn),將采樣口正對(duì)氣流的主方向。非單向流的采樣點(diǎn),采樣口應(yīng)豎直向上。E、采樣口至粒子計(jì)數(shù)器傳感器的連接管應(yīng)盡量短。采樣點(diǎn)一般離地面0.8-1.2m左右,要均勻科學(xué)布點(diǎn),而且要避開(kāi)回風(fēng)口。對(duì)任何小潔凈室或局部空氣凈化區(qū)域,采樣點(diǎn)的數(shù)目都不得少于2個(gè),總采樣數(shù)可根據(jù)面積開(kāi)2次根求得。檢測(cè)為送回風(fēng)口的布置和氣流的通暢創(chuàng)造條件:氣流設(shè)計(jì)時(shí)要考慮高大設(shè)備對(duì)氣流組織的影響。湖北排風(fēng)柜檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)
潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,從而我們稱(chēng)之為潔凈室。按照國(guó)際慣例,無(wú)塵凈化等級(jí)主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類(lèi)標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來(lái)規(guī)定的。也就是說(shuō),所謂的無(wú)塵,并不是100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,而是控制在極少量的單位。當(dāng)然,這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物,相對(duì)于我們常見(jiàn)的粉塵來(lái)說(shuō)是非常小的,但是對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)來(lái)說(shuō),哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵也會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)方便客戶潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除。
D.3.2靜壓差測(cè)試,應(yīng)符合下列規(guī)定:1靜壓差的測(cè)定應(yīng)在所有的門(mén)關(guān)閉時(shí)進(jìn)行。2儀器宜采用各種型式的微壓計(jì),儀表靈敏度應(yīng)小于1.0Pa。3潔凈廠房有多個(gè)潔凈室(區(qū))時(shí),應(yīng)從**里面的房間與相鄰房間的壓差測(cè)試開(kāi)始,并應(yīng)按順序向外進(jìn)行檢測(cè)。D.3.3已安裝的空氣過(guò)濾器泄漏測(cè)試,應(yīng)符合下列規(guī)定:1儀器應(yīng)使用采樣量大于11/mn的光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器。2應(yīng)在過(guò)濾器上風(fēng)側(cè)引入大于等于0.1um(0.5um)粒子,粒子濃度應(yīng)大于3.5×10P/m3的大氣塵或其他氣溶膠;在過(guò)濾器下風(fēng)側(cè)應(yīng)用粒子計(jì)數(shù)器的等動(dòng)力采樣頭放在距離被檢過(guò)濾器表面20~30mm處,并應(yīng)以5~20mm/s速度移動(dòng)。應(yīng)檢測(cè)包括過(guò)濾器的整個(gè)面和過(guò)濾器周邊、過(guò)濾器框架及其密封處的掃描。
1.送風(fēng)量與排風(fēng)量如果是紊流潔凈室,那么就要測(cè)量其送風(fēng)量與排風(fēng)量。若為單向流潔凈室,則要測(cè)量其風(fēng)速。2.各區(qū)之間的氣流控制為證明各區(qū)之間氣流運(yùn)動(dòng)方向正確,也就是從潔凈區(qū)向潔凈度差的區(qū)域流動(dòng),必須檢測(cè):2.1各區(qū)間的壓差正確;2.2門(mén)口處或墻、地板等處的開(kāi)口處氣流運(yùn)動(dòng)方向正確,即從潔凈區(qū)向潔凈程度差的區(qū)域流動(dòng)。3.過(guò)濾器檢漏對(duì)高效過(guò)濾器及其外框要進(jìn)行檢驗(yàn),以保證懸浮污染物不會(huì)穿過(guò):3.1損壞了的過(guò)濾器;3.2過(guò)濾器與其外框間的縫隙;3.3過(guò)濾器裝置的其他部位而侵入室內(nèi)。4.隔離檢漏這項(xiàng)測(cè)試是為了證明懸浮污染物不穿過(guò)建筑材料侵入潔凈室。潔凈室檢測(cè)是保障產(chǎn)品質(zhì)量、提升企業(yè)形象、滿足客戶需求的重要措施。
1工藝平面布置應(yīng)合理、緊湊。潔凈室或潔凈區(qū)內(nèi)應(yīng)只布置必要的工藝設(shè)備,以及有空氣潔凈度等級(jí)要求的工序和工作室。2在滿足生產(chǎn)工藝和噪聲要求的前提下,對(duì)空氣潔凈度要求嚴(yán)格的潔凈室或潔凈區(qū)宜靠近空氣調(diào)節(jié)機(jī)房,空氣潔凈度等級(jí)相同的工序和工作室宜集中布置。3潔凈室內(nèi)對(duì)空氣潔凈度要求嚴(yán)格的工序應(yīng)布置在上風(fēng)側(cè),易產(chǎn)生污染的工藝設(shè)備應(yīng)布置在靠近回風(fēng)口位置。4應(yīng)考慮大型設(shè)備安裝和維修的運(yùn)輸路線,并預(yù)留設(shè)備安裝口和檢修口。5不同空氣潔凈度等級(jí)房間之間聯(lián)系頻繁時(shí),宜設(shè)有防止污染的措施,如氣閘室、傳遞窗等。6應(yīng)設(shè)置單獨(dú)的物料入口,物料傳遞路線應(yīng)極短,物料進(jìn)人潔凈室(區(qū))之前應(yīng)進(jìn)行清潔處理。潔凈室內(nèi)有通風(fēng)柜時(shí),宜置于工作區(qū)氣流的下風(fēng)側(cè),以減少對(duì)室內(nèi)的污染。浙江消毒液凈化車(chē)間環(huán)境檢測(cè)誠(chéng)信推薦
噪音水平檢測(cè)有助于評(píng)估潔凈室內(nèi)的工作環(huán)境舒適度。湖北排風(fēng)柜檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)
空氣潔凈度:這是潔凈車(chē)間環(huán)境檢測(cè)的**指標(biāo),通常通過(guò)檢測(cè)空氣中的塵埃粒子數(shù)來(lái)評(píng)估。不同潔凈等級(jí)的車(chē)間對(duì)塵埃粒子的限制不同,如潔凈度等級(jí)為100級(jí)的車(chē)間對(duì)大于等于5μm的塵粒有嚴(yán)格的計(jì)數(shù)要求。微生物指標(biāo):包括浮游菌、沉降菌等微生物的數(shù)量。這些微生物可能對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量和工作人員健康造成影響,因此需要進(jìn)行嚴(yán)格的控制和監(jiān)測(cè)。溫度與濕度:潔凈車(chē)間需要保持穩(wěn)定的溫度和濕度環(huán)境,以確保生產(chǎn)過(guò)程的順利進(jìn)行和產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定。通常,生產(chǎn)工藝對(duì)溫度和濕度無(wú)特殊要求時(shí),潔凈室溫度應(yīng)為18~26℃,相對(duì)濕度應(yīng)為45~65%。湖北排風(fēng)柜檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)