1.適用范圍此程序適用于高效過濾器完整性測試(俗稱高效過濾器檢漏)。2.高效過濾器檢漏原理通過氣溶膠光度計(jì)測定上下游粒子的濃度,得出泄漏率的大小。3.儀器設(shè)備氣溶膠發(fā)生器氣溶膠光度計(jì)供氣軟管耗材:PAO(EMERY3004)高效過濾器檢漏價(jià)格?高效過濾器檢漏按照高效過濾器數(shù)量進(jìn)行收費(fèi),過濾器分為液槽式過濾器和隔板式過濾器,一般檢測時(shí)采用冷發(fā)收費(fèi)較貴而采用熱發(fā)收費(fèi)較為優(yōu)惠,具體報(bào)價(jià)請(qǐng)聯(lián)系旦霆科技銷售顧問。高效過濾器檢漏周期?高效過濾器檢漏周期一般按照GB規(guī)定每1年進(jìn)行高效過濾器檢漏一次4.高效過濾器完整性測試方法/高效過濾器檢漏方法/高效過濾器DOP檢漏方法操作步驟預(yù)檢查①對(duì)于非層流區(qū)域-關(guān)閉HVAC的風(fēng)機(jī)。-拆除中效過濾器。-將氣溶膠發(fā)生器放置于機(jī)組的負(fù)壓段。②對(duì)于層流單元-發(fā)煙位置靠近回風(fēng)口,風(fēng)機(jī)進(jìn)風(fēng)口或?qū)iT的氣溶膠發(fā)煙口。-找到高效過濾器前的測試軟管或測試孔,如果沒有測試孔,可在空調(diào)機(jī)組的壓力表處測試上游濃度。-將光度計(jì)內(nèi)部參數(shù)調(diào)節(jié)至100。高效過濾器完整性測試(高效檢漏)-掃描HEPA的表面及其邊框。-對(duì)球型結(jié)構(gòu),直接將高效過濾器的軟管或洞與光度計(jì)下游通道相連。高效過濾器完整性測試(高效檢漏)測試程序-接通電源,溫度升至400??C。檢測報(bào)告應(yīng)包括檢測結(jié)果、問題分析、改進(jìn)措施及建議等內(nèi)容。浙江電子廠房環(huán)境檢測認(rèn)真負(fù)責(zé)
5.1工藝布局5.1.1工藝平面應(yīng)與工藝要求的潔凈用房等級(jí)相適應(yīng),并應(yīng)防止食品、食品接觸面和食品包裝受到污染。原料、半成品、成品、生食和熟食應(yīng)在各自**的有完整分隔的生產(chǎn)區(qū)內(nèi)加工制作。5.1.2工藝設(shè)備布置應(yīng)符合生產(chǎn)流程要求,同類型設(shè)備宜集中布置。5.1.3工藝布置宜使原料、半成品的運(yùn)輸距離縮至**短,不宜往返交叉。5.1.4操作臺(tái)之間、設(shè)備之間以及設(shè)備與建筑圍護(hù)結(jié)構(gòu)之間應(yīng)有安全維修和清潔的距離。5.1.5生產(chǎn)和操作過程中產(chǎn)生粉塵和氣體污染的工藝設(shè)備宜布置在潔凈用房外,若布置在室內(nèi)時(shí),宜靠墻且靠近回、排風(fēng)口或設(shè)局部排風(fēng)裝置的位置布置。江西實(shí)驗(yàn)室檢測方便客戶合格的第三方潔凈室檢測機(jī)構(gòu)普遍要求要有潔凈相關(guān)檢測能力。
潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化等級(jí)主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說,所謂的無塵,并不是100%沒有一點(diǎn)灰塵,而是控制在極少量的單位。當(dāng)然,這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物,相對(duì)于我們常見的粉塵來說是非常小的,但是對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵也會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響
