潔凈室**主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當(dāng)然這個標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。蔚亞科技第三方檢測專業(yè)可行,性價比佳。江蘇潔凈室檢測服務(wù)至上
3.壓差檢測:潔凈室與外界環(huán)境的壓差是保持潔凈室內(nèi)潔凈度的重要因素。壓差檢測通過對潔凈室各區(qū)域的壓差進(jìn)行測量,確保潔凈室內(nèi)部與外部環(huán)境的壓差符合規(guī)定要求,從而防止外部污染物進(jìn)入潔凈室。4.氣流速度檢測:潔凈室內(nèi)的氣流速度對于維持潔凈度至關(guān)重要。氣流速度過快可能導(dǎo)致塵埃粒子飛揚(yáng),而氣流速度過慢則可能導(dǎo)致塵埃粒子沉積。因此,氣流速度檢測是評估潔凈室氣流組織情況的重要手段。5.表面潔凈度檢測:潔凈室內(nèi)的各種表面,如墻壁、地面、設(shè)備外殼等,也是塵埃粒子容易沉積的地方。表面潔凈度檢測通過對這些表面的塵埃粒子數(shù)量進(jìn)行檢測,評估潔凈室內(nèi)部表面的潔凈情況。浙江實(shí)驗(yàn)室檢測技術(shù)好噪音水平檢測有助于評估潔凈室內(nèi)的工作環(huán)境舒適度。
潔凈室、潔凈區(qū)的潔凈度主要是靠送入足夠量的潔凈空氣,以排替、稀釋室內(nèi)產(chǎn)生的顆粒污染物來實(shí)現(xiàn)的。為此,測定潔凈室或潔凈設(shè)施的送風(fēng)量、平均風(fēng)速、送風(fēng)均勻性、氣流流向及流型等項目十分必要。單向流主要是依靠潔凈氣流推擠、排替室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染空氣以維持室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的潔凈度。因此,其送風(fēng)斷面風(fēng)速及均勻性是影響潔凈度的重要參數(shù)。較高的、較均勻的斷面風(fēng)速能更快、更有效地排除室內(nèi)工藝過程產(chǎn)生的污染物,因此它們是主要關(guān)注的檢測項目。
對單向流如5級凈化房間內(nèi)及層流工作臺測試應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運(yùn)行不少于10分鐘后開始;對非單向流如7級、8級以上的凈化房間測試應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運(yùn)行不少于30分鐘開始。a.采樣方法:將已制備好的培養(yǎng)皿放置在預(yù)先確定的取樣點(diǎn),打開培養(yǎng)皿蓋使培養(yǎng)基表面暴露0.5小時再將培養(yǎng)皿蓋上蓋后倒置。b.培養(yǎng)全部采樣結(jié)束,將培養(yǎng)皿倒置于恒溫培養(yǎng)箱中培養(yǎng)。在30-35℃培養(yǎng)時間不少于48小時。每批培養(yǎng)基應(yīng)有對照試驗(yàn)檢查培養(yǎng)基本身是否污染可每批選定3只培養(yǎng)皿作對照培養(yǎng)。c.菌落計數(shù)用肉眼直接計數(shù)然后用5-10倍放大鏡檢查有否遺漏。若培養(yǎng)皿上有2個或2個以上菌落重疊可分辨時仍以2個或2個以上的菌落計數(shù)。工作設(shè)備布置時要留有一定的間隔,為送、回風(fēng)口的布置和氣流的通暢創(chuàng)造條件。
壓差檢測要求:(1)靜壓差的測定要求在潔凈區(qū)內(nèi)的所有門全部關(guān)閉情況下進(jìn)行。(2)在潔凈平面上應(yīng)從潔凈度由高到低的順序依次進(jìn)行,一直檢測到直通室外的房間。(3)測管口設(shè)在室內(nèi)沒有氣流影響的任何地方均可,測管口面與氣流流線平行。(4)所測量記錄的數(shù)據(jù)應(yīng)精確到1.0Pa。壓差檢測步驟:(1)先關(guān)閉所有的門。(2)用微差壓計測量各潔凈室之間、潔凈室走廊之間、走廊與外界之間的壓差。(3)記錄所有數(shù)據(jù)。壓差標(biāo)準(zhǔn)要求按照潔凈室設(shè)計或工藝要求決定維持被測潔凈室的正壓或負(fù)壓值。(1)不同級別的潔凈室或潔凈區(qū)與非潔凈室(區(qū))之間的靜壓差,應(yīng)不小于5Pa。(2)潔凈室(區(qū))與室外的靜壓差,不應(yīng)小于10Pa。(3)對于空氣潔凈度等級嚴(yán)于5級(100級)的單向流潔凈室在開門時,門內(nèi)0.6m處的室內(nèi)工作面含塵濃度應(yīng)不大于相應(yīng)級別的含塵濃度限值。(4)若達(dá)不到以上標(biāo)準(zhǔn)的要求,應(yīng)重新調(diào)整新風(fēng)量、排風(fēng)量、至合格為止。空氣潔凈度是潔凈環(huán)境中空氣含懸浮粒子量的多少的程度,通常空氣中含塵濃度高則空氣潔凈度低。湖北實(shí)驗(yàn)室環(huán)境檢測值得推薦
潔凈室內(nèi)使用的化學(xué)品和消毒劑需符合相關(guān)安全標(biāo)準(zhǔn)。江蘇潔凈室檢測服務(wù)至上
B.2.1.2計數(shù)效率測量U描述符所用體系的計數(shù)效率應(yīng)落在圖B.1的陰影之內(nèi)[1]。該陰影區(qū)為性能達(dá)標(biāo)區(qū),其中心對應(yīng)的選定粒徑超微粒子的計數(shù)效率為50%,粒徑示為U。超微粒徑U的允差為土10%,見圖B.1中的1.1U和0.9U。這一計數(shù)效率允差的規(guī)定,是基于對擴(kuò)散元件透過率的計算,該擴(kuò)散元件對粒徑大于選定超微粒徑10%的粒子的透過率不低于40%,對粒徑小于選定超微粒徑10%的粒子的透過率不高于60%。若離散粒子計數(shù)器(DPC)或凝聚核計數(shù)器(CNC)的計數(shù)效率曲線落在圖B.1陰影區(qū)之外的右側(cè),則不能用其測量或驗(yàn)證U描述符。若曲線落在陰影區(qū)之外的左側(cè),則可使用B.2.1.3介紹的粒徑限制器來降低計數(shù)效率。此時,經(jīng)改進(jìn)的離散粒子計數(shù)器或凝聚核計數(shù)器的計數(shù)效率就成為原計數(shù)器的計數(shù)效率與粒徑限制器透過率的乘積。江蘇潔凈室檢測服務(wù)至上