潔凈室**主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負面影響,所以在光學構造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。引入第三方檢測機構進行定期審核,確保檢測結(jié)果的公正性。江蘇潔凈室環(huán)境檢測規(guī)范性強
B.2.1.2計數(shù)效率測量U描述符所用體系的計數(shù)效率應落在圖B.1的陰影之內(nèi)[1]。該陰影區(qū)為性能達標區(qū),其中心對應的選定粒徑超微粒子的計數(shù)效率為50%,粒徑示為U。超微粒徑U的允差為土10%,見圖B.1中的1.1U和0.9U。這一計數(shù)效率允差的規(guī)定,是基于對擴散元件透過率的計算,該擴散元件對粒徑大于選定超微粒徑10%的粒子的透過率不低于40%,對粒徑小于選定超微粒徑10%的粒子的透過率不高于60%。若離散粒子計數(shù)器(DPC)或凝聚核計數(shù)器(CNC)的計數(shù)效率曲線落在圖B.1陰影區(qū)之外的右側(cè),則不能用其測量或驗證U描述符。若曲線落在陰影區(qū)之外的左側(cè),則可使用B.2.1.3介紹的粒徑限制器來降低計數(shù)效率。此時,經(jīng)改進的離散粒子計數(shù)器或凝聚核計數(shù)器的計數(shù)效率就成為原計數(shù)器的計數(shù)效率與粒徑限制器透過率的乘積。福建消毒液凈化車間環(huán)境檢測價格氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留的粒子。
5.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局應具有適當?shù)撵`活性。主體結(jié)構宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng),不宜采用內(nèi)墻承重體系。5.1.2潔凈廠房圍護結(jié)構的材料選型應符合保溫、隔熱、防火、防潮、少產(chǎn)塵等要求。5.1.3潔凈廠房主體結(jié)構的耐久性應與室內(nèi)裝備和裝修水平相協(xié)調(diào),并應具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能。廠房變形縫不宜穿越潔凈區(qū)。5.1.4送、回風管和其他管線暗敷時,應設置技術夾層、技術夾道或地溝等。穿越樓層的豎向管線需暗敷時,宜設置技術豎井,其形式、尺寸和構造應符合風道、管線的安裝、檢修和防火要求。5.1.5對兼有一般生產(chǎn)和潔凈生產(chǎn)的綜合性廠房的平面布局和構造處理,應避免人流、物流運輸及防火方面對潔凈生產(chǎn)帶來不利的影響。
a.首先應對測試儀器、培養(yǎng)皿表面進行嚴格消毒,采樣器進入被測房間時,先用消毒房間的消毒劑滅菌。用于5級潔凈房間的采樣器宜一直放在潔凈房間。b.采樣者應穿戴潔凈服雙手要消毒。c.開動真空泵抽氣使儀器中的殘余消毒劑蒸發(fā)時間不少于5min,并調(diào)好流量轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)速。關閉真空泵放入培養(yǎng)皿蓋好蓋子后調(diào)節(jié)采樣器。d.置采樣口于采樣點后依次開啟采樣器、真空泵、轉(zhuǎn)動定時器、根據(jù)采樣量選定采樣時間。全部采樣結(jié)束后,將培養(yǎng)皿倒置于30-35℃恒溫培養(yǎng)箱中,培養(yǎng)時間不少于48h。e.用肉眼直接計數(shù),然后用5-10倍放大鏡檢查是否有遺漏,若平板上有兩個或兩個以上的菌落重疊分辨時,仍以兩個或兩個以上菌落計數(shù)。主要工作室一般照明的照度值宜為3001x。
4.5.1有微振控制要求的潔凈廠房設計應符合下列規(guī)定:1在結(jié)構選型、隔振縫設置、壁板與地面、壁板與頂棚連接處,應按微振控制要求設計。2潔凈室與周圍輔助性站房內(nèi)有強烈振動的設備及連接管道應采取主動隔振措施。3應測定潔凈廠房內(nèi)、外各類振源對潔凈廠房精密設備、精密儀器儀表位置處的綜合振動影響,以決定是否采取被動隔振措施。4.5.2精密設備、精密儀器儀表的容許振動值應由生產(chǎn)工藝和設備制造部門提供。當生產(chǎn)工藝和設備制造部門難以提供容許振動值時,可按現(xiàn)行國家標準《隔振設計規(guī)范》GB50463的有關規(guī)定執(zhí)行。層流罩一種可提供局部高清潔環(huán)境的空氣凈化設備。它主要有箱體,風機,初效空氣過濾器,高效空氣過濾器。浙江消毒液凈化車間環(huán)境檢測值得推薦
單向流潔凈室氣流的特征是流線平行,以單一方向流動,并且在斷截面上風速一致,有垂直單向潔凈室。江蘇潔凈室環(huán)境檢測規(guī)范性強
4、懸浮粒子-微粒計數(shù)農(nóng)度A、室內(nèi)測試人員必須穿潔凈服,不得超過2人,應位于測試點下風側(cè)并遠離測試點,并應保持靜止。進行換點操作時動作要輕,應減少人員對室內(nèi)潔凈度的干擾。B、設備要在校準期內(nèi)使用。C、檢測前和檢測后設備“清零”D、在單向流區(qū)域,所選擇的采樣探頭應接近等動力采樣,進入采樣探頭的風速與被采空氣的風速偏差不應超過20%。若無法做到這一點,將采樣口正對氣流的主方向。非單向流的采樣點,采樣口應豎直向上。E、采樣口至粒子計數(shù)器傳感器的連接管應盡量短。采樣點一般離地面0.8-1.2m左右,要均勻科學布點,而且要避開回風口。對任何小潔凈室或局部空氣凈化區(qū)域,采樣點的數(shù)目都不得少于2個,總采樣數(shù)可根據(jù)面積開2次根求得。江蘇潔凈室環(huán)境檢測規(guī)范性強