1.送風(fēng)量與排風(fēng)量如果是紊流潔凈室,那么就要測量其送風(fēng)量與排風(fēng)量。若為單向流潔凈室,則要測量其風(fēng)速。2.各區(qū)之間的氣流控制為證明各區(qū)之間氣流運(yùn)動(dòng)方向正確,也就是從潔凈區(qū)向潔凈度差的區(qū)域流動(dòng),必須檢測:2.1各區(qū)間的壓差正確;2.2門口處或墻、地板等處的開口處氣流運(yùn)動(dòng)方向正確,即從潔凈區(qū)向潔凈程度差的區(qū)域流動(dòng)。3.過濾器檢漏對(duì)高效過濾器及其外框要進(jìn)行檢驗(yàn),以保證懸浮污染物不會(huì)穿過:3.1損壞了的過濾器;3.2過濾器與其外框間的縫隙;3.3過濾器裝置的其他部位而侵入室內(nèi)。4.隔離檢漏這項(xiàng)測試是為了證明懸浮污染物不穿過建筑材料侵入潔凈室。潔凈室檢測數(shù)據(jù)應(yīng)與其他質(zhì)量控制數(shù)據(jù)相結(jié)合,綜合分析。
B.4.2.2送風(fēng)風(fēng)速風(fēng)速測點(diǎn)距過濾器出風(fēng)面約150mm~300mm。測點(diǎn)數(shù)量應(yīng)足以測定潔凈室和潔凈區(qū)的送風(fēng)量,測點(diǎn)數(shù)量取測量面積(以平方米計(jì))10倍的平方根,且不少于4個(gè)測點(diǎn)。每只過濾器或每臺(tái)風(fēng)機(jī)-過濾單元(FFU)的出風(fēng)面上至少要有一個(gè)測點(diǎn)??墒褂密浐熥钃鯇?duì)單向流的干擾。為了獲得可重復(fù)的讀數(shù),每點(diǎn)的測量時(shí)間應(yīng)足夠長。對(duì)多個(gè)測點(diǎn)而言,應(yīng)記錄風(fēng)速測量平均時(shí)間。B.4.2.2送風(fēng)風(fēng)速風(fēng)速測點(diǎn)距過濾器出風(fēng)面約150mm~300mm。測點(diǎn)數(shù)量應(yīng)足以測定潔凈室和潔凈區(qū)的送風(fēng)量,測點(diǎn)數(shù)量取測量面積(以平方米計(jì))10倍的平方根,且不少于4個(gè)測點(diǎn)。每只過濾器或每臺(tái)風(fēng)機(jī)-過濾單元(FFU)的出風(fēng)面上至少要有一個(gè)測點(diǎn)。可使用軟簾阻擋對(duì)單向流的干擾。為了獲得可重復(fù)的讀數(shù),每點(diǎn)的測量時(shí)間應(yīng)足夠長。對(duì)多個(gè)測點(diǎn)而言,應(yīng)記錄風(fēng)速測量平均時(shí)間。引入第三方檢測機(jī)構(gòu)進(jìn)行定期審核,確保檢測結(jié)果的公正性。江西實(shí)驗(yàn)室檢測方便客戶
采用智能化管理系統(tǒng),提高潔凈室檢測數(shù)據(jù)的管理效率。浙江電子廠房環(huán)境檢測認(rèn)真負(fù)責(zé)
單向流潔凈室的流動(dòng)狀態(tài)從雷諾數(shù)看是湍流,所以所謂層流潔凈室中的層流和流體力學(xué)中的層流是完全不同的概念。因此,層流潔凈室一詞是不恰當(dāng)?shù)?,國外的一些?biāo)準(zhǔn)和文章也指出了這一點(diǎn)。例如,英國標(biāo)準(zhǔn)BS-5295曾將所謂的層流潔凈室定義為單向流潔凈室。層流在括號(hào)中表示。原聯(lián)邦德國標(biāo)準(zhǔn)VDl-2083使用“非湍流置換流”一詞,并在注釋中指出層流的概念只是為了區(qū)分比層流更早出現(xiàn)的湍流(turbulent)流潔凈室整理房間。在當(dāng)時(shí)使用的成語中,“層流系統(tǒng)”的確切含義不是分層流,而是湍流的置換流。本章提到的概念是湍流的漸進(jìn)流。在流體力學(xué)中,這種流動(dòng)狀態(tài)也可以稱為平行流動(dòng)或單向流動(dòng)。1977年,我國在《清潔空氣技術(shù)措施》中選擇了“平行流”一詞,并指出習(xí)慣上在該詞后稱其為“層流”。浙江電子廠房環(huán)境檢測認(rèn)真負(fù)責(zé)